一种便于固定的磁控溅射靶制造技术

本发明专利技术公开了一种便于固定的磁控溅射靶，包括挡片、靶罩、靶材固定环、固定座和固定杆，固定杆包括杆座，杆座转动连接有第一杆，第一杆的另一端滑动配合有第二杆；第二杆与挡片和靶罩固定连接，靶罩的内表面与靶材固定环固定连接，靶材固定环上设有固定靶材的压紧机构，靶罩与固定座以可拆卸方式连接，同时第二杆的轴向移动牵引靶罩脱离固定座，将固定杆设计成转动配合的杆座和第一杆和滑动配合的第一杆和第二杆，将安装靶材固定环的靶罩固定在第二杆上，更换靶材时，在第一杆上向外拉动第二杆使靶罩脱离固定座，旋转第二杆拖动第一杆在杆座上转动，暴露出靶罩安装靶材的一端，摒弃了繁杂的螺栓拆装，更换靶材更加快捷，有助于高效的镀膜生产。效的镀膜生产。效的镀膜生产。

【技术实现步骤摘要】
一种便于固定的磁控溅射靶


[0001]本专利技术涉及磁控溅射
，具体为一种便于固定的磁控溅射靶。

技术介绍

[0002]磁控溅射是真空镀膜领域中一项重要镀膜技术，其具有低温、快速、低能耗、适用的基片和镀膜材料范围宽、膜层致密、光洁度高、结合力好等优点，磁控溅射镀膜主要是应用潘宁放电原理，通过在放电空间施加电磁场，将带电粒子(电子、离子)束缚在磁场周围，增加了粒子之间的碰撞概率，使辉光放电需要的气压和电压降低，提高了正离子对靶材表面的轰击，同时靶材的溅射速率也有明显提高。
[0003]磁控溅射仪使用前需要在靶上安装靶材，现有技术的靶如图1所示，具体包括挡板(套在与固定座轴线平行的固定杆上)、靶罩、靶材固定环和固定座，靶材固定环通过螺栓安装在固定座的端面上，将靶材夹紧在二者的连接面上，靶罩螺旋拧在固定座的外表面并覆盖到靶材固定环的端面上，挡板遮挡在靶材固定环的端面上，安装靶材的具体操作步骤如下：首先，松开挡板的紧固螺栓，将挡板从靶材固定环的端面上移走，接着将靶罩从固定座上拧下，松开靶材固定环的螺栓将其从固定座上取下，将靶材放入靶材固定环内，然后贴放在固定座的靶面上，拧紧螺栓将靶材固定环重新安装在固定座上，最后依次安装上靶罩和挡板。
[0004]如上述靶材更换操作步骤所述，其更换靶材的操作步骤较多，构件中的挡板、靶罩和靶材固定环需要依次拆下，固定好靶材后再依次重新安装靶材固定环、靶罩和挡板，在实际的连续生产过程中，为满足产量的需求，需要持续地更换靶材，如此更换靶材的方式劳动量大，持续的生产必然会给工作人员带来身体负担，无法实现高效快速地生产。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种便于固定的磁控溅射靶，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种便于固定的磁控溅射靶，包括挡片、靶罩、靶材固定环、固定座和固定杆，所述固定杆包括杆座，所述杆座转动连接有第一杆，所述第一杆的另一端滑动配合有第二杆；所述第二杆与挡片和靶罩固定连接，所述靶罩的内表面与靶材固定环固定连接，所述靶材固定环上设置有固定靶材的压紧机构，所述靶罩与固定座以可拆卸方式连接，同时第二杆的轴向移动牵引靶罩脱离固定座。
[0007]作为本技术方案的进一步优选的，所述杆座的端面自外向内设置有与第一杆转动配合的T型圆槽，所述T型圆槽的内表面设置有一对间距的锁孔。
[0008]作为本技术方案的进一步优选的，所述第一杆在与杆座连接的一端设置有凹槽，所述凹槽的内端面上固定连接有弹簧一，所述弹簧一的外端部固定连接有嵌入锁孔的锁杆。
[0009]作为本技术方案的进一步优选的，所述锁杆的端部与锁孔的外形为相互嵌合的半
球体。
[0010]作为本技术方案的进一步优选的，所述第一杆的外端面沿其轴向设置有插入槽，所述插入槽的内壁设置有导向条。
[0011]作为本技术方案的进一步优选的，所述第二杆的端部设置有与插入槽间隙配合的插入杆，所述插入杆的外表面设置有与导向条配合的导向槽。
[0012]作为本技术方案的进一步优选的，所述靶罩的外壁设置有用于套接在第二杆外壁上的连接套，所述靶罩的内表面在远离挡片的一端设置有凸环，所述凸环上设置有若干个螺孔一。
[0013]作为本技术方案的进一步优选的，所述靶材固定环上设置有与螺孔一对应的螺孔二，通过螺栓将靶材固定环安装在靶罩的内部，同时靶材固定环的一端面设置有用于嵌入靶材的环形槽，所述环形槽的一侧设置有缺槽。
[0014]作为本技术方案的进一步优选的，所述压紧机构沿着靶材固定环的轴向圆周分别，且压紧机构至少设置三个。
[0015]作为本技术方案的进一步优选的，所述压紧机构包括靶材固定环上设置的与环形槽相通的柱形槽，所述柱形槽的内端面上固定安装有弹簧二，所述弹簧二的外端部固定连接有压紧杆，同时压紧杆的外端部切割有楔形面。
[0016]本专利技术提供了一种便于固定的磁控溅射靶，具备以下有益效果：
[0017](1)本专利技术通过将固定杆设计成转动配合的杆座和第一杆和滑动配合的第一杆和第二杆，将内壁安装靶材固定环的靶罩固定在第二杆上，在更换靶材时，在第一杆上向外拉动第二杆使靶罩脱离固定座，然后旋转第二杆，带动第一杆在杆座上转动，暴露出靶罩安装靶材的一端，摒弃了原先的螺栓拆装方式，更换靶材更加快捷，有助于高效的镀膜生产。
[0018](2)本专利技术通过在靶材固定环上设置压紧机构，在将靶材固定到靶材固定环上后，在弹簧二的弹性恢复力作用下，压紧杆的外端抵靠到靶材的侧壁上，进而将靶材压紧在环形槽内，在第二杆轴向移动的过程中，避免由于靶材的惯性使其脱离环形槽，提高了安装的稳定性。
附图说明
[0019]图1为现有技术靶的爆照结构示意图；
[0020]图2为本专利技术的整体结构示意图；
[0021]图3为本专利技术的杆座内部结构示意图；
[0022]图4为本专利技术的第一杆端部剖面结构示意图；
[0023]图5为本专利技术的第一杆和第二杆连接处结构示意图；
[0024]图6为本专利技术的靶罩内部结构示意图；
[0025]图7为本专利技术的靶罩内部安装靶材固定环结构示意图；
[0026]图8为本专利技术的靶材固定环结构示意图；
[0027]图9为本专利技术的图8中A的放大结构示意图；
[0028]图中：1、挡片；2、靶罩；3、靶材固定环；4、固定座；5、固定杆；51、杆座；52、第一杆；53、第二杆；6、压紧机构；61、柱形槽；62、弹簧二；63、压紧杆；64、楔形面；7、T型圆槽；8、锁孔；9、凹槽；10、弹簧一；11、锁杆；12、插入槽；13、导向条；14、插入杆；15、导向槽；16、连接
套；17、凸环；18、螺孔一；19、螺孔二；20、环形槽；21、缺槽。
具体实施方式
[0029]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0030]本专利技术提供技术方案：一种便于固定的磁控溅射靶,本实施例中，如图2所示，包括挡片1、靶罩2、靶材固定环3、固定座4和固定杆5，其中，挡片1按照原先的方式设置在靶罩2的端面一侧，本技术方案中，将靶材固定环3安装在靶罩2的内壁上，然后让靶罩2以可拆卸的方式套接在固定座4的外表面上，具体的，在固定座4的外壁上套接O型圈，在靶罩2的内壁上设置与O型圈配合的卡槽，在将靶罩2套入固定座4的过程中，当卡槽与O型圈嵌套时，此时靶罩2与固定座4完成安装，此外，本技术方案将挡片1和靶罩2同时安装在固定杆5上，该固定杆5具有自转和自轴线移动的功能，当轴线移动时，通过施加在固定杆5上的外力克服卡槽与O型圈的压力，继而拖动靶罩2脱离固定座4完成分离，然后利用固定杆5的自转功能旋转靶罩2，使靶罩2与固定座4相对的面与固定座4的靶面错开，此时靶罩2内部充分暴露，并且由于远离了固定座4，在安装靶材固定座4时具有足够的操作空间，为安装靶材提供了空间。
[0031]具体的如图2所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于固定的磁控溅射靶，包括挡片(1)、靶罩(2)、靶材固定环(3)、固定座(4)和固定杆(5)，其特征在于：所述固定杆(5)包括杆座(51)，所述杆座(51)转动连接有第一杆(52)，所述第一杆(52)的另一端滑动配合有第二杆(53)；所述第二杆(53)与挡片(1)和靶罩(2)固定连接，所述靶罩(2)的内表面与靶材固定环(3)固定连接，所述靶材固定环(3)上设置有固定靶材的压紧机构(6)，所述靶罩(2)与固定座(4)以可拆卸方式连接，同时第二杆(53)的轴向移动牵引靶罩(2)脱离固定座(4)。2.根据权利要求1所述的一种便于固定的磁控溅射靶，其特征在于：所述杆座(51)的端面自外向内设置有与第一杆(52)转动配合的T型圆槽(7)，所述T型圆槽(7)的内表面设置有一对间距的锁孔(8)。3.根据权利要求2所述的一种便于固定的磁控溅射靶，其特征在于：所述第一杆(52)在与杆座(51)连接的一端设置有凹槽(9)，所述凹槽(9)的内端面上固定连接有弹簧一(10)，所述弹簧一(10)的外端部固定连接有嵌入锁孔(8)的锁杆(11)。4.根据权利要求3所述的一种便于固定的磁控溅射靶，其特征在于：所述锁杆(11)的端部与锁孔(8)的外形为相互嵌合的半球体。5.根据权利要求1所述的一种便于固定的磁控溅射靶，其特征在于：所述第一杆(52)的外端面沿其轴向设置有插入槽(12)，所述插入槽(12)的内壁设置有导...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄桃，范玉山，
申请(专利权)人：苏州德耐纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：