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本发明涉及一种检测系统，具体为晶圆切割在线检测系统，属于晶圆切割技术领域，包括实时监控系统，实时监控系统电性连接在圆晶切割机的主轴变频器上，实时监控系统用于对圆晶切割机实施切割的旋转主轴的状态进行监控，实时监控系统包括数据采集模块，数据采集...
该专利属于深圳智赛机器人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳智赛机器人有限公司授权不得商用。

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