一种裸芯级恒温密闭装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及器件测试装置技术领域，提供了一种裸芯级恒温密闭装置，所述装置由控制检测模块，小型化密闭恒温装置，氮气连接密闭装置组成，位于老化箱箱体内，所述小型化密闭恒温装置包括大腔体高温恒温装置和小腔体密闭恒温装置，所述小腔体密闭恒温装置位于大腔体高温恒温装置内，所述氮气连接密闭装置通过气管分别与小腔体密闭恒温装置连接，所述控制检测模块分别与大腔体高温恒温装置、小腔体密闭恒温装置以及氮气连接密闭装置通过控制线控制连接。通过一个独立恒温大腔体和独立恒温小腔体，使DUT的温度精度控制在

【技术实现步骤摘要】
一种裸芯级恒温密闭装置


[0001]本专利技术涉及器件测试装置
，尤其涉及了一种裸芯级恒温密闭装置。

技术介绍

[0002]裸芯是晶圆经过切割测试后没有经过封装的芯片，边上有用于连接金属丝的焊盘或者小孔；如果裸芯直接暴露在高温空气中，容易高温氧化或者受到污染，影响或者破坏芯片功能；目前国内对于裸芯的高温老炼，一般采用高温型大烘箱。在使用过程中，通过给密闭环境通入热风，使其内部环境达到需要的高温环境，同时通入惰性气体，起到保护裸芯片的作用；但在使用过程中，由于箱体较大，需要很多的氮气，而且一次只能试验测试一个温度点的器件，而且由于通热风的原因，箱体各点的温度偏差有
±
3度之多。

技术实现思路

[0003]为了解决上述现有技术中的问题，提供了一种裸芯级恒温密闭装置。该装置可以提供各种晶圆厂裸芯片的充氮试验测试的高温环境，解决晶圆厂小批量、多品种、精确控制环温的苛刻要求。
[0004]一种裸芯级恒温密闭装置，所述装置由控制检测模块，小型化密闭恒温装置，氮气连接密闭装置组成，位于老化箱箱体内，所述小型化密闭恒温装置包括大腔体高温恒温装置和小腔体密闭恒温装置，所述小腔体密闭恒温装置位于大腔体高温恒温装置内，所述氮气连接密闭装置通过气管分别与小腔体密闭恒温装置连接，所述控制检测模块分别与大腔体高温恒温装置、小腔体密闭恒温装置以及氮气连接密闭装置通过控制线控制连接。
[0005]进一步地，所述大腔体高温恒温装置由恒温箱、散热风机、加热管、大腔体温度探头和大腔体控制检测模块组成，所述恒温箱为一个抽屉箱体，所述大腔体温度探头位于恒温箱的内壁顶端，所述大腔体控制检测模块安装在恒温箱的后侧面，所述散热风机安装在恒温箱的后右侧面，在恒温箱的前右侧面安装有一个出风口，加热管安装在恒温箱的中间底部位置。
[0006]进一步地，所述小腔体密闭恒温装置由散热器、小型加热管、DUT壳温检测探头、密闭夹具、微波匹配板、气管接口、小腔体控制检测模块组成，所述密闭夹具安装在散热器上面，所述散热器上设有加热管腔，所述小型加热管安装在加热管腔内，夹具盖板在四角通过螺钉与密闭夹具固定，夹具盖板与密闭夹具之间通过密闭橡皮圈密封，所述微波匹配板安装密闭夹具的左右平台上，微波匹配板与外部电连接，所述气管接口安装在密闭夹具的前侧面，所述DUT壳温检测探头安装在散热器中间位置，直接顶到密闭夹具的底部正中间位置。
[0007]进一步地，所述氮气连接密闭装置包括氮气输入口，自动开关阀门，高温连接铜管以及氮气开关控制模块，所述氮气输入口、自动开关阀门以及高温连接铜管按顺序安装在恒温箱的侧底部位置，所述自动开关阀门与氮气开关控制模块通过控制线控制连接。
[0008]进一步地，所述恒温箱的前面设计有后翻式转门。
[0009]进一步地，所述后翻式转门与恒温箱之间采用密封条密封。
[0010]进一步地，所述氮气输入口与氮气供应装置连接，所述气管接口与高温连接铜管通过气管连接。
[0011]进一步地，所述小腔体密闭恒温装置在大腔体高温恒温装置中设置有多个。
[0012]进一步地，所述控制检测模块包括大腔体控制检测模块，小腔体控制检测模块，氮气开关控制模块。
[0013]进一步地，所述控制检测模块还包括主控制芯片和通讯模块，所述主控制芯片和通讯模块连接供电接口模块，接收大腔体温度探头和DUT壳温检测探头采集到的温度信息，控制大腔体恒温控制开关动作模块和小腔体恒温控制开关动作模块。
[0014]本专利技术由于采用了以上技术方案，具有显著的技术效果：该裸芯级恒温密闭装置由控制检测模块、小型化密闭恒温装置、氮气连接密闭装置三部分组成；大腔体高温恒温装置采用独立恒温大腔体，小腔体密闭恒温装置采用独立恒温小腔体的设计，独立恒温小腔体位于独立恒温大腔体内部，达到降低密闭恒温装置内氮气用量目的；同时，通过一个独立恒温大腔体和多个独立恒温小腔体的设计，使DUT的温度精度控制在
±
0.5之内，并且使得芯片可以工作在更高的温度环境下，同时让微波匹配板的工作在安全的温度环境中。
[0015]另外，在一个试验测试系统中，可以通过配置多个这种小型化密闭恒温装置，达到一次进行多个温度点试验测试的功能。
[0016]该装置采用氮气或者其他气体通过气管分别通到密闭恒温装置的独立恒温小腔体内，极大地减少了气体的使用量，节省资源，保护环境，该装置能够提供更精确的试验条件，满足三代半导体可靠性试验苛刻的环境要求；满足研发过程中，小批量、多品种、多温度点同时可靠性性试验要求，减少试验测试时间，提高试验测试效率，加速新产品上市时间。
附图说明
[0017]图1是本专利技术装置的整体结构示意图；图2是本专利技术装置的密闭恒温装置整体结构示意图；图3是本专利技术装置的密闭恒温装置内部结构示意图；图4是本专利技术装置的控制连接结构示意图；图5是本专利技术装置的控制原理总体框图；其中，1、大腔体高温恒温装置；2、小腔体密闭恒温装置；3、气管；4、恒温箱；5、散热风机；6、加热管；7、大腔体控制检测模块；8、出风口；9、后翻式转门；10、密封条；11、散热器；12、小型加热管；13、DUT壳温检测探头；14、密闭夹具；15、微波匹配板；16、气管接口；17、小腔体控制检测模块；18、加热管腔；19、夹具盖板；20、密闭橡皮圈；21、氮气输入口；22、自动开关阀门；23、高温连接铜管。
具体实施方式
[0018]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0019]如图1至图4所示，一种裸芯级恒温密闭装置，装置由控制检测模块，小型化密闭恒温装置，氮气连接密闭装置三部分组成，位于老化箱箱体内，小型化密闭恒温装置包括大腔体高温恒温装置1和小腔体密闭恒温装置2，小腔体密闭恒温装置2位于大腔体高温恒温装置1内，氮气连接密闭装置通过气管3分别与密闭恒温装置2连接，控制检测模块分别与大腔体高温恒温装置1、小腔体密闭恒温装置2以及氮气连接密闭装置通过控制线控制连接；控制检测模块包括大腔体控制检测模块、小腔体控制检测模块以及氮气开关控制模块，大腔体控制检测模块包括大腔体恒温控制开关动作模块以及大腔体温度采集模块；小腔体控制检测模块包括小腔体恒温控制开关动作模块以及小腔体温度采集模块。
[0020]大腔体高温恒温装置1由恒温箱4、散热风机5、加热管6、腔体温度探头（图中未示出）和大腔体控制检测模块7组成，恒温箱4为一个抽屉箱体，腔体温度探头位于恒温箱的内壁顶端，大腔体控制检测模块7安装在恒温箱4的后侧面，散热风机安装在恒温箱的后右侧面，在恒温箱的前右侧面安装有一个出风口8，加热管6通过绝缘耐高温的陶瓷块安装在恒温箱4的中间底部位置，恒温箱4的前面设计有后翻式转门9，方便安装试验本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种裸芯级恒温密闭装置，其特征在于：所述装置由控制检测模块，小型化密闭恒温装置，氮气连接密闭装置组成，位于老化箱箱体内，所述小型化密闭恒温装置包括大腔体高温恒温装置和小腔体密闭恒温装置，所述小腔体密闭恒温装置位于大腔体高温恒温装置内，所述氮气连接密闭装置通过气管分别与小腔体密闭恒温装置连接，所述控制检测模块分别与大腔体高温恒温装置、小腔体密闭恒温装置以及氮气连接密闭装置通过控制线控制连接。2.根据权利要求1所述的一种裸芯级恒温密闭装置，其特征在于：所述大腔体高温恒温装置由恒温箱、散热风机、加热管、大腔体温度探头和大腔体控制检测模块组成，所述恒温箱为一个抽屉箱体，所述大腔体温度探头位于恒温箱的内壁顶端，所述大腔体控制检测模块安装在恒温箱的后侧面，所述散热风机安装在恒温箱的后右侧面，在恒温箱的前右侧面安装有一个出风口，加热管安装在恒温箱的中间底部位置。3.根据权利要求1所述的一种裸芯级恒温密闭装置，其特征在于：所述小腔体密闭恒温装置由散热器、小型加热管、DUT壳温检测探头、密闭夹具、微波匹配板、气管接口、小腔体控制检测模块组成，所述密闭夹具安装在散热器上面，所述散热器上设有加热管腔，所述小型加热管安装在加热管腔内，夹具盖板在四角通过螺钉与密闭夹具固定，夹具盖板与密闭夹具之间通过密闭橡皮圈密封，所述微波匹配板安装密闭夹具的左右平台上，微波匹配板与外部电连接，所述气管接口安装在密闭夹具的前侧面，所述DUT壳温检测探头安装在散热器中间位...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴俊标，卜建明，贺庭玉，廖剑，余亮，
申请(专利权)人：杭州中安电子有限公司，
类型：发明
国别省市：