【技术实现步骤摘要】
快速退火炉卤素灯座
[0001]本技术涉及快速退火炉卤素灯座,属于灯座
技术介绍
[0002]灯管在使用的过程中,通常会将其安装固定至灯座上。在半导体产品加工过程中,热处理(退火)通常是必备工序,快速退火炉(RTP)是目前常用的退火设备,它主要由辐照钨卤素灯管、晶圆载盘和石英腔室组成,通过光辐照的方式可将晶圆在非常短的时间内加热至400—1150℃。
[0003]但是,如图1所示,传统的卤素灯灯管1采用两端引出电线2安装方式,卤素灯有使用寿命,需要定期更换,更换时灯管两端电线需要重新拆装,较为麻烦,严重影响了卤素灯维修和更换的效率。为此,亟需提出一种便于拆装的卤素灯管灯座。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种快速退火炉卤素灯座,以解决目前快速退火炉卤素灯管不能快速拆装的技术问题。
[0005]本技术的技术方案如下:
[0006]快速退火炉卤素灯座,其特征是,包括:
[0007]陶瓷座体,包括主构件、副构件,所述副构件插接安装于主构件;
[0008]灯管导电端子,具有导电凸块;所述灯管导电端子固定于主构件、副构件之间;所述主构件在与导电凸块对应位置处,设有U型槽,以便灯管与灯管导电端子导通;
[0009]灯座导电端子,固定于主构件、灯管导电端子之间,并与灯管导电端子导通;且所述灯座导电端子设有向外的延伸部;
[0010]弹簧压板,弹簧压板的一端与灯管导电端子、灯座导电端子、主构件固接,另一端抵住副构件,将副构件与主构件压紧;r/>[0011]所述灯座两个一组,分别安装于灯管的两端;所述灯管的端面设有与灯管导电端子的导电凸块匹配的导电凹部(即金属导电触点)。
[0012]采用上述技术方案,将灯座的下部固接(即固接弹簧压板的下部、灯管导电端子的下部、灯座导电端子、主构件的下部),灯座的上部则依靠弹簧压板的弹性力将副构件紧紧固定于主构件中,使主构件、副构件牢牢地将灯管导电端子、灯座导电端子夹持固定并导通,使灯管的端部形成弹性压装,保证触点紧密连接。
[0013]通过灯座导电端子的延伸部与外部电源导通,灯管的端部从主构件的U型槽进入,并将灯管导电端子的导电凸块插入灯管的导电凹部,使灯管、灯管导电端子、灯座导电端子、外部电源导通。
[0014]进一步的,所述灯座导电端子为平面结构,所述灯管导电端子为三折平面结构,所述灯座导电端子位于灯管导电端子的下折板与主构件之间。
[0015]所述副构件设有与灯管导电端子上折板匹配的限位凹槽,所述限位凹槽中部设有
圆形沉孔,所述灯管导电端子设有与沉孔匹配的圆形凸块。灯管导电端子的上折板置于副构件端面的限位凹槽内,且灯管导电端子的圆形凸块安装于圆形沉孔内,可防止灯管导电端子上折板窜动,对灯管导电端子起到限位固定作用。
[0016]灯管导电端子的下折板设有环形凸起,以便插入灯座导电端子的孔内,可起到定位作用,防止灯座导电端子窜动。
[0017]进一步的,所述弹簧压板的一端(下部)与灯座导电端子的下折板之间设有绝缘片。所述弹簧压板的一端(下部)、绝缘片、灯管导电端子的下折板、灯座导电端子、主构件的下部通过铆钉固接。
[0018]绝缘片可以隔绝灯管导电端子与弹簧压板,弹簧压板与铆钉之间通过增加云母片进行绝缘隔绝,防止灯管导通时弹簧压板带电,避免造成安全事故。将弹簧压板的下部、绝缘片、灯管导电端子的下折板、灯座导电端子、主构件下部铆接固定,保证灯管导电端子、灯座导电端子之间的稳固,保证灯管导通工作的顺利、稳定进行。
[0019]进一步的,所述副构件设有与主构件插接的凸台,所述主构件设有与凸台配合的台阶面。副构件通过凸台插接于主构件的台阶面内,且凸台与台阶面之间形成限位结构,在弹簧压板作用下,凸台与台阶面的接触更紧密、限位更加稳定。
[0020]进一步的,所述灯座中部设有用于安装的固定孔,以便将整个灯座固定,所述固定孔贯穿弹簧压板、灯管导电端子、主构件。
[0021]安装时,通过固定孔先将其中一个灯座固定;再将灯管的一端插入主构件的U型槽,使该灯座中灯管导电端子的导电凸块与灯管的导电凹部接触导通;接着,将灯管的另一端与第二个灯座中灯管导电端子的导电凸块接触导通;最后,通过固定孔将第二个灯座固定,通电后卤素灯开始点亮工作。
[0022]卤素灯管在使用一段时间后需要更换时,通过固定孔将其中任意一个灯座拆卸,即可快速更换灯管,节约时间成本。
[0023]本技术采用弹性压装,保证触点(灯管导电端子和灯座导电端子之间、灯管和灯管导电端子之间)紧密连接,提高了更换效率。
附图说明
[0024]图1为
技术介绍
中卤素灯管的安装示意图;
[0025]图2为本技术中卤素灯管的结构示意图;
[0026]图3为本技术中灯座的结构示意图;
[0027]图4为图3的爆炸图;
[0028]图5为本技术灯座与灯管的安装示意图;
[0029]图6为为本技术灯座的剖视示意图;
[0030]图7为本技术中灯座的结构示意图;
[0031]图8为本技术中主构件的结构示意图;
[0032]图9为本技术中副构件的结构示意图;
[0033]图10为本技术中副构件的结构示意图;
[0034]图11为本技术中弹簧压板的结构示意图;
[0035]图12为本技术中灯管导电端子的结构示意图;
[0036]图中:传统的卤素灯灯管1、电线2、灯座3、卤素灯管4、导电凹部5、主构件7、副构件8、限位凹槽9、限位凹槽10、灯管导电端子11、导电凸块12、圆形凸块13、圆形沉孔14、U型槽15、环形凸起16、灯座导电端子17、灯座导电端子的延伸部18、弹簧压板19、铆钉20、绝缘片21、固定孔22、凸台23、台阶面24。
具体实施方式
[0037]实施例1
[0038]快速退火炉卤素灯座,包括陶瓷座体、灯管导电端子、灯座导电端子、弹簧压板。灯座3两个一组,分别安装于灯管的两端,本实施例中卤素灯管4的端面带有导电凹部5(即金属导电触点)。具体的,如图4所示,灯座包括:
[0039]1)陶瓷座体,包括主构件7、副构件8,副构件插接安装于主构件;
[0040]副构件的右端面设有与灯管导电端子上折板匹配的限位凹槽9,左端面设有与弹簧压板上部匹配的限位凹槽10。
[0041]2)灯管导电端子11,为三折平面结构(上折板、中折板、下折板),上折板的右端面设置导电凸块12,上折板的左端面具有圆形凸块13;
[0042]副构件右端限位凹槽9的中部设有圆形沉孔14,与上折板圆形凸块13匹配(灯管导电端子的上折板置于副构件端面的限位凹槽9内,且灯管导电端子的圆形凸块13安装于圆形沉孔14内)。
[0043]主构件在与导电凸块对应位置处设有U型槽15,以便灯管与灯管导电端子导通。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.快速退火炉卤素灯座,其特征是,包括:陶瓷座体,包括主构件、副构件,所述副构件插接安装于主构件;灯管导电端子,具有导电凸块;所述灯管导电端子固定于主构件、副构件之间;灯座导电端子,固定于主构件、灯管导电端子之间,并与灯管导电端子导通;弹簧压板,弹簧压板的一端与灯管导电端子、灯座导电端子、主构件固接,另一端抵住副构件,将副构件与主构件压紧。2.根据权利要求1所述的快速退火炉卤素灯座,其特征是,所述灯座导电端子为平面结构,所述灯管导电端子为三折平面结构,所述灯座导电端子位于灯管导电端子的下折板与主构件之间。3.根据权利要求2所述的快速退火炉卤素灯座,其特征是,所述弹簧压板的一端与灯座导电端子的下折板之间设有绝缘片。4.根据权利要求2所述的快速退火炉卤素灯座,其特征是,所述灯座导电端子设有向外的延伸部。5.根据权利要求3所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨志勇,王恒,单庆喜,
申请(专利权)人:扬州思普尔科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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