散热装置制造方法及图纸

本公开的实施例涉及散热装置。散热装置包括具有导热通孔和导热层的网络的衬底。衬底具有第一表面和与第一表面相对的第二表面。一种散热接口层，包括由第一导热材料制成的第一层和由第二导热材料制成的第二层的堆叠。第一材料不同于第二材料。第一层的表面与衬底的第一表面共面。所述网络的至少一个导热通孔支撑第一层并与第一层接触。至少一个开口完全穿过第一和第二层的堆叠。衬底的材料填充第一层中的开口。开口。开口。

【技术实现步骤摘要】
散热装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2021年11月30日提交的法国专利申请No.2112736的优先权，该申请的全部内容在法律允许的最大程度上通过引用结合于此。


[0003]本公开总体上涉及电子系统和装置，更具体地，涉及用于消散由这样的电子系统和装置产生的热的装置。

技术介绍

[0004]由电子系统和装置产生的热量的冷却和消散的许多技术是已知的。例如，已知使用特别适于消散由电子装置或系统的部件和电路产生的热量的衬底。
[0005]希望能够至少部分地改善电子装置的散热装置。
[0006]需要电子装置的更有效的散热装置。

技术实现思路

[0007]这里的实施例克服了已知散热装置的全部或部分缺点。
[0008]一个实施例提供了一种散热装置，包括：衬底，所述衬底包括导热通孔和导热层的网络，所述导热层在所述衬底的第一表面和与所述第一表面相对的所述衬底的第二表面之间延伸；以及散热接口层，其包括由第一导热材料制成的第一层与由第二导热材料制成的第二层的堆叠，所述第一材料不同于所述第二材料。第一层的表面与所述衬底的第一表面共面。所述网络的至少一个所述导热通孔与所述第一层接触。该堆叠包括完全穿过第一和第二层的至少一个开口。衬底的材料填充第一层中的至少一个开口。
[0009]根据一个实施例，第一导热材料是铜或包含铜的合金。
[0010]根据一个实施方案，第二导热材料选自：镍－金(NiAu)，镍－钯－金(NiPdAu)，包含镍的合金，包含金的合金，包含钯，锡的合金，包含锡的合金，用于焊接的合金如包含锡，银和铜的合金，ENIG(无电镀镍浸渍金)型合金，ENEPIG(无电镀镍无电镀钯浸渍金)型合金，OSP(有机表面保护)型有机材料。
[0011]根据一个实施例，该开口具有柱形形状。
[0012]根据一个实施例，该开口具有柱形形状，该柱形形状具有多边形，矩形，正方形，长方形，椭圆形或圆形的底部。
[0013]根据一个实施例，其中所述至少一个开口包括完全穿过所述堆叠的至少两个开口。
[0014]根据一个实施例，所述至少两个开口具有相同的尺寸。
[0015]根据一个实施例，所述至少两个开口具有不同的尺寸。
[0016]根据一个实施例，其中所述至少一个开口包括多个开口，所述多个开口完全跨越所述堆叠且以阵列形式布置。
[0017]根据一个实施例，该装置还包括布置在所述衬底的第二表面上的下导热层。
[0018]另一实施例提供了一种包括前述散热装置的电子装置，以及组装在所述散热装置上的电子芯片。
[0019]根据一个实施例，电子芯片包括结合到与衬底相对的所述散热接口层的第五表面的第四表面。
[0020]根据一个实施例，所述第四表面通过胶层结合到所述第五表面。
附图说明
[0021]前述特征和优点以及其他特征和优点将在以下具体实施例的描述中参考附图以说明而非限制的方式给出，在附图中：
[0022]图1示出了电子装置的实施例的简化截面图；
[0023]图2示出了图1的装置的一部分的更详细的俯视图；以及
[0024]图3示出了图1的装置的一部分的更详细的截面图。
具体实施方式
[0025]在各个附图中，相同的特征由相同的附图标记表示。特别地，在各个实施例中共同的结构和/或功能特征可以具有相同的附图标记并且可以设置相同的结构，尺寸和材料特性。
[0026]为了清楚起见，仅示出和详细描述了对理解本文所述的实施例有用的步骤和元件。
[0027]除非另有说明，当提及连接在一起的两个元件时，这表示除了导体之外没有任何中间元件的直接连接，并且当提及连接在一起的两个元件时，这表示这两个元件可以被连接或者它们可以经由一个或多个其它元件被耦合。
[0028]在以下公开中，除非另有说明，当提及绝对位置限定词时，例如术语“前”、“后”、“顶”、“底”、“左”、“右”等、或提及相对位置限定词时，例如术语“上”、“下”、“上”、“下”等，或提及取向限定词时，例如“水平”、“垂直”等，是指图中所示的取向。
[0029]除非另有说明，表述“约”，“大约”，“基本上”和“以
…
量级”表示在10％以内，优选在5％以内。
[0030]图1是包括组装在散热装置104上的电子集成电路芯片102的电子装置100的实施例的截面图。
[0031]芯片102在图1中由矩形块示意性地表示。芯片102包括可能在其操作期间产生热量的各种电子电路和组件。更具体地，芯片102可能在不同的热点中产生热量，至少一个热点位于其表面106之一上，该表面106是芯片102结合到散热装置104的表面。这里，热点是指在芯片102的操作期间发射热的芯片102的表面的一部分。芯片102可以包括位于表面106之外的表面上的其它热点。
[0032]芯片102还可以包括形成在与表面106相对的表面110上的一个或多个(通常为多个)触点108。例如，触点108用于例如通过焊接线耦合到其它电子装置的其它触点。在图1中，示出了两个触点108，并且仅示出了接合到这些触点108的焊料线的两个部分。根据一个示例，通过焊线焊接方法来接合焊线。
[0033]散热装置104包括由电绝缘材料制成的衬底114。根据一个实例，该电绝缘材料可以选自包括以下材料的组：电绝缘树脂，电绝缘树脂的混合物，玻璃纤维，玻璃纤维混合物，以及树脂和玻璃纤维的混合物。衬底11还可以是印刷电路板或包括不同材料的堆叠的层压衬底。衬底114包括上表面116和与上表面116相对的下表面118。上表面116覆盖有粘合剂层120，下表面118覆盖有保护层。
[0034]根据一个实施例，装置104还包括散热接口层124(图1中的阴影线)，该散热接口层124由衬底114的表面116形成并且在粘合剂层120中形成的腔中。结合图2和3更详细地描述接口层124。
[0035]装置104还包括在衬底114的表面118的水平处和在保护层122中形成的腔中延伸的下散热层126。层126优选位于层124之下，并且可以具有例如比层124更大的表面积。层126例如由金属材料制成，例如包括镍和/或金的合金，或另一种导热金属合金。层126可以放置在导热球128上，例如金属球，诸如焊球。
[0036]装置104还包括热耦合层124和126的导热通孔130和导热迹线132的阵列。更具体地，网络的至少一个通孔130或一个导电轨道132与层124接触，并且至少一个通孔130或一个导电轨道132与层126接触。通孔130和轨道132例如进一步是导电的。通孔130和轨道132例如由金属材料制成，例如由诸如铜的金属制成，或者由诸如包括铜的合金的金属合金制成。通孔130和/或金属轨道132与接口层124接触，而另一通孔和/或另一金属轨道132与下层128接触。根据另一实施例，通孔130和轨道132的网络可以用单个导电通孔代替。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种散热装置，包括：绝缘衬底，具有第一表面和第二表面并且包括导热通孔的网络；散热接口，包括由第一导热材料制成的第一层与由第二导热材料制成的第二层的堆叠，所述第一材料不同于所述第二材料；其中由所述第一导热材料制成的所述第一层位于所述绝缘衬底的所述第一表面中并且具有与所述绝缘衬底的所述第一表面共面的上表面，并且还具有与所述导热通孔的网络接触的下表面；其中所述堆叠包括至少一个开口，所述至少一个开口完全穿过所述第一层和所述第二层二者；以及其中在所述第一层中的所述至少一个开口由所述绝缘衬底的材料填充。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一导热材料是铜或包含铜的合金。3.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二导热材料选自由以下项组成的群组：镍－金，镍－钯－金，包含镍的合金，包含金的合金，包含钯、锡的合金，包含锡的合金，诸如包含锡、银和铜的合金的用于焊接的合金，无电镀镍浸渍金(ENIG)型合金，无电镀镍无电镀钯浸渍金(ENEPIG)型合金，有机表面保护(OSP)型有机材料。4.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个开口具有柱形形状。5.根据权利要求4所述的装置，其中所述柱形形状具有多边形、矩形、正方形、长方形、椭圆形或圆形的底部。6.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个开口包括至少两个开口，所述至少两个开口完全穿过所述堆叠的所述第一层和所述第二层。7.根据权利要求6所述的装置，其中所述至少两个开口具有相同的尺寸。8.根据权利要求6所述的装置，其中所述至少两个开口具有不同的尺寸。9.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个开口包括以阵列形式布置的多个开口。10.根据权利要求1所述的装置，还包括下导热层，所述下导热层布置在所述衬底的所述第二表面中并且具有与所述衬底的所述第二表面共面的下表面，并且其中所述下导热层被热耦合到所述导热通孔的网络。11.一种电子装置，包括：散热装置，包括：绝缘衬底，具有第一表面和第二表面并且包括导热通孔的网络；散热...

【专利技术属性】
技术研发人员：R，
申请(专利权)人：意法半导体格勒诺布尔二公司，
类型：发明
国别省市：