下载一种增强非晶硅薄膜光吸收的方法的技术资料

文档序号:3748509

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种增强非晶硅薄膜光吸收的方法,包括以下步骤:1)在清洗后的衬底上制备非晶硅薄膜;2)在非晶硅薄膜表面沉积一层银膜;3)表面沉积银膜的非晶硅薄膜经过热处理,得到银岛膜结构。本发明使用的设备与现行成熟工艺兼容,方法简单可控,制备出...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。