本发明专利技术属于检测设备技术领域，且公开了磁控溅射膜均匀度检测装置及其检测方法，包括机箱，所述机箱的右端面开设有进入口，所述进入口的内表面固定连接有固定框，所述固定框的顶面固定连接有清洁刷，所述固定框的顶面开设有吸入孔。本发明专利技术通过使得固定套向上下分布的两组固定框中抽吸空气，并利用分布在膜料上下侧的清洁刷，在进行膜料送入过程中通过与清洁刷摩擦，实现膜料表面灰尘的扫落，并配合抽吸效果将灰尘吸入到固定框中，保证进入到机箱中的膜料表面洁净，避免表面附着的灰尘颗粒影响检测机构中检测器对膜料表面膜层的均匀检测，提高实际检测效果，避免附着的灰尘颗粒阻挡检测，同时实现膜料上下的清洁，使用效果好。使用效果好。使用效果好。
【技术实现步骤摘要】
磁控溅射膜均匀度检测装置及其检测方法
[0001]本专利技术属于检测设备
，具体为磁控溅射膜均匀度检测装置及其检测方法。
技术介绍
[0002]磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率，磁控溅射通常应用于制膜，包括各种功能性薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜，例如低温沉积氮化硅减反射膜，以提高太阳能电池的光电转换效率，完成制膜操作后，通常需要溅射后的膜进行均匀度检测。
[0003]现有的磁控溅射膜均匀度检测装置，在使用过程中，通常将待检测的膜料送入检测性中，配合微视检测器完成表面溅射均匀度的检测，然而由于膜料在运送过程中与空气中的灰尘吸附，使得膜料表面附着一层灰尘，且在检测过程中大量灰尘颗粒附着在膜料的表面，并对膜料的上层膜层形成阻隔，实际在进行膜料表面溅射均匀度检测时，影响最终检测结果，实际检测误差较大，分布均匀度检测效果不佳。
[0004]此外，现有的磁控溅射膜均匀度检测装置，在进行表面膜层溅射均匀度检测时，通常采用对应膜层的检测器，通过针对不同膜层材料的直径情况，采用不同组的微视检测器，为了满足不同材料的溅射镀膜检测，需要布置多组检测器，或采用切换不同检测器的方式，实际多组检测器布置时增加安装难度，而进行不同组检测器的切换操作时，需要进行转动切换以及切换后的固定操作，实际操作起来较为麻烦，针对不同材质膜层的检测时，难度较大，使用效果不佳。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供磁控溅射膜均匀度检测装置及其检测方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：磁控溅射膜均匀度检测装置及其检测方法，包括机箱，所述机箱的右端面开设有进入口，所述进入口的内表面固定连接有固定框，所述固定框的顶面固定连接有清洁刷，所述固定框的顶面开设有吸入孔，所述固定框的内表面活动套接有过滤板，所述过滤板的侧面固定连接有连接杆，所述连接杆的端面固定连接有密封板，所述固定框的内部固定连接有固定杆，所述固定杆的端面固定连接有一号磁板，所述一号磁板与过滤板磁性连接，所述机箱的侧面固定连接有安装板，所述安装板的顶面固定安装有抽吸泵，所述机箱的右端面固定连接有固定套，所述固定套与固定框之间固定连通有一号管，所述机箱的内部活动安装有检测机构，所述机箱的内部设有辅助检
测机构。
[0007]第一实施例：如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示，进行检测时，将膜料穿过机箱，启动抽吸泵，使得抽吸泵通过二号管向固定套中抽吸空气，随着固定套空气抽出，使得固定框中的空气经由一号管抽吸至固定套中，随着膜料沿着清洁刷摩擦，膜料表面灰尘抖落并经由吸入孔吸入到固定框中，灰尘过滤在过滤板的侧面，并启动辅助检测机构，使得辅助检测机构中的检测灯向下对膜料发出光线，光线经由膜料穿过并达到光感应板的顶面上，同时位于辅助检测机构侧方的四号管将光感应板顶面上灰尘吸入到固定框中，光感应板感应光线强度并将信号输送给控制箱中，控制箱根据光感应板上感应的光线强弱分布计算均匀度。
[0008]首先，通过利用抽吸泵抽吸空气，使得固定套向上下分布的两组固定框中抽吸空气，并利用分布在膜料上下侧的清洁刷，在进行膜料送入过程中通过与清洁刷摩擦，实现膜料表面灰尘的扫落，并配合抽吸效果将灰尘吸入到固定框中，保证进入到机箱中的膜料表面洁净，避免表面附着的灰尘颗粒影响检测机构中检测器对膜料表面膜层的均匀检测，提高实际检测效果，避免附着的灰尘颗粒阻挡检测，同时实现膜料上下的清洁，使用效果好。
[0009]此外，通过在机箱中安装辅助检测机构，利用辅助检测机构中的检测灯配合光感应板，通过将检测灯的光线穿过膜料并落在光感应板上，根据膜料顶面溅射膜层的均匀不同，使得光线穿透后强度变化，通过利用光感应板感应光线强度变化，配合控制箱计算得出膜料外表面上溅射膜层的分布情况，从而辅助得到均匀度，配合目前的检测器提高实际检测效果，使用效果好。
[0010]优选的，所述检测机构包括转动杆、检测器、安装环、固定板、二号磁板和控制器，所述转动杆的外表面与机箱活动套接，所述检测器固定安装在转动杆的外表面上，所述安装环固定套接在转动杆的外表面上且位于机箱的外侧，所述机箱的正反面均固定连接有电磁铁，所述电磁铁位于安装环的两侧，所述安装环的外表面固定连接有固定板，所述固定板的侧面固定连接有二号磁板，所述控制器固定安装转动杆的端面上，通过利用现有的检测器实现对膜料顶层溅射膜层的均匀度检测，配合控制器完成检测计算。
[0011]优选的，所述机箱的正反面均固定连接有安装盖，所述安装盖套设在安装环的外侧，通过利用安装盖完成电磁铁的密封保护，避免影响电磁铁的安装位置，保证磁力均匀。
[0012]优选的，所述检测器的数量为六个，六个所述检测器每三个为一组共分为两组，所述检测机构的数量为两个，两个所述检测机构上下对称分布，上下分布的检测机构实现膜料的上下面检测，实现膜料上下面的均匀度检测。
[0013]优选的，所述辅助检测机构包括安装框、侧杆、检测灯和光感应板，所述侧杆固定连接在安装框的侧面上，所述侧杆的端面与机箱固定连接，所述检测灯固定连接在安装框的内表面上，所述光感应板固定安装在安装框的内表面上，所述检测灯和光感应板分别上下分布，利用检测灯和光感应板完成光线辅助检测，通过检测出光线穿透后的强弱分布，判断均匀度，。
[0014]优选的，所述机箱的背面固定安装有控制箱，所述控制箱与辅助检测机构之间固定连接有连接线，通过利用控制箱处理光感应板的感应信号，实现均匀度计算。
[0015]优选的，所述固定框的侧面开设有侧孔，所述固定框的侧面固定连接有四号管，所述四号管的一端与侧孔连通，所述四号管的另一端位于辅助检测机构的侧方，通过利用四
号管与固定框连通，在抽吸时将光感应板顶面灰尘吸出，保证光感应板表面清洁，提高实际检测精度。
[0016]优选的，所述抽吸泵的顶面固定连通有二号管，所述抽吸泵的侧面固定连通有三号管，所述固定框的数量为两个，两个所述固定框上下分布，通过利用上下分布的固定框完成膜料上下面的清洁和除尘，提高上下面均匀度检测的准确性。
[0017]优选的，所述机箱的左端面开设有移出口，所述机箱的左右端面均固定连接有侧板，所述侧板的内侧面均固定安装有引导机构，通过利用引导机构实现膜料的引导，保证膜料的稳定输送。
[0018]第二实施例：如图1、图2、图3、图6、图7和图8所示，当需要改变检测的对象时，根据需要检测的溅射膜层材料，关闭安装环一侧的电磁铁，使得安装环一侧电磁铁通电具有磁性，且另一侧断电无磁性，且两本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.磁控溅射膜均匀度检测装置及其检测方法，包括机箱(1)，其特征在于：所述机箱(1)的右端面开设有进入口(2)，所述进入口(2)的内表面固定连接有固定框(4)，所述固定框(4)的顶面固定连接有清洁刷(5)，所述固定框(4)的顶面开设有吸入孔(6)，所述固定框(4)的内表面活动套接有过滤板(7)，所述过滤板(7)的侧面固定连接有连接杆(8)，所述连接杆(8)的端面固定连接有密封板(9)，所述固定框(4)的内部固定连接有固定杆(10)，所述固定杆(10)的端面固定连接有一号磁板(11)，所述一号磁板(11)与过滤板(7)磁性连接，所述机箱(1)的侧面固定连接有安装板(14)，所述安装板(14)的顶面固定安装有抽吸泵(15)，所述机箱(1)的右端面固定连接有固定套(12)，所述固定套(12)与固定框(4)之间固定连通有一号管(13)，所述机箱(1)的内部活动安装有检测机构(23)，所述机箱(1)的内部设有辅助检测机构(20)。2.根据权利要求1所述的磁控溅射膜均匀度检测装置，其特征在于：所述检测机构(23)包括转动杆(231)、检测器(232)、安装环(233)、固定板(234)、二号磁板(235)和控制器(236)，所述转动杆(231)的外表面与机箱(1)活动套接，所述检测器(232)固定安装在转动杆(231)的外表面上，所述安装环(233)固定套接在转动杆(231)的外表面上且位于机箱(1)的外侧，所述机箱(1)的正反面均固定连接有电磁铁(24)，所述电磁铁(24)位于安装环(233)的两侧，所述安装环(233)的外表面固定连接有固定板(234)，所述固定板(234)的侧面固定连接有二号磁板(235)，所述控制器(236)固定安装转动杆(231)的端面上。3.根据权利要求1所述的磁控溅射膜均匀度检测装置，其特征在于：所述机箱(1)的正反面均固定连接有安装盖(25)，所述安装盖(25)套设在安装环(233)的外侧。4.根据权利要求2所述的磁控溅射膜均匀度检测装置，其特征在于：所述检测器(232)的数量为六个，六个所述检测器(232)每三个为一组共分为两组，所述检测机构(23)的数量为两个，两个所述检测机构(23)上下对称分布。5.根据权利要求1所述的磁控溅射膜均匀度检测装置，其特征在于：所述辅助检测机构(20)包括安装框(201)、侧杆(202)、检测灯(203)和光感应板(204)，所述侧杆(202)固定连接在安装框(201)的侧面上，所述侧杆(202)的端面与机箱(1)固定连接，所述检测灯(203)固定连接在安装框(201)的内表面上，所述光感应板(204)固定安装在安装框(201)的内表面上，所述检测灯(...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄桃，范玉山，
申请(专利权)人：苏州德耐纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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