晶圆切割在线检测系统技术方案

本发明专利技术涉及一种检测系统，具体为晶圆切割在线检测系统，属于晶圆切割技术领域，包括实时监控系统，实时监控系统电性连接在圆晶切割机的主轴变频器上，实时监控系统用于对圆晶切割机实施切割的旋转主轴的状态进行监控，实时监控系统包括数据采集模块，数据采集模块用于通过数据采集卡对主轴变频器内的实时电流数据、扭矩数据和转速数据信息进行采集，实时检测分析模块用于对实时电流数据和扭矩数据信息进行谐波分析；本发明专利技术能够对旋转主轴参数点更深层次的分析，找到更细微的变化，能够直接在关键参数点上设置相应的措施，能够对预设的状况适度进行自动预判处理，或者暂停切割，有效预防异常的发生，有效提高了晶圆切割质量和设备的可靠性。设备的可靠性。设备的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
晶圆切割在线检测系统


[0001]本专利技术涉及一种检测系统，具体为晶圆切割在线检测系统，属于圆晶切割


技术介绍

[0002]圆晶切割机包含运动轴外，还需要包含提供真正实施切割的旋转主轴，才能真正完成切割作业，运动轴是提供定位和切割路径，实施切割的是安装在旋转主轴上的刀具，为提高晶圆切割品质及制程的控制，需要用到检测系统对圆晶切割机进行检测，检测系统是对旋转主轴及安装在旋转主轴上的刀具状态进行监控，目前公开号（CN107803706A），公开了一种智能刀具检测系统，包括机床、刀具、刀座以及服务器；刀座安装于机床上，刀具安装于刀座上，刀座具有检测芯片、报警装置、传感器以及无线传输装置，传感器检测刀具的磨损程度以及切削力，且传感器与检测芯片进行信号传输，检测芯片具有刀具的检测限值，报警装置与检测芯片相连接，传感器检测的信号超过检测限值时，报警装置进行报警，检测芯片通过无线传输装置与远程设置的服务器进行数据传输。本专利技术能够对加工的刀具进行实时检测，并在切削力或者磨损程度超过限制时，及时报警控制机床停车，有效保护了零件和刀具；同时，本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆切割在线检测系统，其特征在于：包括实时监控系统，所述实时监控系统电性连接在圆晶切割机的主轴变频器上；所述实时监控系统用于对圆晶切割机实施切割的旋转主轴和所述旋转主轴上刀具的状态进行监控，所述主轴变频器用于对所述旋转主轴的实时电流数据、扭矩数据和转速数据进行获取；所述实时监控系统包括数据采集模块，所述数据采集模块用于通过数据采集卡对主轴变频器内的所述实时电流数据、所述扭矩数据和所述转速数据信息进行采集，数据采集模块上连接有信号处理模块；所述信号处理模块包括数据比对模块和实时检测分析模块，所述信号处理模块用于对所述旋转主轴的所述实时电流数据、所述扭矩数据和所述转速数据信息中的一种数据信息进行抽取，所述数据比对模块用于将所述实时电流数据和所述转速数据信息与检测前设定的数据信息进行比对分析，模块用于对所述实时电流数据和所述扭矩数据信息进行谐波分析、实时检测分析和小波分。2.根据权利要求1所述的晶圆切割在线检测系统，其特征在于：所述数据比对模块具体用于将三组所述实时电流数据之间的极差值与允许差值内的电流阀值进行比对，并将实时获取的所述转速...

【专利技术属性】
技术研发人员：楼正军，叶伟刚，赵朋涛，
申请(专利权)人：深圳智赛机器人有限公司，
类型：发明
国别省市：