作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物制造技术

本发明专利技术中作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物为肌胺酸及其盐类化合物，该腐蚀抑制剂用于化学机械研磨组成物，可于化学机械研磨时于加工对象的表面形成一层保护膜，以避免加工对象受到腐蚀，亦可改良因使用习有腐蚀抑制剂（例如苯并三唑；ＢＴＡ），而于加工对象表面形成残渣的缺失。本发明专利技术最能显示发明专利技术特征的化学式如上所示。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关 一种作为腐蚀抑制剂的肌胺酸或肌胺酸化合 物，目的在提供一种用于化学机械研磨组成物的腐蚀抑制剂， 可提高加工对象的抑制腐蚀能力，且不会在研磨对象表面残留 有残渣。
技术介绍
随着电子组件的关键尺寸(Critical Dimension)愈来愈d 、及导线层数 的急遽增加，电阻/电容时间延迟(RC Time Delay)将严重影响整体电路 的操作速度。为了改善随着金属联机线宽缩小所造成的时间延迟以及 电子迁移可靠性问题，所以选择电阻率低与抗电子迁移破坏能力高的 铜导线材料，取代铝合金金属。然而，由于铜金属具有不易蚀刻的特 性，必须改采另 一种镶嵌(Damascene)方式来形成铜金属导线。镶嵌(Damascene)方式制程有别于传统先定义金属图案再以介电层 填沟的金属化制程，其方法是先在一平坦的介电上蚀刻出金属线的沟 槽后，再将金属层填入，最后将多余的金属移去，而得到一具有金属 镶嵌于介电层中的平坦结构。镶嵌式制程比起传统的金属化制程具有 以下优点(1 )可使基底表面随时保持平坦；(2)可排除传统制程中介 电材料不易填入金属导线间隙的缺点(3 )可解决金属材料蚀刻不易的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物，该腐蚀抑制剂用于化学机械研磨组成物中，其中，该腐蚀抑制剂为肌胺酸及其盐类化合物或其组合物。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张松源，
申请(专利权)人：盟智科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]