晶圆取放片用定心机构制造技术

晶圆取放片用定心机构，属于半导体制造设备技术领域，由托板、安装板、推杆、顶杆和弹簧连接构成，托板的顶端连接设有前端定位销，安装板连接固定在托板的底部，顶杆连接固定在推杆的顶部，顶杆上连接设有后端定位销，弹簧套置在推杆上，在推杆的往复移动下，带动顶杆上下运动，通过前端定位销和后端定位销实现定心夹紧，从而完成晶圆片的取放。夹持过程中晶圆不会滑脱，夹持稳定性得到了提升；顶杆在弹簧力的作用下复位较快，提高了晶圆取放效率；晶圆片在托板中形成了定心，在花篮中的对中精度得到了提升，减少了晶圆破损情形，减少了晶圆废品率。废品率。废品率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆取放片用定心机构


[0001]本技术属于半导体制造设备
，涉及一种晶圆加工用辅助机构，具体的说是涉及一种晶圆取放片用定心机构。

技术介绍

[0002]在现代半导体制造技术中，晶圆片的清洗是贯穿工艺制造流程中必不可少的关键工序，晶圆片表面的洁净度也直接影响着半导体器件的质量。清洗工序是将晶圆放入清洗花篮(简称为放片)，然后将花篮放入清洗液内浸泡，去除晶圆表面脏污。清洗完之后再将晶圆从花篮内取出(简称为取片)。清洗过程中，多片晶圆需要放置在同一个晶圆花篮中进行批量处理，通常一个花篮放置25片晶圆。目前取放片的操作方式是用镊子夹住晶圆边缘，放入花篮和从花篮中取出，目前的晶圆花篮并没有定心功能，晶圆片在花篮内是自由状态，每一片晶圆的中心都存在偏差，由于晶圆具有易碎的特点，当晶圆中心偏移较大时，晶圆容易和花篮卡槽周边发生碰撞、挤压，造成晶圆破碎，产生损失。

技术实现思路

[0003]本技术针对传统晶圆取放片作业方式中存在中心偏移较大，导致晶圆片与花篮发生碰撞、挤压，造成晶圆破损等不足，提出晶圆取放片用定心机构，可提高晶圆片在花篮中的对中精度，减少晶圆破损情形，从而减少废品概率。
[0004]本申请提供的晶圆取放片用定心机构采用如下技术方案：
[0005]晶圆取放片用定心机构，包括托板；其特征在于：所述定心机构还由安装板、推杆、顶杆和弹簧连接构成，所述托板的顶端连接设有前端定位销，所述安装板连接固定在所述托板的底部，所述顶杆连接固定在所述推杆的顶部，所述顶杆上连接设有后端定位销，所述弹簧套置在所述推杆上，在所述推杆的往复移动下，带动顶杆上下运动，晶圆片置于所述托板上，通过所述前端定位销和后端定位销实现定心夹紧，从而完成晶圆片的取放。
[0006]通过采用上述技术方案，取片时，由外部气缸推动推杆，推杆带动顶杆向上移动，此时弹簧被压缩，晶圆片被前端定位销和后端定位销形成定心夹紧；放片时，外部气缸停止工作，推杆在弹簧的复位作用下，带动顶杆向下移动，松开对晶圆片的夹紧。
[0007]进一步的，所述托板中部设有V型槽结构，V型槽的槽形角a≥15
°
。
[0008]通过采用上述技术方案，V字型结构的托板，可使托板方便的进出晶圆花篮，以便实现晶圆片的取放。
[0009]进一步的，所述托板底部设有第三滑槽，第三滑槽为开口槽，且开口向下；所述第三滑槽的两侧设有第一滑槽，第一滑槽为封闭槽。
[0010]通过采用上述技术方案，第三滑槽的设置，有利于对顶杆运动进行导向，也提高顶杆运动的稳定性；第一滑槽的设置，有利于后端定位销在槽中的导向移动。
[0011]进一步的，所述安装板中部设有第二滑槽，第二滑槽的内壁上设有限位块。
[0012]通过采用上述技术方案，第二滑槽的设置有利于对推杆运动进行导向，也提高了
推杆运动的稳定性，限位块的设置可以对顶杆进行向下移动的轴向限位，可以对弹簧压缩时进行轴向限位。
[0013]进一步的，所述推杆为螺纹杆，螺纹杆上连接设有锁紧螺母，所述弹簧设置在限位块和锁紧螺母之间。
[0014]通过采用上述技术方案，锁紧螺母的设置可调节弹簧的预紧力，一方面可以对顶杆向上运动时起到缓冲作用，以防止对晶圆片定心时造成冲击形成破损，另一方面可以实现推杆的快速复位。
[0015]进一步的，所述前端定位销由筒体、卡槽和紧固螺钉构成，卡槽设置在筒体的底部，并与筒体形成一体式结构，且卡槽直径小于筒体直径，卡槽的槽宽不大于0.8mm，筒体通过紧固螺钉与托板连接固定。
[0016]通过采用上述技术方案，定位销结构的改进设置，可防止晶圆片在夹紧过程中从前后端定位销处滑脱，提高其夹持稳定性，也更利于晶圆片的定心。
[0017]所述顶杆为T字型杆，后端定位销设置在顶杆的两侧，其组成结构与前端定位销相同。
[0018]通过采用上述技术方案，由2个前端定位销和2个后端定位销同时作用于晶圆外圆轮廓上，由4点共圆对晶圆进行定心。
[0019]综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
[0020]1.晶圆在前后端定位销之间，晶圆定心过程中晶圆不会滑脱，定心稳定性得到了提升。
[0021]2.弹簧的预紧力可通过锁紧螺母进行调节，可以对顶杆向上运动时起到缓冲作用，以防止对晶圆片定心时造成冲击形成破损，可以实现推杆的快速复位，提高晶圆取放效率。
[0022]3.晶圆片在托板中形成了定心，放片后晶圆在花篮中的对中精度得到了提升，减少了晶圆破损情形，减少了晶圆废品率。
附图说明
[0023]图1 为本技术主视结构示意图。
[0024]图2 为图1中A处放大结构示意图。
[0025]图3 为本技术立体结构示意图。
[0026]图4 为图3中B处放大结构示意图。
[0027]图5 为本技术夹持晶圆片的状态示意图。
[0028]图中：托板1、第一滑槽2、第二滑槽3、推杆4、安装板5、后端定位销6、顶杆7、第三滑槽8、前端定位销9、筒体9
‑
1、卡槽9
‑
2、紧固螺钉9
‑
3、锁紧螺母10、弹簧11、限位块12、晶圆片13。
具体实施方式
[0029]下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本技术，应理解这些实施方式仅用于说明本技术专利而不用于限制本技术专利的范围，在阅读了本技术专利之后，本领域技术人员对本技术专利的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要
求所限定的范围。
[0030]实施例1
[0031]如图1所示，晶圆取放片用定心机构，由托板1、安装板5、推杆4、顶杆7和弹簧11连接构成，托板1的顶端连接设有前端定位销9，前端定位销9可在托板1顶端进行转动，安装板5连接固定在托板1的底部，顶杆7连接固定在推杆4的顶部，顶杆7上连接设有后端定位销6，后端定位销6可相对顶杆7进行转动，弹簧11套置在推杆4上，在推杆4的往复移动下，带动顶杆7上下运动，晶圆片13置于托板1上，通过前端定位销9和后端定位销6实现定心夹紧，从而完成晶圆片13的取放。
[0032]实施例2
[0033]如图2所示，为了实现推杆4和顶杆7分别在安装板5和托板1上运动的稳定性，托板1底部设有第三滑槽8，第三滑槽8为开口槽，且开口向下；第三滑槽8的两侧设有第一滑槽2，第一滑槽2为封闭槽。安装板5中部设有第二滑槽3，第三滑槽8与第二滑槽3对齐设置，第二滑槽3的内壁上设有限位块12。第三滑槽8的设置，有利于提高顶杆7在槽中移动的稳定性；第一滑槽2的设置，有利于后端定位销6在槽中的导向移动。第二滑槽3的设置有利于提高推杆运动的稳定性，限位块的设置可以对顶杆进行向下移动的轴向限位，可以对弹簧压缩时进行轴向限位。
[0034]实施例3
[0035]如图3
‑
5所示，为了提高晶圆片在整个机构中的稳定性，以及取片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆取放片用定心机构，包括托板(1)；其特征在于：所述定心机构还由安装板(5)、推杆(4)、顶杆(7)和弹簧(11)连接构成，所述托板(1)的顶端连接设有前端定位销(9)，所述安装板(5)连接固定在所述托板(1)的底部，所述顶杆(7)连接固定在所述推杆(4)的顶部，所述顶杆(7)上连接设有后端定位销(6)，所述弹簧(11)套置在所述推杆(4)上，在所述推杆(4)的往复移动下，带动顶杆(7)上下运动，晶圆片(13)置于所述托板(1)上，通过所述前端定位销(9)和后端定位销(6)实现定心夹紧，从而完成晶圆片(13)的取放。2.根据权利要求1所述的晶圆取放片用定心机构，其特征在于：所述托板(1)中部设有V型槽结构，V型槽的槽形角a≥15
°
。3.根据权利要求2所述的晶圆取放片用定心机构，其特征在于：所述托板(1)底部设有第三滑槽(8)，第三滑槽(8)为开口槽，且开口向下；所述第三滑槽(8)的两侧设有第一滑槽(2)，第一滑槽(2)为封闭槽。4.根据权利要求1所述的晶圆取放片用定心机构，其特征在于：所述安装板(5)中部设有第二滑槽(3)，第二滑槽(3)的内壁上设有限位块(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：王恒，单庆喜，杨志勇，
申请(专利权)人：扬州思普尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：