转运装置及具有其的加工设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种转运装置及具有其的加工设备，用于转运物料，包括：移动模组；安装架，与所述移动模组连接，所述移动模组驱使所述安装架在第一方向上做直线往复运动；抓取组件，设于所述安装架上，用于抓取所述物料；支载组件，位于所述抓取组件的下方，用于置放所述物料；其中，所述抓取组件包括一对夹爪，所述一对夹爪沿所述第一方向设置，且所述一对夹爪背对背分布。背对背分布。背对背分布。

【技术实现步骤摘要】
转运装置及具有其的加工设备


[0001]本技术属于自动化技术
，具体涉及一种转运装置及具有其的加工设备。

技术介绍

[0002]晶圆在加工过程中需要经历不同的加工工序，经常需要利用转运装置将晶圆从一工序移动至另一工序的工作台上进行加工。
[0003]晶圆转运装置包括移动模组，现有技术中，为了能够实现将晶圆从一工作台搬运至另一工作台上，移动模组的行程往往设计得很长，导致生产成本高和占用较大的空间，不利于装置的小型化。因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。

技术实现思路

[0004]因此，本技术所要解决的技术问题是提供一种能够降低成本且利于装置小型化的转运装置及具有其的加工设备。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种转运装置，用于转运物料，包括：移动模组；安装架，与所述移动模组连接，所述移动模组驱使所述安装架在第一方向上做直线往复运动；抓取组件，设于所述安装架上，用于抓取所述物料；支载组件，位于所述抓取组件的下方，用于置放所述物料；其中，所述抓取组件包括一对夹爪，所述一对夹爪沿所述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转运装置，用于转运物料，其特征在于，包括：移动模组(100)；安装架(200)，与所述移动模组(100)连接，所述移动模组(100)驱使所述安装架(200)在第一方向上做直线往复运动；抓取组件(300)，设于所述安装架(200)上，用于抓取所述物料；支载组件(400)，位于所述抓取组件(300)的下方，用于置放所述物料；其中，所述抓取组件(300)包括一对夹爪(310)，所述一对夹爪沿所述第一方向设置，且所述一对夹爪(310)背对背分布。2.如权利要求1所述的转运装置，其特征在于，所述一对夹爪(310)的其中一者在所述物料上的抓取位置为第一位置，其中另一者在所述物料上的抓取位置为第二位置，第一位置与第二位置相对分布。3.如权利要求1所述的转运装置，其特征在于，所述安装架(200)包括设于所述移动模组(100)上的座体(210)、与所述座体(210)可拆卸连接的横梁(220)，所述横梁(220)具有与所述座体(210)连接的远端、与所述抓取组件(300)连接的近端。4.如权利要求3所述的转运装置，其特征在于，所述座体(210)与所述横梁(220)的远端之间设有调节结构，所述调节结构被配置为在垂直于所述第一方向的方向上调节所述横梁(220)的位置。5.如权利要求4所述的转运装置，其特征在于，所述调节结构包括设于所述横梁(220)远端的第一调节孔(221)、设于所述座体(210)上的第二调节孔，所述横梁(220)与所述座体(210)之间通过紧固件连接；其中，所述第一调节孔(221)为长孔，所述紧固件在贯穿所述第一调节孔(...

【专利技术属性】
技术研发人员：施心星，
申请(专利权)人：苏州镭明激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：