具有集成薄膜红外滤光器的图像传感器制造技术

技术编号:3769112 阅读:161 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
公开了一种具有集成薄膜红外滤光器的图像传感器。此图像传感器含有多个制作在半导体衬底中的像素,每个像素都含有光敏元件。而且,在像素上制作有多层叠层,它适于滤除红外波段的入射光,其中多层叠层包括碳的中间层。最后在多层叠层和光敏元件上制作微透镜。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种图像传感器,包括: 制作在半导体衬底中的多个像素,每个像素包含光敏元件; 制作在所述多个像素上的多层叠层,所述多层叠层适于滤除红外波段的入射光,其中所述多层叠层包括碳的中间层; 制作在所述多层叠层和所述光敏元件上的多个 微透镜。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:山本克己
申请(专利权)人:华微半导体上海有限责任公司
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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