等离子体处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的等离子体处理装置(1)包括：腔体(10)，其由多个板材拼接连接构成，且用于收容等离子体，腔体(10)具有：接缝部，其形成在多个板材中的彼此相邻且各自的端部相接的两个板材之间；保护结构(140)，其设置在腔体(10)的内壁且覆盖接缝部。的内壁且覆盖接缝部。的内壁且覆盖接缝部。

【技术实现步骤摘要】
等离子体处理装置


[0001]本技术涉及等离子体处理装置。

技术介绍

[0002]等离子体因其具有比其他态的同物质具有更高的能力和能量密度，在工业、农业、国防、医药卫生等领域获得了越来越广泛的应用。例如，在中国专利公告号为CN203179834U专利中，公开了等离子体对产品表面处理的应用，等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面活化、改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

技术实现思路

[0003]然而，作为等离子体源，往往选择高密度高能量但腐蚀性高的含氧等离子体或含氟等离子体，因此，填充有这样的等离子体源的腔体容易受到等离子体的撞击或腐蚀。
[0004]本技术的目的在于，提供能够减少腔体内壁被等离子体源的撞击或腐蚀的情况的等离子体处理装置。
[0005]本技术的一个方式的等离子体处理装置包括：腔体，其由多个板材拼接连接构成，且用于收容等离子体，所述腔体具有：接缝部，其形成在所述多个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：腔体，其由多个板材拼接连接构成，且用于收容等离子体，所述腔体具有：接缝部，其形成在所述多个板材中的彼此相邻且各自的端部相接的两个板材之间；保护结构，其设置在所述腔体的内壁且覆盖所述接缝部。2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述多个板材包括彼此相邻且各自的端部相接的第一板材和第二板材，所述第一板材的端部和所述第二板材的端部之间形成所述接缝部，所述保护结构固定在所述第一板材与所述第二板材，使得所述接缝部被所述保护结构覆盖。3.根据权利要求2所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述第一板材具有第一板材主体和从所述第一板材主体的一端向外延伸的第一延伸板部，所述第二板材具有第二板材主体和从所述第二板材主体的一端朝外延伸的第二延伸板部，所述第一延伸板部放置于所述第二延伸板部，使得所述第一延伸板部的端部与所述第二板材主体的端部、所述第二延伸板部的端部与所述第一板材主体的端部分别相对地拼接连接，所述第一延伸板部与所述第二板材主体拼接连接成的面作为腔体内壁时，在所述第一延伸板部与所述第二板材主体的拼接处形成为接缝部，所述保护结构接触固定于所述第一延伸板部和所述第二板材主体，使得所述接缝部被所述保护结构覆盖。4.根据权利要求3所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述第一板材主体和所述第一延伸板部呈台阶结构，所述第二板材主体和所述第二延伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴典璟，柯光耀，陈嘉渊，
申请(专利权)人：超视界显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：