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一种基于平行平板折展柔顺机构的晶圆交接系统，包括PLEM晶圆交接系统和PLEM交接控制系统；其中，PLEM晶圆交接系统包括检测系统、真空吸附系统、平行平板折展柔顺机构及微动台系统；所述平行平板折展柔顺机构安装于微动台系统上，平行平板折展柔顺...
该专利属于天津理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津理工大学授权不得商用。

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