一种增强非晶硅薄膜光吸收的方法技术

本发明专利技术公开了一种增强非晶硅薄膜光吸收的方法，包括以下步骤：１）在清洗后的衬底上制备非晶硅薄膜；２）在非晶硅薄膜表面沉积一层银膜；３）表面沉积银膜的非晶硅薄膜经过热处理，得到银岛膜结构。本发明专利技术使用的设备与现行成熟工艺兼容，方法简单可控，制备出的银岛膜对非晶硅薄膜光吸收的增强方式简单，可用于增加非晶硅太阳电池转换效率，以及增强相关ＬＥＤ发光等方面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，属于太阳电池应用领域。
技术介绍
太阳能发电在解决全球能源危机，以及减缓温室效应方面有着巨大的应用价值。 近年来，硅太阳电池的开发应用成为了众多科学家们研究的焦点。作为半导体和微电子工 业中最重要的基础材料，硅以其高储量、较为成熟的工艺、污染小、较高的转换效率、稳定性 好等优势成为了太阳电池研究开发的重点材料，据资料显示，其所占市场份额已超过90%。 其中，非晶硅薄膜电池存在很多突出的优点，例如，质量轻，比功率高，吸收系数大，抗辐射 性能好，耐高温，成本低等等。然而，由于非晶硅薄膜存在严重的光衰减效应和较多的结构 缺陷，使其光电转换效率较低，严重影响了其在光伏市场上的推广应用。因此，提高非晶硅 薄膜太阳电池的光电转换效率有着非常重要的意义。 前人研究已经表明利用金属纳米结构具有的特殊光学性能，可通过其表面 等离子共振形式增大光的吸收截面、增强光散射能力，文献报道如U.Kreibig and M. Vollmer， Optical Properties of Metal Clusters(Springer-Verlag, New York, 1995) 以及C. F.本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种增强非晶硅薄膜光吸收的方法，包括以下步骤：１）利用等离子化学气相沉积法在清洗后的衬底上沉积非晶硅薄膜；２）采用电子束蒸发法在非晶硅薄膜表面生长银膜；３）表面沉积银膜的非晶硅薄膜经过热处理，得到银岛膜结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李东升，汪雷，周冰，杨德仁，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]