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本发明提供机械手，即使盒的搁板与搁板的距离小，机械手也能够不碎裂地吸引保持晶片而出入。机械手(6)是板状的机械手，其安装于机器人(1)，并且在吸附面(60)上具有对呈穹顶状弯曲的晶片(90)的凸球面进行吸引保持的吸引口(62)，其中，该机械...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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