晶圆切割在线检测系统技术方案

本发明专利技术涉及一种检测系统，具体为晶圆切割在线检测系统，属于晶圆切割技术领域，包括实时监控系统，实时监控系统电性连接在圆晶切割机的主轴变频器上，实时监控系统用于对圆晶切割机实施切割的旋转主轴的状态进行监控，实时监控系统包括数据采集模块，数据采集模块用于通过数据采集卡对主轴变频器内的实时电流数据、扭矩数据和转速数据信息进行采集，实时检测分析模块用于对实时电流数据和扭矩数据信息进行谐波分析；本发明专利技术能够对旋转主轴参数点更深层次的分析，找到更细微的变化，能够直接在关键参数点上设置相应的措施，能够对预设的状况适度进行自动预判处理，或者暂停切割，有效预防异常的发生，有效提高了晶圆切割质量和设备的可靠性。设备的可靠性。设备的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
晶圆切割在线检测系统


[0001]本专利技术涉及一种检测系统，具体为晶圆切割在线检测系统，属于圆晶切割


技术介绍

[0002]圆晶切割机包含运动轴外，还需要包含提供真正实施切割的旋转主轴，才能真正完成切割作业，运动轴是提供定位和切割路径，实施切割的是安装在旋转主轴上的刀具，为提高晶圆切割品质及制程的控制，需要用到检测系统对圆晶切割机进行检测，检测系统是对旋转主轴及安装在旋转主轴上的刀具状态进行监控，目前公开号（CN107803706A），公开了一种智能刀具检测系统，包括机床、刀具、刀座以及服务器；刀座安装于机床上，刀具安装于刀座上，刀座具有检测芯片、报警装置、传感器以及无线传输装置，传感器检测刀具的磨损程度以及切削力，且传感器与检测芯片进行信号传输，检测芯片具有刀具的检测限值，报警装置与检测芯片相连接，传感器检测的信号超过检测限值时，报警装置进行报警，检测芯片通过无线传输装置与远程设置的服务器进行数据传输。本专利技术能够对加工的刀具进行实时检测，并在切削力或者磨损程度超过限制时，及时报警控制机床停车，有效保护了零件和刀具；同时，本专利技术能够将检测的数据进行存储，有利于工作人员对出现的故障数据进行分析和查询；然而，此技术方案在切割使用时，仅能对刀具的切割力和磨损度进行检测，无法对带动刀具工作的旋转主轴的相关运行参数进行检测，无法检测刀具和旋转主轴更细微变化，切割精度不高，使用过程存在一定弊端。
[0003]有鉴于此，特提出一种晶圆切割在线检测系统。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆切割在线检测系统，具有能够对旋转主轴参数点更深层次的分析，找到更细微的变化，能够直接在关键参数点上设置相应的措施，对预设的状况适度进行自动处理，或者暂停切割，向作业人员发出警示，由工程人员进行更深入的排查和处置，检测效果好，有效提高了晶圆切割质量及设备可靠性的效果。
[0005]本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的，晶圆切割在线检测系统，包括实时监控系统，所述实时监控系统电性连接在圆晶切割机的主轴变频器上，所述实时监控系统用于对圆晶切割机实施切割的旋转主轴和所述旋转主轴上刀具的状态进行监控，所述主轴变频器用于对所述旋转主轴的实时电流数据、扭矩数据和转速数据进行获取，所述实时监控系统包括数据采集模块，所述数据采集模块用于通过数据采集卡对主轴变频器内的所述实时电流数据、所述扭矩数据和所述转速数据信息进行采集，数据采集模块上连接有信号处理模块，所述信号处理模块包括数据比对模块和实时检测分析模块，所述信号处理模块用于对所述旋转主轴的所述实时电流数据、所述扭矩数据和所述转速数据信息中的一种数据
信息进行抽取，所述数据比对模块用于将所述实时电流数据和所述转速数据信息与检测前设定的数据信息进行比对分析，所述实时检测分析模块用于对所述实时电流数据和所述扭矩数据信息进行谐波分析和小波分析。
[0006]进一步的，为了通过三组所述实时电流数据之间的极差值与允许差值内的电流阀值进行比对，能够对所述实时电流数据的三相平衡进行检测，同时通过转速差值和所述旋转主轴转速波动允许阀值进行比对，能够对所述旋转主轴的转速异常进行排查，所述数据比对模块具体用于将三组所述实时电流数据之间的极差值与允许差值内的电流阀值进行比对，并将实时获取的所述转速数据信息与设定转速之间的转速差值和所述旋转主轴转速波动允许阀值进行比对。
[0007]进一步的，为了通过所述报警模块和所述记录模块能够使设备报警的同时能够对设备内的异常信息进行记录，所述数据比对模块包括报警模块和记录模块，所述报警模块用于在所述实时电流数据的极差值大于所述电流阀值时和所述转速差值大于所述转速波动允许阀值时进行报警，所述报警模块与所述记录模块相连接，所述记录模块用于显示并记录异常时各组电流的数据。
[0008]进一步的，为了使得在所述实时检测分析模块对所述实时电流数据和所述扭矩数据进行为此谐波分析和小波分析时，能够根据电流和扭矩波动幅度的大小，实现对所述旋转主轴上的实时电流和扭矩的检测，波动幅度过大时，能够通过所述报警模块进行预警，经过所述控制模块对圆晶切割机进行控制，所述实时检测分析模块与所述报警模块相连接，所述报警模块还用于在所述实时检测分析模块对所述实时电流数据和所述扭矩数据出现较大误差时进行报警，所述报警模块上连接有控制模块，所述控制模块用于对圆晶切割机进行控制。
[0009]进一步的，为了通过信号处理获取所述旋转主轴电流、扭矩及转速等数据后，再进行谐波分析、小波分析等相关的算法处理及拟合，能够取得有用信号和数据，并使之可视化，能够实现对切割过程的在线实时监控，所述数据采集卡连接在PC端，所述PC端用于对所述实时电流数据、所述扭矩数据和所述转速数据信息进行显示，并自动绘制出矢量图。
[0010]进一步的，为了使得在出现不同情况的切割异常时，能够通过在所述PC端对所述控制模块选择性使用，能够灵活控制圆晶切割机的反馈，所述PC端与所述控制模块相连接，用于通过所述控制模块对圆晶切割机进行控制。
[0011]本专利技术的技术效果和优点：通过数据采集卡对主轴变频器内的旋转主轴实时电流数据、扭矩数据和转速数据信息进行采集，能够通过信号处理模块对旋转主轴电流、扭矩和转速数据进行获取，同时通过实时监控系统，能够对旋转主轴相关运行参数进行在线实时检测，并且通过实时检测分析模块对检测数据进行谐波分析和小波分析，能够对旋转主轴参数点更深层次的分析，找到更细微的变化，能够直接在关键参数点上设置相应的措施，能够对预设的状况适度进行自动处理，或者暂停切割，向作业人员发出警示，由工程人员进行更深入的排查和处置，有效预防异常的发生，有效提高了晶圆切割质量和设备的可靠性。
附图说明
[0012]图1为本专利技术的整体框架结构示意图；图2为本专利技术数据比对模块的整体框架结构示意图；
图3为本专利技术实时检测分析模块的整体框架结构示意图；图4为本专利技术PC端的整体框架结构示意图；图5为本专利技术实际电流矢量示意图；图6为本专利技术实际转速波动示意图；图7为本专利技术实际扭矩矢量示意图。
具体实施方式
[0013]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0014]请参阅图1
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7所示，晶圆切割在线检测系统，包括实时监控系统，实时监控系统电性连接在圆晶切割机(又称划片机)的主轴变频器上，实时监控系统用于对圆晶切割机(又称划片机)实施切割的旋转主轴的状态进行监控，主轴变频器用于对旋转主轴的实时电流数据、扭矩数据和转速数据进行获取，使用时，通过实时监控系统实现对旋转主轴上的刀具完整性进行检测，在晶圆切割作业开始之前，有效规避掉出现刀具破损的情况，提前消除晶圆切割隐患，实时监控系统包括数据采集模块，数据采集模块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆切割在线检测系统，其特征在于：包括实时监控系统，所述实时监控系统电性连接在圆晶切割机的主轴变频器上；所述实时监控系统用于对圆晶切割机实施切割的旋转主轴和所述旋转主轴上刀具的状态进行监控，所述主轴变频器用于对所述旋转主轴的实时电流数据、扭矩数据和转速数据进行获取；所述实时监控系统包括数据采集模块，所述数据采集模块用于通过数据采集卡对主轴变频器内的所述实时电流数据、所述扭矩数据和所述转速数据信息进行采集，数据采集模块上连接有信号处理模块；所述信号处理模块包括数据比对模块和实时检测分析模块，所述信号处理模块用于对所述旋转主轴的所述实时电流数据、所述扭矩数据和所述转速数据信息中的一种数据信息进行抽取，所述数据比对模块用于将所述实时电流数据和所述转速数据信息与检测前设定的数据信息进行比对分析，模块用于对所述实时电流数据和所述扭矩数据信息进行谐波分析、实时检测分析和小波分。2.根据权利要求1所述的晶圆切割在线检测系统，其特征在于：所述数据比对模块具体用于将三组所述实时电流数据之间的极差值与允许差值内的电流阀值进行比对，并将实时获取的所述转速...

【专利技术属性】
技术研发人员：楼正军，叶伟刚，赵朋涛，
申请(专利权)人：深圳智赛机器人有限公司，
类型：发明
国别省市：