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本实用新型提供了一种晶圆前开式传送盒的运输装置，涉及装载装置技术领域。一种晶圆前开式传送盒的运输装置，包括：载台，用以运送晶圆盒，载台具有第一操作位置和第二操作位置；锁定机构，设置在载台上，且载台处于第一操作位置时，锁定机构对晶圆盒进行锁定...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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