晶元抽样截断机器人制造技术

本实用新型专利技术涉及切片机技术领域，尤其涉及一种晶元抽样截断机器人，包括安装在切片机上的升降组件，所述升降组件底部固定有平移组件，所述平移组件机构底部固定有工装组件，所述工装组件底部夹持有物料，所述升降组件用于带动物料纵向移动，所述平移组件用于带动物料横向移动至不同位置供切割组件切割；本实用新型专利技术利用平移组件带动物料横向移动至不同位置来供切割组件切割，将采样工序与现有的切片加工工序结合，在一套设备上实现两种功能，且利用钢线切割的样品精度高、缺陷少，无需后续打磨，提高了操作效率。提高了操作效率。提高了操作效率。

【技术实现步骤摘要】
晶元抽样截断机器人


[0001]本技术涉及切片机
，尤其涉及一种晶元抽样截断机器人。

技术介绍

[0002]切片机可通过其上多条往复运动的钢线将硅棒切割为晶元，然后晶元可用于生产集成电路。
[0003]硅棒掺杂量不同，用于制备晶元的硅棒要求较高，通常在切片前需进行采样，测试其掺杂量，目前采样时一般采用锯条机，用锯条机锯断获得的样品纹路较多，面形较差，后续还需用打磨机进行打磨，工序较多操作较为繁琐。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是：为了解决现有技术中一般采用锯条机来获得样品，然而其纹路较多，面形较差，后续还需用打磨机进行打磨，工序较多操作较为繁琐的问题，现提供一种晶元抽样截断机器人。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种晶元抽样截断机器人包括安装在切片机上的升降组件，所述升降组件底部固定有平移组件，所述平移组件机构底部固定有工装组件，所述工装组件底部夹持有物料，所述升降组件用于带动物料纵向移动，所述平移组件用于带动物料横向移动至不同位置供切割组件切割。
[0006]上述技术方案利用平移组件带动物料横向移动至不同位置来供切割组件切割，将采样工序与现有的切片加工工序结合，在一套设备上实现两种功能，且利用钢线切割的样品精度高、缺陷少，无需后续打磨，提高了操作效率。
[0007]进一步的，所述升降组件包括升降电机及与升降电机的输出端连接的升降丝杠，所述升降丝杠上螺纹连接有升降螺母座，所述升降螺母座上固定有升降支架，所述升降支架底部固定有安装板；启动升降电机，升降丝杠转动带动升降螺母座升降，升降支架及安装板同步升降从而带动物料升降。
[0008]进一步的，所述平移组件包括呈上下分布的一级平移机构及二级平移机构，两级平移机构增加了物料横向运动的行程。
[0009]进一步的，所述一级平移机构包括固定在安装板底部的一级平移电机及与一级平移电机的输出端连接的一级平移丝杠，所述一级平移丝杠上螺纹连接有一级平移螺母座，所述一级平移螺母座底部固定有支撑板，所述二级平移机构固定在支撑板底部；启动一级平移电机，一级平移丝杠转动带动一级平移螺母座横向移动，从而带动二级平移机构横移。
[0010]进一步的，所述二级平移机构包括安装在支撑板底部的底座，所述底座底部安装有二级平移电机及与二级平移电机的输出端连接的二级平移丝杠，所述二级平移丝杠上螺纹连接有二级平移螺母座，所述二级平移螺母座上固定有底板，所述工装组件固定在底板底部；启动二级平移电机，二级平移丝杠转动带动二级平移螺母座横向移动，从而带动物料横移。
[0011]进一步的，所述底座底部设有两个导向杆，两个导向杆分布在二级平移丝杠两侧，所述底板上设有若干导向块，导向杆穿过导向块且与导向块滑动连接；二级平移螺母座带动底板移动时，通过导向杆与导向块的配合可确保底板的直线运动，且提高支撑板与底板之间的连接强度。
[0012]进一步的，所述安装板向下延伸有两个下支板，所述一级平移电机固定在两个下支板之间，每个下支板的外侧均安装有滑轨，所述支撑板向上延伸有两个上支板，两个上支板位于两个下支板外侧，且每个上支板的内侧均安装有与滑轨配合的滑块，滑轨与滑块的配合可确保支撑板的直线运动。
[0013]进一步的，所述底座长度大于支撑板的长度，且支撑板固定在底座顶部内侧，即支撑板位于切割室的内部，底座自切割室内部延伸至切割室外部，所述支撑板外侧端部连接有加强筋，所述加强筋底部与底座固定，且加强筋的外侧端部设有导向斜面。
[0014]进一步的，所述物料与工装组件底部之间设有树脂板，切割组件切割物料时，树脂板可起到缓冲作用。
[0015]进一步的，所述工装组件底部两侧分别开设有一条形缺口，所述条形缺口沿物料的长度方向延伸，缺口与树脂板形成有卡槽，所述物料上套设有卡箍，所述卡箍端部开设有腰形孔，螺钉穿过腰形孔进入卡槽，螺帽与卡箍相抵。
[0016]本技术的有益效果：本技术利用平移组件带动物料横向移动至不同位置来供切割组件切割，将采样工序与现有的切片加工工序结合，在一套设备上实现两种功能，且利用钢线切割的样品精度高、缺陷少，无需后续打磨，提高了操作效率。
附图说明
[0017]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0018]图1是切片机的结构示意图；
[0019]图2是本技术的结构示意图；
[0020]图3是平移组件的爆炸图；
[0021]图中：
[0022]1、升降组件；101、升降电机；102、升降丝杠；103、升降螺母座；104、升降支架；105、安装板；1051、下支板；
[0023]2、一级平移机构；201、一级平移电机；202、一级平移丝杠；203、一级平移螺母座；204、支撑板；2041、上支板；205、滑轨；206、滑块；
[0024]3、二级平移机构；301、二级平移电机；302、二级平移丝杠；303、二级平移螺母座；304、底座；305、底板；306、导向杆；307、导向块；
[0025]4、工装组件；401、卡槽；
[0026]5、物料；
[0027]6、树脂板；
[0028]7、卡箍；701、腰形孔；
[0029]8、加强筋。
具体实施方式
[0030]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0031]实施例一：
[0032]如图1
‑
图3所示，本技术是一种晶元抽样截断机器人，包括安装在切片机上的升降组件1，所述升降组件1包括升降电机101及与升降电机101的输出端连接的升降丝杠102，所述升降丝杠102上螺纹连接有升降螺母座103，所述升降螺母座103上固定有升降支架104，所述升降支架104底部固定有安装板105；启动升降电机101，升降丝杠102转动带动升降螺母座103升降，升降支架104及安装板105同步升降。
[0033]所述安装板105底部固定有平移组件，所述平移组件包括呈上下分布的一级平移机构2及二级平移机构3，两级平移机构增加了物料5横向运动的行程。
[0034]所述一级平移机构2包括固定在安装板105底部的一级平移电机201及与一级平移电机201的输出端连接的一级平移丝杠202，所述一级平移丝杠202上螺纹连接有一级平移螺母座203，所述一级平移螺母座203底部固定有支撑板204；启动一级平移电机201，一级平移丝杠202转动带动一级平移螺母座203横向移动，从而带动支撑板204横移。
[0035]所述二级平移机构3包括固定在支撑板204底部的底座304，固定在底座304底部的二级平移电机301及与二级平移电机301的输出端连接的二级平移丝杠302，所述二级平移丝杠302上螺纹连接有二级平移螺母座303，所述二级平移螺母本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶元抽样截断机器人，其特征在于：包括安装在切片机上的升降组件(1)，所述升降组件(1)底部固定有平移组件，所述平移组件机构底部固定有工装组件(4)，所述工装组件(4)底部夹持有物料(5)，所述平移组件用于带动物料(5)横向移动至不同位置供切割组件切割。2.根据权利要求1所述的晶元抽样截断机器人，其特征在于：所述升降组件(1)包括升降电机(101)及与升降电机(101)的输出端连接的升降丝杠(102)，所述升降丝杠(102)上螺纹连接有升降螺母座(103)，所述升降螺母座(103)上固定有升降支架(104)，所述升降支架(104)底部固定有安装板(105)。3.根据权利要求1所述的晶元抽样截断机器人，其特征在于：所述平移组件包括呈上下分布的一级平移机构(2)及二级平移机构(3)。4.根据权利要求3所述的晶元抽样截断机器人，其特征在于：所述一级平移机构(2)包括固定在安装板(105)底部的一级平移电机(201)及与一级平移电机(201)的输出端连接的一级平移丝杠(202)，所述一级平移丝杠(202)上螺纹连接有一级平移螺母座(203)，所述一级平移螺母座(203)底部固定有支撑板(204)，所述二级平移机构(3)固定在支撑板(204)底部。5.根据权利要求4所述的晶元抽样截断机器人，其特征在于：所述二级平移机构(3)包括安装在支撑板(204)底部的底座(304)，所述底座(304)底部安装有二级平移电机(301)及与二级平移电机(301)的输出端连接的二级平移丝杠(302)，所述二级平移丝杠(302)上螺纹连接有二级平移螺母座(303)，所述二...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏云，
申请(专利权)人：常州首嘉精密制造有限公司，
类型：新型
国别省市：