用于基板制程的热交换系统技术方案

技术编号:3779720 阅读:140 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术是有关于一种用于基板制程的热交换系统,主要由一热泵装置、一个以上的热交换装置、一设于热泵装置与热交换装置之间的集热装置、两条以上连接于热泵装置与集热装置的连接管、两条以上连接于集热装置与热交换装置的分配管与一条以上连接于热交换装置的输送管所组成;前述系统藉由热泵装置吸收热能而产生热源,并收集于集热装置中,再藉由分配管输送至各热交换装置中,使该热交换装置能运用外界的热能对基板制程中使用的药液或气体进行热交换以提高其温度,藉此降低基板制程的生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种热交换系统,特别是涉及一种用于基板制程的热交换 系统。
技术介绍
现今许多工厂为提升产值和增加毛利,所以对于产品制程都尽量降低 其生产成本,以增加市场上的竟争力。这对于电子产业中的基板制程来说也是如此,在基板制程中,不论是 显影、蚀刻或干燥等各个制程皆需藉由电热装置所产生的热能来进行干燥 (如气体)或是对药液(例如蚀刻液)加热,以促使电路板或玻璃基板的表面 能顺利完成电路的制作,避免该基板在显影、蚀刻或干燥等步骤时,因基 板表面与药液反应或是干燥不完全而造成的电路形成于基板上产生瑕疵, 因此对基板制程而言,电热装置是不可或缺的。在目前基板的制程中,其电热装置最常使用的是电热丝加热气体或液体,电热丝用于基板制程中的缺点为(1) 电热丝耗电量大,相对其所花费的电费十分昂贵;(2) 因基板制程中所使用的设备多为塑料材质,故电热丝若温度控制 不当易引起火灾,造成工厂不必要的损失;(3) 电热丝为金属材质,使用年限短暂常需更换,对于现今基板制程 毛利率的提高有所违背,并不敷市场所需。有鉴于上述现有的基板制程中的电热装置存在的缺陷,习用基板制程 中使用电热丝做为加热气体或液体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热交换系统,其特征在于其包括: 一热泵装置; 一个以上的热交换装置; 一集热装置,设于热泵装置与热交换装置之间; 两条以上的连接管,该连接管的一端连接于热泵装置上,另一端则连接于集热装置上; 两条以上的分配管,该分配管两端连接于集热装置与热交换装置间;以及 一条以上的输送管,其两端分别连接于热交换装置上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:苏胜义乔鸿培
申请(专利权)人:扬博科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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