长晶炉内具有加热器的支撑桌体制造技术

一种长晶炉内具有加热器的支撑桌体，其以多数根支撑柱分别电性连接至电热器，并同时支撑上方桌板。其中，每一支撑柱是以其石墨电极支柱对应螺锁于金属电极柱的螺母座上，金属电极柱再通过固定座以固定于炉壁上。固定座的固定法兰先焊固于炉壁，固定座内并设有弹性垫圈，通过弹性垫圈弹力的调整，使每一支撑柱得以平均施力于支撑桌体。本发明专利技术由多数根支撑柱将支撑桌体的重量分散且平稳地固定于长晶炉的炉壁上，不易倾倒可防止安全事故发生；又可将桌板作薄，有利于加热时能均匀直接传热至坩埚内、热散时能使硅浆均匀长晶。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种支撑桌体，尤其是指一种适用于长晶炉内具有加热 器的支撑桌体。
技术介绍
请参阅图l，其显示为公知的长晶炉9，如图所示的加热室90设置于长 晶炉9内，于加热室90内容设有桌板91、与坩埚92，坩埚92中装盛有硅材 料。以支撑柱93固设于长晶炉9的炉底盖94，并支撑于桌板91、及坩埚92 的下方。于公知长晶炉9中，为了考虑桌板91能平衡地设置于长晶炉9内，某些 广用型长晶炉是以三根支撑柱93来达成平衡的目的。为有效地以三根支撑 柱93支撑住坩埚92，因此，其桌板91通常制作的相当地厚实以防断裂，而 每一支撑柱93的设计亦相对地粗大，才能承受相当的负荷。如图所示，电热器95设置于坩埚92四周，是以幅射热对硅材料进行加 热。在加热时，桌板91的热容量大，需吸收大量的热量后才能逐渐达到设 定温度将硅材料完全熔融成浆；在冷却长晶过程，因桌板91散热不易，使 坩埚92内的硅浆上、下冷却不均匀，造成凝固后的晶碇内部存有应力，终 致产品的质量不佳。再者，若于坩埚92细部裂缝泄流出硅浆，此融熔硅衆在不断地累积的 下，侵蚀其中一支撑柱93使的产生裂痕，导致断裂则会使坩埚92倾倒，最 后发生安全事故。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种长晶炉内具有加热器的支撑桌体，以期 能改善公知技术中存在的缺陷。为实现上述目的，本专利技术提供的长晶炉内具有加热器的支撑桌体，包 括一桌板、及至少四支撑柱，该桌板是通过该至少四支撑柱以支持固定于 一长晶炉的炉壁内；其巾该支撑桌体还包括有多个电热器，分别设置于该桌板的下方；其中， 每一支撑柱包括有一石墨电极支柱，包括有一底端、及一顶端，该底端设有一外螺牙， 该顶端支撑顶抵于该多个电热器其中的一下方并彼此形成电性连接；一金属电极柱，包括有一螺母座、及一外螺杆，该螺母座一端凹设有 一内螺孔以对应螺锁于该石墨电极支柱的该外螺牙，该螺母座另一端则凸 出延伸有该外螺杆、并与该外螺杆之间形成有一肩部；一固定座，包括有一固定法兰、 一绝缘轴套、 一上绝缘垫、 一密封衬 垫、 一弹性垫圈、 一固定环、及多个绝缘环，其中，该固定法兰包括有一 中空圆筒、及一外环圈，该中空圆筒外周固设于该长晶炉侧壁的炉壁上、 内部形成有一中央孔，该外环圈开设有多个穿孔；该绝缘轴套套设于该金 属电极柱的该螺母座外周并一并容设于该中央孔内；该上绝缘垫包括有一 中心穿孔，并于其外环周开设有多个圆孔；该密封衬垫包括有一中心孔， 并于其外环周开设有多个逃孔；该弹性垫圈包括有一圆心部、 一环周部、 及至少一弹片，该至少一弹片连结于该圆心部与该环周部之间以提供一轴向弹力，该圆心部中央开设有一中孔，该环周部开设有多个贯孔；上述金 属电极柱的该外螺杆穿经该密封衬垫的该中心孔与该弹性垫圈的该中孔， 并使该肩部顶抵于该密封衬垫上；该固定环外环周开设有多个固定孔-，多个固定螺栓，分别对应穿经该多个固定孔、该多个绝缘环、该多个 贯孔、该多个逃孔、该多个圆孔、及该多个穿孔，并通过多个螺帽分别对 应锁紧，以将该上绝缘垫、该密封衬垫、与该弹性垫圈一并夹合固定于该 固定法兰与该固定环之间，其中该固定法兰与该密封衬垫之间因间隔有该 绝缘轴套、该上绝缘垫、与该多个绝缘环而形成电性绝缘；以及一锁固螺帽，对应锁固于该金属电极柱的该外螺杆，并将该密封衬垫、 与该弹性垫圈夹合固定于该锁固螺帽与该金属电极柱的该肩部之间。所述的支撑桌体，其中，每一电热器的二端分别与该桌板之间还夹设 有一绝缘压片，该绝缘压片对应到其下方该石墨电极支柱的该顶端。所述的支撑桌体，其中，每一电热器的二端分别凹设有一承坑，该桌 板下方凹设有多个承穴，该绝缘压片是容置于该承坑与其对应的承穴内。 所述的支撑桌体，其中，该绝缘压片是指一氧化锆压片。 所述的支撑桌体，其中，该桌板下方还设有一中央凹陷。 所述的支撑桌体，其中，该石墨电极支柱的该顶端还设有一外螺牙， 该石墨电极支柱还包括有一调整螺帽，通过该调整螺帽螺合于该外螺牙上 以支撑顶抵着该电热器。所述的支撑桌体，其中，该调整螺帽包括有一石墨调整螺帽。 所述的支撑桌体，其中，该金属电极柱包括有一铜电极柱。 所述的支撑桌体，其中，该固定法兰下表面还凸设有一环凸起，该上绝缘垫上表面还凹设有一环凹槽，该环凸起是对应嵌合容置于该环凹槽 内。所述的支撑桌体，其中，该固定法兰包括有--不锈钢法兰。所述的支撑桌体，其中，该绝缘轴套包括有--氧化铝纤维轴套。所述的支撑桌体，其中，该上绝缘垫包括有--氧化铝纤维衬垫。所述的支撑桌体，其中，该上绝缘垫的外周还环设有一外凸缘。所述的支撑桌体，其中，该密封衬垫包括有--铜质衬垫。所述的支撑桌体，其中，该固定座还包括有一-下绝缘垫，该下绝缘垫夹设于该弹性垫圈与该固定环之间，该下绝缘垫外环周开设有多个通孔。 所述的支撑桌体，其中，还包括多个绝缘座、及多个绝缘盖，分别对 应包覆于该多个螺帽上。所述的支撑桌体，其中，还包括多个绝缘座、及多个绝缘盖，分别对 应包覆于该多个固定螺栓上。如此，由上述弹性垫圈的弹力调整下，可使得支撑柱得以平均施力于 支撑桌体，又可使支撑柱的数量增加不受限制。除使支撑桌体的重量分散 且平稳地固定于长晶炉炉底盖的炉壁，不易倾倒，可防止安全事故发生。 又可将支撑桌体的桌板作薄，其热容量相对变小，而使桌板下的电热器加热时即能均匀且直接地传热于坩埚上；相对地，于坩埚冷却时更从底部可 有效的达成散热效果，除了有利于硅浆均匀长晶外，更可节省能源的耗费。附图说明图l是公知长晶炉的示意图。 图2是本专利技术一较佳实施例长晶炉炉内的剖视图。图3是本专利技术一较佳实施例支撑桌体的剖视图。 图4是本专利技术一较佳实施例支撑桌体的分解图。图5是本专利技术第二较佳实施例支撑桌体的剖视图。 图6是本专利技术第三较佳实施例支撑桌体的剖视图。附图中主要组件符号说明长晶炉1,9炉底盖12,94炉壁121支撑桌体2坩埚20,92桌板21,91电热器22,95承穴23绝缘压片24承坑25中央凹陷26支撑柱3，93石墨电极支柱31底端32外螺牙321,331顶端33调整螺帽34金属电极柱4螺母座41内螺孔411外螺杆42肩部421固定座5固定法兰51中空圆筒511外环圈512中央孔513穿孔514绝缘环515,562,572环凸起516绝缘轴套52上绝缘垫53中心穿孔531圆孔532外凸缘533环凹槽534密封衬垫54中心孔541逃孔542弹性垫圈55圆心部551环周部552弹片553中孔554贯孔555固定环56固定孔561下绝缘垫57通孔571固定螺栓6螺帽7绝缘座71，81绝缘盖72,82金属垫片73锁固螺帽8加热室909具体实施例方式本专利技术的长晶炉内具有加热器的支撑桌体，包括一桌板、及四根以上 的支撑柱，桌板是通过支撑柱以支持固定于一长晶炉其炉底盖的炉壁内。支撑桌体包括有多个电热器，分别设置于桌板的下方。其中，每一支 撑柱包括有一石墨电极支柱、 一金属电极柱、 一固定座、多个固定螺栓、 以及一锁固螺帽。石墨电极支柱包括有一底端、及一顶端，底端设有一外螺牙，顶端支 撑顶抵于多个电热器其中的一的两端下方并彼此形成电性连接。金属电极 柱包括有一螺母座、及一外螺杆，螺母座一端凹设有一内螺孔以对应螺锁 于石墨电极支柱的外螺牙，螺母座另一端则凸出延伸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种长晶炉内具有加热器的支撑桌体，包括一桌板、及至少四支撑柱，该桌板是通过该至少四支撑柱以支持固定于一长晶炉的炉壁内；　其中：　该支撑桌体包括有多个电热器，分别设置于该桌板的下方；其中，每一支撑柱包括有：　一石墨电极支柱，包括有一底端、及一顶端，该底端设有一外螺牙，该顶端支撑顶抵于该多个电热器其中的一下方并彼此形成电性连接；　一金属电极柱，包括有一螺母座、及一外螺杆，该螺母座一端凹设有一内螺孔以对应螺锁于该石墨电极支柱的该外螺牙，该螺母座另一端则凸出延伸有该外螺杆、并与该外螺杆之间形成有一肩部；　一固定座，包括有一固定法兰、一绝缘轴套、一上绝缘垫、一密封衬垫、一弹性垫圈、一固定环、及多个绝缘环，其中，该固定法兰包括有一中空圆筒、及一外环圈，该中空圆筒外周固设于该长晶炉侧壁的炉壁上、内部形成有一中央孔，该外环圈开设有多个穿孔；该绝缘轴套套设于该金属电极柱的该螺母座外周并一并容设于该中央孔内；该上绝缘垫包括有一中心穿孔，并于其外环周开设有多个圆孔；该密封衬垫包括有一中心孔，并于其外环周开设有多个逃孔；该弹性垫圈包括有一圆心部、一环周部、及至少一弹片，该至少一弹片连结于该圆心部与该环周部之间以提供一轴向弹力，该圆心部中央开设有一中孔，该环周部开设有多个贯孔；上述金属电极柱的该外螺杆穿经该密封衬垫的该中心孔与该弹性垫圈的该中孔，并使该肩部顶抵于该密封衬垫上；该固定环外环周开设有多个固定孔；　多个固定螺栓，分别对应穿经该多个固定孔、该多个绝缘环、该多个贯孔、该多个逃孔、该多个圆孔、及该多个穿孔，并通过多个螺帽分别对应锁紧，以将该上绝缘垫、该密封衬垫、与该弹性垫圈一并夹合固定于该固定法兰与该固定环之间，其中该固定法兰与该密封衬垫之间因间隔有该绝缘轴套、该上绝缘垫、与该多个绝缘环而形成电性绝缘；以及　一锁固螺帽，对应锁固于该金属电极柱的该外螺杆，并将该密封衬垫、与该弹性垫圈夹合固定于该锁固螺帽与该金属电极柱的该肩部之间。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕秀正，林和龙，
申请(专利权)人：绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]