【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及到图像传感器，尤更确切地说是用于图像传感器的滤色器。
技术介绍
图像传感器是可用于产生静像或视频图像的电子集成电路。固态图像传感器可为电荷耦合器件(CCD)型，也可为互补金属-氧化物-半导体(CMOS)型。无论在哪种图像传感器中，都是将收集光的像素做在衬底中并排列成二维阵列。现代的图像传感器典型地含有数百万像素以提供高分辨的图像。图像传感器的重要部分是在像素上制作的滤色器和微透镜结构。顾名思义，滤色器的工作是与信号处理相结合来提供彩色的图像。微透镜用于将入射光聚焦至像素上，因而改善每个像素的填充因子(fill factor)。虽然制作滤色器的基础技术较为成熟，但仍有可以提升的空间，特别是在较高的集成度方面。例如，美国专利6,297,071号、6,362,513号和6,271,900号表明了滤色器的技术现状。在大多数滤色器工艺中，一个重要的要求是使用平面型的滤色器层。这可容易地做到，如果滤色器下面的初始衬底就是平面的话。由于各种原因，滤色器下面的衬底是较为“凹凸不平”的。在现有技术中，这种不平整可这样来简单地解决，即先用旋转涂敷技术在衬底表面的凹处...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平整化图像传感器衬底的方法，包括在所述图像传感器衬底上淀积第一聚合物层；对所述第一聚合物层刻图形以形成所述第一聚合物层的许多柱体；以及在所述第一聚合物层的所述柱体上淀积第二聚合物层。2.根据权利要求1的方法，还包括回蚀所述第二聚合物层的步骤。3.根据权利要求1的方法，还包括在所述第二聚合物层上制作滤色器层。4.根据权利要求1的方法，其中所述第一聚合物层的所述柱体具有约2微米的间隔。5.根据权利要求1的方法，其中所述第一聚合物层和所述第二聚合物层是聚甲基丙烯酸甘油酯或聚甲基...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本克已，
申请(专利权)人：华微半导体上海有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。