下载长晶炉内具有加热器的支撑桌体的技术资料

文档序号:3780453

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一种长晶炉内具有加热器的支撑桌体,其以多数根支撑柱分别电性连接至电热器,并同时支撑上方桌板。其中,每一支撑柱是以其石墨电极支柱对应螺锁于金属电极柱的螺母座上,金属电极柱再通过固定座以固定于炉壁上。固定座的固定法兰先焊固于炉壁,固定座内并设有...
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