一种晶圆前开式传送盒的运输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种晶圆前开式传送盒的运输装置，涉及装载装置技术领域。一种晶圆前开式传送盒的运输装置，包括：载台，用以运送晶圆盒，载台具有第一操作位置和第二操作位置；锁定机构，设置在载台上，且载台处于第一操作位置时，锁定机构对晶圆盒进行锁定固定，载台处于第二操作位置时，锁定机构解除对晶圆盒的固定；第二位置传感器，用于采集载台的位置信号；处理模块，与第二位置传感器通信连接；指示模块，用于指示载台处于第一操作位置或第二操作位置，指示模块与处理模块通信连接。通过在载台上设置位置传感器，来获取载台所处的位置，并通过指示模块对载台的位置进行指示，便于获取晶圆盒的解锁状态，避免误操作导致机台宕机。宕机。宕机。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆前开式传送盒的运输装置


[0001]本技术涉及装载装置
，特别涉及一种晶圆前开式传送盒的运输装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，晶圆输送至关重要。为了确保不同制程间在输送的过程减少晶圆受到的污染，生产中运用了各种标准运送容器，例如前开式晶圆盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)。
[0003]当将前开式晶圆盒放置在光刻机的载台上转运晶圆时，会先将晶圆盒锁定固定在载台上，再执行取放晶圆等一系列操作，并通过指示灯指示晶圆盒的锁定状态，例如，在晶圆盒未被解锁时，指示灯常亮红色，提醒工程师此时禁止移动晶圆盒，必须先行解锁对于晶圆盒的固定，才可以下一步操作。从而避免工程师在未解锁的情况下，误操作移动Foup而导致宕机。
[0004]目前光刻机的载台结构上设置有三个指示灯以指示Foup的三种状态：载台上是否放有Foup(NO CARRIER)、Foup放置正确(STATUS OK)、Foup位置没有放好(ERROR)，工程师在控制软件上进行解锁操作之后，载台会前进一段距离到指定位置之后才与Foup完全解锁，Foup才能移动，工作人员一般通过观看载台确认移动到指定位置后，再进行移动Foup的动作，但是因载台位移到指定位置的距离较短，位置差异较小，肉眼难以分别载台是否移动到指定位置，会导致工作人员误认为载台已经到达指定位置，贸然移动Foup，此时移动Foup会导致Foup的盖门还在载台上(载台上的限位销仍卡合在Foup的盖门中)，而Foup本体已经被拿出，从而导致机台宕机。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆前开式传送盒的运输装置，以解决容易误操作移动晶圆盒的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供一种晶圆前开式传送盒的运输装置，包括：
[0007]载台，用以运送晶圆盒，所述载台具有第一操作位置和第二操作位置；
[0008]锁定机构，设置在所述载台上，且所述载台处于所述第一操作位置时，所述锁定机构对所述晶圆盒进行锁定固定，所述载台处于所述第二操作位置时，所述锁定机构解除对所述晶圆盒的固定；
[0009]第二位置传感器，用于采集所述载台的位置信号；
[0010]处理模块，与所述第二位置传感器通信连接；
[0011]指示模块，用于指示所述载台处于所述第一操作位置或所述第二操作位置，所述指示模块与所述处理模块通信连接。
[0012]优选地，还包括第一位置传感器，所述第一位置传感器与所述处理模块通信连接；所述第一位置传感器用于采集所述载台在所述第一操作位置时的位置信号，所述第二位置
传感器用于采集所述载台在所述第二操作位置时的位置信号。
[0013]优选地，所述第一位置传感器设置在所述载台处于所述第一操作位置时的底部。
[0014]优选地，所述第二位置传感器设置在所述载台处于所述第二操作位置时的底部。
[0015]优选地，还包括基座，所述载台设置在所述基座上，并且所述载台相对于所述基座可运动以切换所述载台处于所述第一操作位置或所述第二操作位置。
[0016]优选地，还包括基座，所述载台设置在所述基座上，并且所述载台相对于所述基座可运动以切换所述载台处于所述第一操作位置或所述第二操作位置，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器均至少部分的设置在所述基座中。
[0017]优选地，所述锁定机构包括设置在所述载台上的限位销，所述晶圆盒的盖门上设置有对应的锁止孔。
[0018]优选地，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器包括接触式传感器、接近式传感器。
[0019]优选地，所述指示模块包括继电器，所述继电器的信号输入端与所述处理模块通信连接。
[0020]优选地，所述指示模块还包括指示灯，所述继电器的电力输出端与所述指示灯电性连接。
[0021]在本技术提供的晶圆前开式传送盒的运输装置，通过在载台上设置位置传感器，来获取载台所处的位置，并通过设置的指示模块对载台的位置进行指示，便于获取晶圆盒的解锁状态，例如在指示灯亮时，则表明载台已经移动到对应位置，晶圆盒已经解锁，当工程师需要将Foup拿出时，只需确认该指示灯状态就可以做出正确判断，避免误操作，导致机台宕机。
附图说明
[0022]图1是本技术提供的一种实施例的示意图；
[0023]图2是本技术提供的设置有基座的一种实施例的示意图。
[0024]图中，
[0025]1、载台；2、基座；3、第一位置传感器；4、第二位置传感器；5、处理模块；6、指示模块；7、继电器；8、指示灯。
具体实施方式
[0026]以下结合附图和具体实施例对本技术提出的晶圆前开式传送盒的运输装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0027]专利技术人研究发现在FOUP运输的过程中，由于载台会对晶圆盒进行锁定，在解锁晶圆盒并将晶圆盒从载台取下的过程中，载台移动一段距离后才会与晶圆盒完全解除锁定，载台移动距离较短，操作人员容易误判，导致载台与晶圆盒未完全解除锁定。
[0028]基此，在本技术实的核心思想在于，通过设置位置传感器来感应载台的位置，并对应设置了能够指示载台是否到达指定位置的指示灯，从而避免载台携带晶圆盒未到达
指定位置便移动晶圆盒。
[0029]具体的，请参考图1，其为本技术实施例的示意图。如图1所示，包括：
[0030]载台1，用以运送晶圆盒(未示出)，载台1具有第一操作位置和第二操作位置；
[0031]锁定机构(未示出)，设置在载台1上，且载台1处于第一操作位置时，锁定机构对晶圆盒进行锁定固定，载台1处于第二操作位置时，锁定机构解除对晶圆盒的固定；
[0032]第二位置传感器4，用于采集载台1的位置信号；
[0033]处理模块5，与第二位置传感器4通信连接；
[0034]指示模块6，用于指示载台1处于第一操作位置或第二操作位置，指示模块6与处理模块5通信连接。
[0035]在一种实施方式中，载台1能够移动从而带动其上的晶圆盒移动，例如载台1携带晶圆盒从第一操作位置时移动到第二操作位置。载台1上具有的锁定机构能够对晶圆盒进行固定，当载台1携带晶圆盒处于第一操作位置时，锁定机构将晶圆盒锁固在载台1上，而当载台1携带晶圆盒从第一操作位置移动到第二操作位置后，锁定机构与晶圆盒之间的锁定解除，晶圆盒能够从载台1上完好取下，且第二位置传感器4采集到载台1处于第二操作位置的信号时会将信号发送至处理模块5，处理模块5接收到信号后，会将对应的信号发送的指示模块6，并通过指示灯8的亮灭来指示载台1处于第一操作位置还是处于第二操作位置。
[0036]具体的，还包括第一位置传感器3，第一位置传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆前开式传送盒的运输装置，其特征在于，包括：载台，用以运送晶圆盒，所述载台具有第一操作位置和第二操作位置；锁定机构，设置在所述载台上，且所述载台处于所述第一操作位置时，所述锁定机构对所述晶圆盒进行固定，所述载台处于所述第二操作位置时，所述锁定机构解除对所述晶圆盒的固定；第二位置传感器，用于采集所述载台的位置信号；处理模块，与所述第二位置传感器通信连接；指示模块，用于指示所述载台处于所述第一操作位置或所述第二操作位置，所述指示模块与所述处理模块通信连接；还包括：第一位置传感器，所述第一位置传感器与所述处理模块通信连接；所述第一位置传感器用于采集所述载台在所述第一操作位置时的位置信号，所述第二位置传感器用于采集所述载台在所述第二操作位置时的位置信号；基座，所述载台设置在所述基座上，且所述载台相对于所述基座可运动以切换所述载台处于所述第一操作位置或第二操作位置，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器均至少部...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑜，韩洋，黄俊，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：