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本实用新型的等离子体处理装置(1)包括：腔体(10)，其由多个板材拼接连接构成，且用于收容等离子体，腔体(10)具有：接缝部，其形成在多个板材中的彼此相邻且各自的端部相接的两个板材之间；保护结构(140)，其设置在腔体(10)的内壁且覆盖接...
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