下载具有集成薄膜红外滤光器的图像传感器的技术资料

文档序号:3769112

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公开了一种具有集成薄膜红外滤光器的图像传感器。此图像传感器含有多个制作在半导体衬底中的像素,每个像素都含有光敏元件。而且,在像素上制作有多层叠层,它适于滤除红外波段的入射光,其中多层叠层包括碳的中间层。最后在多层叠层和光敏元件上制作微透镜。...
该专利属于华微半导体(上海)有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过华微半导体(上海)有限责任公司授权不得商用。

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