基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统及其工作方法技术方案

一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，包括PLEM晶圆交接系统和PLEM交接控制系统；其中，PLEM晶圆交接系统包括检测系统、真空吸附系统、平行平板折展柔顺机构及微动台系统；所述平行平板折展柔顺机构安装于微动台系统上，平行平板折展柔顺机构上方承载晶圆；所述PLEM交接控制系统分别与检测系统、真空吸附系统、平行平板折展柔顺机构及微动台系统连接。本发明专利技术提出基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，采用平行平板折展结构的一体式柔性装置缓冲交接过程中的冲击力，可达到平稳、准确、快速晶圆交接的目的；另外本发明专利技术具有构件数目小、结构紧凑、体积重量上相比刚性机构要小的多。同时提高了机构性能、降低了成本，具有较高的可移植性的优点。有较高的可移植性的优点。有较高的可移植性的优点。

【技术实现步骤摘要】
基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统及其工作方法
(一)
：
[0001]本专利技术涉及晶圆加工、传输和光刻装备的
，具体是涉及基于平行平板折展柔顺机构(Parallel Lamina Emergent Mechanism，PLEM)实现晶圆的平稳准确快速传输与转移的方法与系统，即一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统及其工作方法。
(二)
技术介绍
：
[0002]晶圆交接是晶圆在输送机构与工件台间的传输与转移，是光刻流程的开始和结束，其平稳性、准确性和快速性是光刻过程安全、稳定、高效的前提和保证。平稳性可以减小碰撞和应力集中，避免晶圆破损；准确性可以保证晶圆交接位姿满足对准测量的要求；快速性与最终产率息息相关。作为晶圆交接中的核心部件，并联柔顺机构结构轻量紧凑，运动平滑连续，在平稳快速方面具有优势。但柔性单元的多自由度带来了复杂的运动行为，同时柔性结构加工装配困难使交接面位姿存在差异，这些都给并联柔顺机构的结构设计、位姿分析以及运动控制增加了难度，影响晶圆交接的平稳性、准确性和快速性，成为制约并联柔顺机构在晶圆加工、传输和光刻装备中应用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，其特征在于它包括PLEM晶圆交接系统和PLEM交接控制系统；其中，PLEM晶圆交接系统包括检测系统、真空吸附系统、平行平板折展柔顺机构(1)及微动台系统；所述平行平板折展柔顺机构(1)安装于微动台系统上，平行平板折展柔顺机构(1)上方承载晶圆(8)；所述PLEM交接控制系统分别与检测系统、真空吸附系统、平行平板折展柔顺机构(1)及微动台系统连接。2.根据权利要求1所述一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，其特征在于所述平行平板折展柔顺机构(1)包括位移检测单元、运动支架及柔性单元、防转单元、驱动单元；所述运动支架及柔性单元包括运动支架(114)、平行平板折展片簧(101)及真空吸管(102)；所述运动支架(114)上安装平行平板折展片簧(101)及位移检测单元；所述真空吸管(102)安装在平行平板折展片簧(101)上；所述真空吸管(102)与真空吸附系统连接；所述驱动单元驱动运动支架(114)。3.根据权利要求2所述一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，其特征在于所述运动支架(114)与气浮导轨(113)呈轴套与轴的配合关系，气浮导轨(113)位于运动支架中心内部，固定于底座(106)上，运动支架由气浮导轨(113)气浮支撑。4.根据权利要求2所述一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，其特征在于所述平板折展片簧(101)围绕运动支架(114)中心360
°
均匀分布至少3个。5.根据权利要求2所述一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，其特征在于所述平板折展片簧(101)采用之字形片簧单元(116)；所述之字形片簧单元(116)可分为5个细长梁结构片簧，中间一端连接中心环，边缘两端连接真空吸管(102)；所述中心环与运动支架(114)连接；所述平板折展片簧(101)之间通过细长梁结构片簧连接。6.根据权利要求2所述一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，其特征在于所述防转单元包括防转装置(108)及防转动子(110)；所述防转动子(110)安装在运动支架(114)上，并与固定安装的防转装置(108)相配合。7.根据权利要求2所述一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，其特征在于所述驱动单元包括音圈电机及电机驱动器；所述电机驱动器驱动音圈电机，音圈电机驱动运动支架(114)；所述音圈电机包括音圈电机定子(105)及音圈电机动子(111)；所述音圈电机动子(111)驱动运动支架(114)运动。8.根据权利要求2所述一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，其特征在于所述检测系统包括与真...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏，李义通，张利云，张海伟，汤亚洲，
申请(专利权)人：天津理工大学，
类型：发明
国别省市：