本申请涉及半导体集成电路领域，具体涉及一种静电吸盘打磨装置。静电吸盘打磨装置包括：旋转连杆、打磨杆、调节轴套和固定支架；固定支架设于旋转连杆上，且旋转连杆能够以旋转连杆的延伸方向为旋转轴相对于该固定支架旋转；打磨杆的连接端铰接旋转连杆的下端，打磨杆的连接端能够相对于旋转连杆在铰接处转动以改变打磨杆与旋转连杆之间的夹角；打磨杆打磨端设有打磨片；旋转连杆上还形成有螺纹区，螺纹区位于铰接处之上，螺纹区包括上止位和下止位；调节轴套螺接在螺纹区上，且调节轴套与打磨杆相连；在调节轴套移动时，调节轴套能够带动打磨杆相对于旋转连杆在铰接处转动以调节打磨杆与旋转连杆之间的夹角。节打磨杆与旋转连杆之间的夹角。节打磨杆与旋转连杆之间的夹角。
【技术实现步骤摘要】
静电吸盘打磨装置
[0001]本申请涉及半导体集成电路领域，具体涉及一种静电吸盘打磨装置。
技术介绍
[0002]在半导体工艺中，通常通过静电吸盘吸附住晶片以对晶片进行等离子处理等工序。然而，由于晶片的尺寸通常要大于静电吸盘，在等离子轰击晶片表面所产生的颗粒会溅落在静电吸盘上，尤其是在静电吸盘的边缘，容易积累形成聚合物。该聚合物若不及时清除，会导致该静电吸盘的平整度降低，对于后续所吸附的其他晶片造成不利影响。
技术实现思路
[0003]本申请提供了一种静电吸盘打磨装置，可以解决相关技术中不能及时清除静电吸盘边缘的聚合物而影响该静电吸盘平整度的问题。
[0004]为了解决
技术介绍
中所述的技术问题，本申请提供一种静电吸盘打磨装置，所述静电吸盘打磨装置包括：旋转连杆、打磨杆、调节轴套和固定支架；
[0005]所述固定支架设于所述旋转连杆上，且所述旋转连杆能够以所述旋转连杆的延伸方向为旋转轴相对于该固定支架旋转；
[0006]所述打磨杆的连接端铰接所述旋转连杆的下端，所述打磨杆的连接端能够相对于所述旋转连杆在铰接处转动以改变所述打磨杆与所述旋转连杆之间的夹角；所述打磨杆打磨端设有打磨片；
[0007]所述旋转连杆上还形成有螺纹区，所述螺纹区位于所述铰接处之上，所述螺纹区包括上止位和下止位；
[0008]所述调节轴套螺接在所述螺纹区上，且所述调节轴套与所述打磨杆相连；所述调节轴套能够沿着所述螺纹区在所述上止位和所述下止位之间移动，在所述调节轴套移动时，所述调节轴套能够带动所述打磨杆相对于旋转连杆在铰接处转动以调节所述打磨杆与所述旋转连杆之间的夹角。
[0009]可选地，所述打磨杆的连接端通过铰链铰接所述旋转连杆的下端。
[0010]可选地，所述旋转连杆的上端设有旋转手轮，转动所述旋转手轮以带动该旋转连杆旋转。
[0011]可选地，所述打磨杆有多根，多根所述打磨杆沿着所述旋转连杆的旋转方向间隔设置。
[0012]可选地，所述打磨杆的连接端通过滑动轴套套设于所述旋转连杆的下端，所述滑动轴套能够沿着所述旋转连杆上、下滑动。
[0013]可选地，所述静电吸盘打磨装置还包括调节连杆，所述调节连杆的一端铰接调节轴套，另一端铰接所述打磨杆。
[0014]可选地，所述调节连杆与所述旋转连杆之间的夹角小于所述打磨杆与所述旋转连杆之间的夹角。
[0015]可选地，所述调节轴套由上止位向下止位移动过程中，所述打磨杆逐渐张开，所述打磨杆与所述旋转连杆之间的夹角逐渐增大；
[0016]所述调节轴套由下止位向上止位移动过程中，所述打磨杆逐渐收缩，所述打磨杆与所述旋转连杆之间的夹角逐渐变小。
[0017]可选地，在使用时，所述打磨片与静电吸盘的表面接触。
[0018]可选地，所述调节轴套中设有压力传感器，所述压力传感器能够获取所述调节轴套施加给所述打磨杆的力。
[0019]本申请技术方案，至少包括如下优点：在使用本实施例所示的静电吸盘打磨装置时，先通过固定该固定支架以将旋转连杆限定于特定位置；然后旋动调节轴套，调节打磨杆与旋转连杆之间的角度至打磨杆的打磨端位于静电吸盘需要打磨的位置处，且打磨片与静电吸盘的表面接触；调整到位后旋转该旋转连杆，在旋转连杆的旋转带动打磨杆及其打磨端旋转，从而实现对静电吸盘边缘的打磨，从而解决相关技术中不能及时清除静电吸盘边缘的聚合物而影响该静电吸盘平整度的问题。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1示出了本申请一实施例提供的静电吸盘打磨装置的结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面将结合附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
[0023]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电气连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0025]此外，下面所描述的本申请不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0026]图1示出了本申请一实施例提供的静电吸盘打磨装置的结构示意图，从图1中可以
看出，该静电吸盘打磨装置包括旋转连杆110、打磨杆120、调节轴套130和固定支架140。
[0027]所述固定支架140设于所述旋转连杆110上，且所述旋转连杆110能够以所述旋转连杆110的延伸方向为旋转轴相对于该固定支架140旋转。在使用时，该固定支架140相对于静电吸盘100固定，以将该旋转连杆110限定于特定位置，避免旋转连杆110倾倒或者移动，该旋转连杆110在该特定位置处仅能围绕其旋转轴旋转。
[0028]所述打磨杆120的连接端铰接所述旋转连杆110的下端，所述打磨杆120的连接端能够相对于所述旋转连杆110在铰接处转动以改变所述打磨杆120与所述旋转连杆110之间的夹角。该打磨杆120打磨端设有打磨片121。所述打磨杆120的连接端与打磨端为相对的两端。在使用时，该打磨片121与静电吸盘100的表面接触，能够进行打磨操作。
[0029]可选地，该打磨杆120的连接端通过铰链铰接所述旋转连杆110的下端。
[0030]所述旋转连杆110上还形成有螺纹区200，所述螺纹区200位于所述旋转连杆110与打磨杆120之间的铰接处之上，所述螺纹区200包括上止位210和下止位220。
[0031]所述调节轴套130螺接在所述螺纹区200上，且所述调节轴套130与所述打磨杆120相连。所述调节轴套130能够沿着所述螺纹区200在所述上止位210和所述下止位220之间移动，在所述调节轴套130移动时，所述调节轴套130能够带动所述打磨杆120相对于旋转本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种静电吸盘打磨装置，其特征在于，所述静电吸盘打磨装置包括：旋转连杆、打磨杆、调节轴套和固定支架；所述固定支架设于所述旋转连杆上，且所述旋转连杆能够以所述旋转连杆的延伸方向为旋转轴相对于该固定支架旋转；所述打磨杆的连接端铰接所述旋转连杆的下端，所述打磨杆的连接端能够相对于所述旋转连杆在铰接处转动以改变所述打磨杆与所述旋转连杆之间的夹角；所述打磨杆打磨端设有打磨片；所述旋转连杆上还形成有螺纹区，所述螺纹区位于所述铰接处之上，所述螺纹区包括上止位和下止位；所述调节轴套螺接在所述螺纹区上，且所述调节轴套与所述打磨杆相连；所述调节轴套能够沿着所述螺纹区在所述上止位和所述下止位之间移动，在所述调节轴套移动时，所述调节轴套能够带动所述打磨杆相对于旋转连杆在铰接处转动以调节所述打磨杆与所述旋转连杆之间的夹角。2.如权利要求1所述的静电吸盘打磨装置，其特征在于，所述打磨杆的连接端通过铰链铰接所述旋转连杆的下端。3.如权利要求1所述的静电吸盘打磨装置，其特征在于，所述旋转连杆的上端设有旋转手轮，转动所述旋转手轮以带动该旋转连杆旋转。4.如权利要求1所述的静电吸盘打磨装置，其特征在于，所述打...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚恒山，曹春生，姜玮，沈子扬，
申请(专利权)人：华虹半导体无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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