一种微波器件的结温控制系统和方法技术方案

本发明专利技术涉及结温控制技术，公开了一种微波器件的结温控制系统和方法，其通过实时采集器件的工作参数，漏电压Vd、漏电流Id、输入功率Rfin、输出功率Rfout以及壳温Tc，计算器件的并估算结温Tj，比较设置的结温与计算的结温之间的偏差，超过一定范围时调节壳温Tc，以保持结温的稳定。通过调节壳温来保证结温的稳定性，其操作简单，而且结温的检测稳定性好。本发明专利技术同时能够针对多组不同品种的微波器件进行老炼测试，且测试方法简单。对于估算器件寿命的结温准确。结温准确。结温准确。

【技术实现步骤摘要】
一种微波器件的结温控制系统和方法


[0001]本专利技术涉及结温控制技术，尤其涉及了针对多组不同品种的老炼设备检测的一种微波器件的结温控制系统和方法。

技术介绍

[0002]在微波器件老炼试验过程中，需要在特定的电压电流条件下，对微波器件施加额定的输入微波信号，器件会有一个微波信号输出。传统微波器件的老炼试验中，由于器件结温Tj无法直接测量，因此通常设置一个合适的壳温控制值并控制器件壳温Tc，再根据测量的Tc估算Tj。
[0003]假定器件老炼需要100℃的结温，当采样的壳温为60℃，结合其他采样参数计算出实际的结温在90℃。在传统试验中，试验的结温就会比预期值偏低。另外在试验中由于器件本身性能的变化，也会出现功耗的变化，使结温改变。
[0004]如现有技术：申请号：CN202211371002.2；专利名称：半导体器件结温测试方法及半导体器件结温测试系统。

技术实现思路

[0005]本专利技术针对现有技术中不能在试验过程中根据器件功耗的变化维持稳定的结温，从而影响微波器件老炼测试结果的问题，提供了一种微波器件的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波器件的结温控制系统，包括信号源单元和功放模块；其特征在于，还包括数组检测单元；检测单元连接有微波开关单元、衰减器单元、检波器单元；信号源单元提供信号源至功放模块，功放模块对接收的信号进行放大；检测单元用于检测；检测后的信号通过微波开关单元进行选择，对于选择后的信号通过衰减器单元进行信号的隔离保护，隔离保护后的信号进行检波器单元输出。2.根据权利要求1所述的一种微波器件的结温控制系统，其特征在于，检测单元包括双向耦合器、测试组件和单向耦合器；双向耦合器对输入端的参数进行检测后的输出参数并输送至测试组件，测试组件提供单向耦合器检测的输入端参数；微波开关单元包括第一微波开关和第二微波开关；衰减器单元包括第一衰减器和第二衰减器；检波器单元包括第一检波器和第二检波器；双向耦合器用于检测输入端的参数，并将检测的参数通过第一微波开关传送至第一衰减器，衰减器对接收的信号进行衰减，并将信号传送至第一检波器，第一检波器输出射频输入功率RFin；单向耦合器用于对接收的信号进行隔离和分离，将隔离和分离后的信号经第二微波开关传送至第二衰减器，第二衰减器对输入的信号进行衰减，并将衰减后的信号传送至第二检波器，第二检波器输出射频输出功率RFout。3.根据权利要求1所述的一种微波器件的结温控制系统，其特征在于，微波开关单元还包括第三微波开关；衰减器单元还包括第三衰减器；双向耦合器的输出端连接有输出端的衰减器、输出端的隔离器和外接网分；双...

【专利技术属性】
技术研发人员：卜建明，马杨波，柴俊标，胡世松，贺庭玉，廖剑，余亮，
申请(专利权)人：杭州中安电子有限公司，
类型：发明
国别省市：