齿形导片装置制造方法及图纸

齿形导片装置，属于半导体技术领域。包括：立架；导片腔结构，包括两块相对布置的挡板、以及连接两挡板的横杆，两块挡板的侧端分别与立架上部固接；两块挡板的内侧壁分别对称布置有若干匹配晶圆的片槽，形成导片腔；升降机构，安装于立架下部，包括驱动结构、以及与驱动结构相连的升降臂；齿形导片座，安装于升降臂顶部；所述齿形导片座的顶部设有若干匹配晶圆的片槽，齿形导片座的片槽、导片腔的片槽上下一一对应。本实用新型专利技术简化结构，可有效避免晶圆在导片过程因错位而导致的破损。导片过程因错位而导致的破损。导片过程因错位而导致的破损。

【技术实现步骤摘要】
齿形导片装置


[0001]本技术涉及一种齿形导片装置，属于半导体


技术介绍

[0002]在半导体领域中，晶圆的制程中会涉及到多个不同的生产工艺，因此，整个制程中需要把晶圆在不同的晶圆盒之间周转。更换晶圆盒的过程中，需要将晶圆导片至特定位置暂存，然后再放入新的晶圆盒内。现有的晶圆导片机构结构复杂，晶圆片在导片时容易发生错位，从而导致晶圆片发生破碎。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是针对上述现有技术的不足，提供一种齿形导片装置，简化结构，可有效避免晶圆在导片过程因错位而导致的破损。
[0004]为了解决晶圆片在导片过程中发生错位的技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0005]齿形导片装置，其特征是，包括：
[0006]立架；
[0007]导片腔结构，包括两块相对布置的挡板、以及连接两挡板的横杆，两块挡板的侧端分别与立架上部固接；两块挡板的内侧壁分别对称布置有若干匹配晶圆的片槽，形成导片腔；
[0008]升降机构，安装于立架下部，包括驱动结构、以及与驱动结构相连的升降臂；
[0009]齿形导片座，安装于升降臂顶部；所述齿形导片座的顶部设有若干匹配晶圆的片槽，齿形导片座的片槽、导片腔的片槽上下一一对应；
[0010]晶圆盒的支撑平台，位于导片腔下方；所述支撑平台中间设有供齿形导片座通过的过孔，所述过孔的边缘设有与晶圆盒底部匹配的限位结构。
[0011]采用上述方案，导片腔单元、晶圆盒的支撑平台、升降机构沿立架高度由上而下布置。将晶圆盒放于支撑平台，支撑平台位于导片腔、升降机构之间，确保导片腔、晶圆盒、齿形导片座上的片槽位置上下一一对应。启动升降机构，驱动升降臂带动齿形导片座上升，齿形导片座上的片槽与上方晶圆盒内晶圆片一一接触，继续上升，齿形导片座将晶圆片逐渐抬升、并送入导片腔内的对应片槽内。齿形导片座的片槽，一方面可以从底部平稳支撑晶圆片，另一方面还可以对晶圆片进行定位，防止其窜动，有效防止晶圆片错位。升降机构只做直线运动，晶圆片可以平稳进入导片腔内，降低晶圆片错位的可能性。
[0012]为了使晶圆稳定地暂存在导片腔中，本技术采用以下技术方案：
[0013]设置挡片机构，包括：
[0014]两块夹板，相对布置并分别位于两块挡板的外侧；所述夹板的底部向内延伸有支撑晶圆的限位台阶，两个限位台阶上对称布置有若干匹配晶圆的片槽；
[0015]一对转轴，分别连接于对应夹板的顶部；
[0016]一对旋转气缸，安装于立架；两个旋转气缸的输出轴分别连接对应的转轴，挡板的中下部设有供同侧限位台阶穿过的矩形通孔。
[0017]采用上述方案，驱动旋转气缸，使两块夹板向外张开，限位台阶离开导片腔，便于齿形导片座将晶圆盒中的晶圆片抬升至导片腔内。驱动旋转气缸复位，两块夹板向内翻转复位，限位台阶穿过对应挡板的矩形通孔，使晶圆片插入限位台阶的片槽，以支撑晶圆片。
[0018]为了使晶圆在导片时运行稳定，本技术采用以下技术方案：
[0019]所述驱动结构包括：
[0020]安装架，固接于立架下部；
[0021]丝杠，竖向布置且两端分别通过轴承与安装架相连；
[0022]螺母座，套装于所述丝杠上，并与之螺纹连接；四个升降臂两两一组，对称布置，底部共同连接一块底板，底板的中部与螺母座固接；
[0023]电机，固定于安装架，并驱动连接丝杠；
[0024]一对滑块，与安装架上的滑轨滑动连接；升降臂底板侧壁同时与一对滑块固接。
[0025]采用上述方案，丝杠竖直安装，电机驱动丝杠，滑块与滑轨滑动配合，驱动螺母座直线上升，升降臂作直线运动，保证晶圆片的运动稳定不发生位移和错位。四个升降臂，配备四块齿形导片座，四块齿形导片座两两一组、相对布置，共同支撑晶圆片的平边（即同一晶圆片有两处支撑），使晶圆片上升过程中更加平稳、不错位。
[0026]为了解决齿形导片座可更换的问题，本技术采用以下技术方案：所述升降臂的顶部设有燕尾滑槽，所述齿形导片座的底部设有燕尾滑块，所述齿形导片座通过燕尾滑块、燕尾滑槽与升降臂插接，并用螺栓固定。利用燕尾滑块、燕尾滑槽以及螺栓，可以实现齿形导片座的维护、更换。
附图说明
[0027]图1为本技术结构示意图；
[0028]图2为图1主视图；
[0029]图3为图2剖视结构示意图；
[0030]图4为本技术中导片腔结构的示意图；
[0031]图5为本技术中挡片机构的示意图；
[0032]图6为本技术中升降臂的示意图；
[0033]图7为本技术中安装架的示意图；
[0034]图8为本技术中支撑平台的示意图；
[0035]图9为本技术中挡片机构关闭状态示意图；
[0036]图10为本技术中挡片机构打开状态示意图；
[0037]图11为晶圆片位于齿形导片座的示意图；
[0038]图12为晶圆片位于平面导片座的示意图；
[0039]图中：立架1；导片腔结构2、挡板2
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1、横杆2
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2、片槽2
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3、矩形通孔2
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4；升降机构3、升降臂3
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1、底板3
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2、安装架3
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3、丝杠3
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4、螺母座3
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5、电机3
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6、滑块3
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7、滑轨3
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8、燕尾滑槽3
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9；齿形导片座4、片槽4
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1、燕尾滑块4
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2；晶圆盒5；支撑平台6、过孔6
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1、限位结构6
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2；挡片机构7、夹板7
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1、转轴7
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2、旋转气缸7
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3、限位台阶7
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4、片槽7
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5；晶圆片8、导片座9。
具体实施方式
[0040]实施例1
[0041]齿形导片装置，如图1、2、3所示，包括：立架1、导片腔结构2、升降机构3、齿形导片座4、晶圆盒5的支撑平台6、挡片机构7。
[0042]如图4所示，导片腔结构2包括两块相对布置的挡板2
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1、以及连接两挡板的横杆2
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2，两块挡板的侧端分别与立架上部固接；两块挡板的内侧壁分别对称布置有若干匹配晶圆的片槽2
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3，形成导片腔，每块挡板的中下部设有供同侧限位台阶穿过的矩形通孔2
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4。
[0043]如图1所示，升降机构3安装于立架下部，包括驱动结构、以及与驱动结构相连的升降臂3
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1。其中，如图6所示，四个升降臂两两一组，对称布置，底部共同连接一块底板3
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2。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.齿形导片装置，其特征是，包括：立架；导片腔结构，包括两块相对布置的挡板、以及连接两挡板的横杆，两块挡板的侧端分别与立架上部固接；两块挡板的内侧壁分别对称布置有若干匹配晶圆的片槽，形成导片腔；升降机构，安装于立架下部，包括驱动结构、以及与驱动结构相连的升降臂；齿形导片座，安装于升降臂顶部；所述齿形导片座的顶部设有若干匹配晶圆的片槽，齿形导片座的片槽、导片腔的片槽上下一一对应。2.根据权利要求1所述的齿形导片装置，其特征是，还设有挡片机构，包括：两块夹板，相对布置并分别位于两块挡板的外侧；所述夹板的底部向内延伸有支撑晶圆的限位台阶；一对转轴，分别连接于对应夹板的顶部；一对旋转气缸，安装于立架；两个旋转气缸的输出轴分别连接对应的转轴。3.根据权利要求2所述的齿形导片装置，其特征是，两个限位台阶上对称布置有若干匹配晶圆的片槽。4.根据权利要求3所述的齿形导片装置，其特征是，所述挡板的中下部设有供同侧限位台阶穿过的矩形通孔。5.根据权利要求1或4所述的齿形导片装置，其特征是，所述驱动结...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志勇，王恒，
申请(专利权)人：扬州思普尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：