一种镀膜机镀膜均匀性评估系统技术方案

本申请涉及一种镀膜机镀膜均匀性评估系统，其包括信息采集模块，用于获取待评估工件的镀膜信息，所述镀膜信息包括应用工件信息、膜层类型信息、膜层成分信息和测试附加信息；方案匹配模块，用于基于待评估工件的镀膜信息匹配确定目标检测方案；检测调度模块，用于基于目标检测方案生成检测调度指令；检测控制模块，用于基于检测工艺流程信息生成检测控制指令，将检测控制指令发送至膜厚检测设备处，使得膜厚检测设备基于检测控制指令按照检测工艺流程信息测得待评估工件的各个检测点的膜厚信息；以及，均匀性评估模块，用于生成均匀性评估报告发送至管理人员处。本申请具有有效提高工件镀膜均匀性评估效率和评估质量的效果。高工件镀膜均匀性评估效率和评估质量的效果。高工件镀膜均匀性评估效率和评估质量的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机镀膜均匀性评估系统


[0001]本申请涉及镀膜机的领域，尤其是涉及一种镀膜机镀膜均匀性评估系统。

技术介绍

[0002]真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体（称基板、基片或基体）上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相沉积（PVD）技术和化学气相沉积（CVD）技术。
[0003]镀膜机镀膜膜厚均匀性的控制是镀膜生产过程中的一个重要问题。所谓膜厚均匀性是指待镀膜基片上所镀的膜厚随着基片在镀膜机真空室内所处的位置变化而变化的一种性质。镀膜机镀膜膜厚均匀性直接关系到产品的良率和薄膜的质量。镀膜机镀膜膜厚均匀性可以通过改变镀膜机的配置或添加修正挡板实现，而准确获得膜厚均匀性数据则是进行均匀性修正的前提。不同类型膜层的镀膜应用不同，镀膜工艺不同，镀膜膜厚检测方式也不同，如光学薄膜采用用沉积测量单层膜或透光折射测量来实现，导磁材料上的非导磁层厚度测量可采用磁性测厚法、端面法、球痕法等测量方式实现，工件表面的金属镀层厚度可采用涡流测厚法、端面法、球痕法、无损电阻检测法等方法实现测量。另外还有诸如超声波检测法、电解检测法、X射线检测等等，多种检测法应用于各种类型的镀膜膜厚检测中。同时也会出现一种镀膜存在多种膜厚检测方法，容易出现部分检测方法虽然能够检测膜厚但检测精度不高操作复杂费时费力的现象发生。
[0004]因此，如何根据镀膜类型以及膜层实际应用情景，精确高效的对工件镀膜均匀性进行检测评估是一个待解决的问题。

技术实现思路

[0005]为了解决现有镀膜均匀性检测方式单一死板，无法根据镀膜膜层实际应用情景进行精准检测评估，容易出现检测精度不高操作复杂费时费力的问题，本申请提供一种镀膜机镀膜均匀性评估系统。
[0006]第一方面，本申请提供一种镀膜机镀膜均匀性评估系统，采用如下的技术方案：一种镀膜机镀膜均匀性评估系统，包括：信息采集模块，用于获取待评估工件的镀膜信息，所述镀膜信息包括应用工件信息、膜层类型信息、膜层成分信息和测试附加信息；方案匹配模块，用于基于待评估工件的镀膜信息匹配确定目标检测方案，所述目标检测方案包括至少一种膜厚检测设备、多个检测点点位信息及检测方式和检测工艺流程信息；检测调度模块，用于基于目标检测方案生成检测调度指令，检测人员基于检测调
度指令将待评估工件输送至膜厚检测设备处；检测控制模块，用于基于检测工艺流程信息生成检测控制指令，将检测控制指令发送至膜厚检测设备处，使得膜厚检测设备基于检测控制指令按照检测工艺流程信息测得待评估工件的各个检测点的膜厚信息；以及，均匀性评估模块，用于基于待评估工件的各个检测点的膜厚信息绘制镀膜膜厚散点分布图，并通过预设的均匀性计算公式计算待评估工件的均匀性，生成均匀性评估报告发送至管理人员处。
[0007]优选的，所述预设的均匀性计算公式具体为：，其中，为各个检测点中膜厚最大值，为各个检测点中膜厚最小值，为第i个检测点的膜厚值，n为检测点总数。
[0008]优选的，所述方案匹配模块基于待评估工件的镀膜信息匹配确定目标检测方案具体包括以下步骤：基于待评估工件的镀膜信息通过预设置的方案匹配模型匹配确定至少一个满足镀膜信息的备选检测方案，所述方案匹配模型为机器学习模型通过历史方案匹配数据训练获得；通过预设置的方案评分计算公式计算各个备选检测方案的方案评分；将各个备选检测方案基于方案评分的高低进行排序，选取方案评分最高的备选检测方案作为目标监测方案。
[0009]优选的，所述通过预设置的方案评分计算公式计算各个备选检测方案的方案评分具体包括以下步骤：各个备选检测方案根据工件损耗程度、测试精度、测试时效以及测试操作难度分别生成损耗排序、精度排序、时效排序以及操作难度排序，并通过预设的排序名次对照表获取的各个备选检测方案的损耗排序评分A、精度排序评分B、时效排序评分C以及操作难度排序评分D；根据镀膜信息的测试附加信息获取测试需求点，基于测试需求点选取上述任一排序序列作为最高优先级序列，其他排序序列作为次优先级序列，若不存在测试附加信息则默认精度排序为最高优先级序列；根据各个备选检测方案的排序评分，通过预设置的方案评分计算公式计算各个备选检测方案的方案评分。
[0010]优选的，所述方案评分计算公式为：；其中为第i个备选检测方案的方案评分，为最高优先级序列评分系数，为次优先级序列评分系数，且均由管理人员设置，；为第i个备选检测方案的最高优先级序列排序评分，为第i个备选检测方案的各个次优先级序列排序评分之和。
[0011]优选的，所述基于测试需求点选取上述任一排序序列作为最高优先级序列还包括：基于测试需求点将上述任一排序序列删除，该排序序列的各个备选检测方案的评分均
为0。
[0012]优选的，所述均匀性评估模块包括：图形绘制单元，用于基于待评估工件的各个检测点的膜厚信息绘制镀膜膜厚散点分布图；均匀性计算单元，用于通过预设的均匀性计算公式计算待评估工件的均匀性；均匀性判断单元，用于基于预设置的均匀性评估标准判断工件镀膜均匀性是否达标；以及，报告生成单元，用于采集镀膜的膜厚散点分布图、均匀性以及均匀性判断结果打包生成均匀性评估报告发送至管理人员处。
[0013]优选的，所述均匀性评估模块还包括：图形渲染单元，用于获取待评估工件的三维立体图形，基于待评估工件各个检测点的膜厚值大小对待评估工件的三维立体图形表面进行不同色彩渲染，生成工件镀膜均匀性立体显示模型；所述报告生成单元对工件镀膜均匀性立体显示模型进行六视角截图生成显示模型的六视图，将工件镀膜均匀性立体显示模型源文件以及六视图打包在均匀性评估报告内。
[0014]优选的，还包括：镀膜机调节模块，用于基于接收到的均匀性评估报告生成镀膜机调整建议发送至管理人员处。
[0015]优选的，所述镀膜机调节模块基于接收到的均匀性评估报告生成镀膜机调整建议发送至管理人员处具体包括以下步骤：基于接收到的均匀性评估报告获取镀膜均匀性，判断镀膜均匀性是否超出预设置的均匀性调整阈值；若未超出，则生成无需调整镀膜机的建议发送至管理人员处；若超出，则基于均匀性评估报告和目标监测方案提取待评估工件的各个检测点点位信息以及镀膜膜厚值，导入预设置的建议生成模型中匹配生成镀膜机调整建议，将镀膜机调整建议发送至管理人员处；所述建议生成模型为机器学习模型通过历史镀膜机调节数据训练而成；实时获取管理人员基于镀膜机调整建议调节镀膜设备后生产出的工件的均匀性评估数据，结合本次均匀性评估数据以及镀膜机调整建议打包生成镀膜机调节数据，发送至建议生成模型进行模型训练。
[0016]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：通过获取待评估工件的镀膜信息，匹配确定目标监测方案，进而调度检测人员运输工件按照目标检测方案的工艺流程信息本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机镀膜均匀性评估系统，其特征在于，包括：信息采集模块(1)，用于获取待评估工件的镀膜信息，所述镀膜信息包括应用工件信息、膜层类型信息、膜层成分信息和测试附加信息；方案匹配模块(2)，用于基于待评估工件的镀膜信息匹配确定目标检测方案，所述目标检测方案包括至少一种膜厚检测设备、多个检测点点位信息及检测方式和检测工艺流程信息；检测调度模块(3)，用于基于目标检测方案生成检测调度指令，检测人员基于检测调度指令将待评估工件输送至膜厚检测设备处；检测控制模块(4)，用于基于检测工艺流程信息生成检测控制指令，将检测控制指令发送至膜厚检测设备处，使得膜厚检测设备基于检测控制指令按照检测工艺流程信息测得待评估工件的各个检测点的膜厚信息；以及，均匀性评估模块(5)，用于基于待评估工件的各个检测点的膜厚信息绘制镀膜膜厚散点分布图，并通过预设的均匀性计算公式计算待评估工件的均匀性，生成均匀性评估报告发送至管理人员处。2.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀膜均匀性评估系统，其特征在于，所述预设的均匀性计算公式具体为：，其中，为各个检测点中膜厚最大值，为各个检测点中膜厚最小值，为第i个检测点的膜厚值，n为检测点总数。3.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀膜均匀性评估系统，其特征在于，所述方案匹配模块(2)基于待评估工件的镀膜信息匹配确定目标检测方案具体包括以下步骤：基于待评估工件的镀膜信息通过预设置的方案匹配模型匹配确定至少一个满足镀膜信息的备选检测方案，所述方案匹配模型为机器学习模型通过历史方案匹配数据训练获得；通过预设置的方案评分计算公式计算各个备选检测方案的方案评分；将各个备选检测方案基于方案评分的高低进行排序，选取方案评分最高的备选检测方案作为目标监测方案。4.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀膜均匀性评估系统，其特征在于，所述通过预设置的方案评分计算公式计算各个备选检测方案的方案评分具体包括以下步骤：各个备选检测方案根据工件损耗程度、测试精度、测试时效以及测试操作难度分别生成损耗排序、精度排序、时效排序以及操作难度排序，并通过预设的排序名次对照表获取的各个备选检测方案的损耗排序评分A、精度排序评分B、时效排序评分C以及操作难度排序评分D；根据镀膜信息的测试附加信息获取测试需求点，基于测试需求点选取上述任一排序序列作为最高优先级序列，其他排序序列作为次优先级序列，若不存在测试附加信息则默认精度排序为最高优先级序列；根据各个备选检测方案的排序评分，通过预设置的方案评分计算公式计算各个备选检测方案的方案评分。
5.根据权利要求4所述的一种镀膜机镀膜均匀性评估系统，其特征在于，所述方案评分计...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄桃，范玉山，闫春明，
申请(专利权)人：苏州德耐纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：