【技术实现步骤摘要】
本技术有关于自动量测装置,尤指一种可翻转量测的装置。
技术介绍
1、由于半导体产业对制程精确度和准确性的要求非常高,因此大多利用机械手臂进行自动化量测,借以对制程元件的尺寸、位置和特性进行精准测量。
2、再者,电路板是半导体产业中重要的一环。在电路板的制程中需形成铜膜,并在量测过程中需经过多次翻面来进行厚度量测。然而,现有的电路板厚量测装置大多通过人工作业来进行翻面,或只能对单一板厚进行量测,导致使用上的不便而不符使用需求。
技术实现思路
1、本技术的一目的,在于提供一种具有翻转机构的夹持量测装置,其夹持组能够随着马达的转轴转动而产生翻转,以利进行量测作业。
2、为了达成上述的目的,本技术为一种具有翻转机构的夹持量测装置,包括机台及夹持组。机台包含马达及受马达带动的转轴。夹持组连接转轴而能够作翻转,包含相对设置的一对弹性夹杆及一对移动夹杆。各弹性夹杆包含一对第一夹杆及设置在该对第一夹杆之间的弹性元件。各移动夹杆包含一对第二夹杆及设置在该对第二夹杆之间的致动组件。待测工件插置在弹性夹杆及移动夹杆之间,各致动组件带动移动夹杆朝弹性夹杆方向移动并压缩弹性元件。待测工件从而夹持在弹性夹杆及移动夹杆之间。
3、于本技术的一实施例中,机台为一机械手臂。
4、于本技术的一实施例中,夹持组进一步包含连接弹性夹杆及移动夹杆的支撑杆,且支撑杆连接转轴。
5、于本技术的一实施例中,夹持组呈u形设置。
6、于本技术的一实施例中,弹性元
7、于本技术的一实施例中,致动组件包含致动器及复数连杆,各连杆的一端枢接该对第二夹杆的其中一者、另一端受致动器带动而能够作转动。
8、于本技术的一实施例中,致动组件进一步包含至少一导向杆,该对第二夹杆包含内第二夹杆及外第二夹杆,内第二夹杆面向弹性夹杆并设置有至少一导向孔,至少一导向杆的一端穿设至少一导向孔、另一端固定在外第二夹杆上。
9、于本技术的一实施例中,致动组进一步包含复数支撑块,支撑块可滑移地设置在外第二夹杆并连接内第二夹杆。
10、于本技术的一实施例中,夹持量测装置进一步包括用以对待测工件进行感测的感测器,感测器设置在夹持组上。
11、于本技术的一实施例中,感测器为针点式感测器或激光感测器。
12、相较于习知技术,本技术的夹持量测装置的夹持组受马达的转轴带动而作翻转,此外,夹持组包含弹性夹杆及移动夹杆。又,弹性夹杆包含弹性元件,移动夹杆包含致动组件;据此,致动组件带动移动夹杆朝弹性夹杆方向移动并压缩弹性元件,从而令待测工件夹持在弹性夹杆及移动夹杆之间,借此提供操作方便且可作翻转的夹持量测装置,增加本技术的实用性及使用上的便利性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该机台为一机械手臂。
3.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该夹持组进一步包含连接该对弹性夹杆及该对移动夹杆的一支撑杆,且该支撑杆连接该转轴。
4.如权利要求3所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该夹持组呈U形设置。
5.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该弹性元件的数量为复数,复数弹性元件是间隔设置在该对第一夹杆之间。
6.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,各该致动组件包含一致动器及复数连杆,各连杆的一端枢接该对第二夹杆的其中一者、另一端受各该致动器带动而能够作转动。
7.如权利要求6所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该致动组件进一步包含至少一导向杆,该对第二夹杆包含一内第二夹杆及一外第二夹杆,该内第二夹杆面向该弹性夹杆并设置有至少一导向孔,该至少一导向杆的一端穿设该至少一导向孔、另一端固定在该外第
8.如权利要求7所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该致动组件进一步包含复数支撑块,该各所述支撑块可滑移地设置在该外第二夹杆并支撑该致动器。
9.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,进一步包括用以对所述待测工件进行感测的一感测器,该感测器设置在该夹持组上。
10.如权利要求9所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该感测器为一针点式感测器或一激光感测器。
...【技术特征摘要】
1.一种具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该机台为一机械手臂。
3.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该夹持组进一步包含连接该对弹性夹杆及该对移动夹杆的一支撑杆,且该支撑杆连接该转轴。
4.如权利要求3所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该夹持组呈u形设置。
5.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,该弹性元件的数量为复数,复数弹性元件是间隔设置在该对第一夹杆之间。
6.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置,其特征在于,各该致动组件包含一致动器及复数连杆,各连杆的一端枢接该对第二夹杆的其中一者、另一端受各该致动器带...
【专利技术属性】
技术研发人员:苏胜义,巫坤星,吕理榕,苏绍君,黄世达,王文锜,
申请(专利权)人:扬博科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。