固态成像装置和照相机制造方法及图纸

一种固态成像装置，由已依次层叠在Ｎ型半导体层上的Ｐ型半导体层、层间绝缘膜、多层干涉滤光器和聚光透镜构成。在层间绝缘膜一侧上的Ｐ型半导体层中，对于每个像素都形成其中已离子注入Ｎ型杂质的光电二极管。多层干涉滤光器具有包括λ／４多层膜和夹在其间的多个间隔物层的组成。λ／４多层膜由具有相同光学厚度的交替层叠的二氧化钛层和二氧化硅层构成。间隔物层具有对应于它们将要透射的光的颜色的光学厚度。在绿色区域中不包括间隔物层。代替地，每个都构成λ／４多层膜的两个二氧化钛层相邻接，以制备具有λ／２光学厚度的二氧化钛层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种固态成像装置和照相机，尤其是涉及用于扩展由在固态成像装置中提供的滤色器透射的光的带宽的技术。
技术介绍
近年来，固态成像装置的应用范围已快速地发展，且包括数字照相机和移动电话。在任一个应用领域中色化处理都是必需的。图1是关于常规技术的固态成像装置的像素部分的截面图。如图1所示，固态成像装置8的像素部分具有其中P型半导体层802、层间绝缘膜804、有机颜料滤色器806和聚光透镜807依次层叠在N型半导体层801上的结构。注意到光电二极管803形成在层间绝缘膜804一侧上的P型半导体层802中，遮光膜805形成在层间绝缘膜804中。入射在固态成像装置8上的光在入射到相应的光电二极管之前被聚光透镜807聚集并且由滤色器806分离成特定的颜色(例如，参见“Introduction to Solid-State Imaging Devices”，Ando和Komobuchi，Ed.Institute of Image and television Engineers，Nihon Riko Shuppankai，1999年12月，第183-188页)。然而，由于一直在探索为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固态成像装置，包括透射预定波长入射光的多层干涉滤光器，该多层干涉滤光器包括：　Ｎ个λ／４多层膜，每个λ／４多层膜都由交替层叠的、具有相同光学厚度、且具有不同折射率的两种类型的介电层构成；以及Ｍ个绝缘层，与该Ｎ个λ ／４多层膜交替地层叠，且Ｍ个绝缘层中的每一个都具有与构成该Ｎ个λ／４多层膜的每个介电层的光学厚度不同的光学厚度，其中Ｎ是大于或等于３的值，以及Ｍ是大于１且小于Ｎ的值。

【技术特征摘要】
JP 2005-6-15 2005-1754351.一种固态成像装置，包括透射预定波长入射光的多层干涉滤光器，该多层干涉滤光器包括N个λ/4多层膜，每个λ/4多层膜都由交替层叠的、具有相同光学厚度、且具有不同折射率的两种类型的介电层构成；以及M个绝缘层，与该N个λ/4多层膜交替地层叠，且M个绝缘层中的每一个都具有与构成该N个λ/4多层膜的每个介电层的光学厚度不同的光学厚度，其中N是大于或等于3的值，以及M是大于1且小于N的值。2.如权利要求1的固态成像装置，其中N具有在N的可能值中的最低值。3.如权利要求1的固态成像装置，进一步包括多个二维排列的像素，该多个像素中的每一个检测三原色中的一种，其中该多层干涉滤光器包括在从所述多个像素之中的检测蓝光的像素中。4.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻叶雄一，笠野真弘，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]