FOUP盒用锁紧机构及其锁紧方法技术

本发明专利技术提供一种FOUP盒用锁紧机构及其锁紧方法，锁紧机构技术领域。锁紧机构包括支撑组件，用于定位支撑FOUP盒；锁紧机构，设置于所述支撑组件下方，用于将所述FOUP盒锁紧在所述支撑组件上；升降机构，设置于所述锁紧机构下方，所述升降机构的输出端与所述锁紧机构连接，所述升降机构用于带动所述锁紧机构上下运动。锁紧机构通过双气缸互相动作，采用双导轨和滑块的组合，夹爪固定在滑块上，能够实现机构运行的稳定性；同时，两个夹爪左右对称锁紧固定FOUP盒，使FOUP盒受力平衡，提高FOUP盒运动时的稳定性；在锁紧过程中，锁紧机构对FOUP盒的冲击小，进而对FOUP盒中晶圆水平度影响小。小。小。

【技术实现步骤摘要】
FOUP盒用锁紧机构及其锁紧方法


[0001]本专利技术涉及锁紧机构
，尤其涉及一种FOUP盒用锁紧机构及其锁紧方法。

技术介绍

[0002]半导体晶圆在制造过程中会有许多的程序或步骤，而晶圆则会因这些程序或步骤，需要置放于不同的位置以及不同的机器中，因此在工艺中晶圆必须从一处运送至另一处，甚至必须储存一段时间，以配合必要的工艺。其中，晶圆承载装置同时具备储存及运送功能，并且需要适用于各种形式的运输及传送装置，因此在半导体晶圆在制造过程中扮演了极为重要的角色。
[0003]半导体制造工厂中，晶圆通常需要在生产线上不同的工艺模块之间进行高效的传输和定位，晶圆传输机正是完成这一任务的关键装备，是连接不同工艺模块的桥梁，能够使晶圆在不受污染的条件下被准确的传输。晶圆传输机至少包括用于存储晶圆的晶圆盒(Front Opening UnifiedPod，简称FOUP)、用于承载晶圆盒的装载端口以及用于将晶圆从晶圆盒内取出和收纳至晶圆盒内的操作机械手，该装载端口包括开门器和设置在开门器上的承载机构，当半导体生产线上的运输小车将FOUP移至装载端口前，通过人工或机械手将晶圆盒放置到装载端口的承载机构上，然后由开门器执行晶圆盒的开盒动作，进而由操作机械手取出晶圆盒内的晶圆在不同的装载端口之间进行相互传输。
[0004]现有技术中公开有几种FOUP盒用锁紧机构，基本都是采用90
°
弯钩类的锁扣；当FOUP放到装载端口准备装载时，该动作是第一个动作，锁扣从装载端口平台底部翻出扣住FOUP底部，主要功能是将FOUP底部与装载端口固定。这种固定方式是线接触，当FOUP门位置与装载端口门位置作用力大时，整个FOUP前后有发生倾斜的可能。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种FOUP盒用锁紧机构及其锁紧方法，用以解决现有技术中FOUP在锁紧过程中有可能发生倾斜的缺陷，起到降低FOUP发生倾斜的概率，提高FOUP锁紧效率。
[0006]本专利技术提供一种FOUP盒用锁紧机构，包括：
[0007]支撑组件，用于定位支撑FOUP盒；
[0008]锁紧机构，设置于所述支撑组件下方，用于将所述FOUP盒锁紧在所述支撑组件上；
[0009]升降机构，设置于所述锁紧机构下方，所述升降机构的输出端与所述锁紧机构连接，所述升降机构用于带动所述锁紧机构上下运动。
[0010]根据本专利技术提供的一种FOUP盒用锁紧机构，所述FOUP盒包括盒体，所述盒体的底部开设有锁紧槽，所述锁紧槽的正截面呈T型结构，所述锁紧槽的下端与外部相通，所述盒体的底部开设有若干定位孔。
[0011]根据本专利技术提供的一种FOUP盒用锁紧机构，所述支撑组件包括上支撑板和下支撑板，所述上支撑板与所述下支撑板之间连接有支撑柱，所述升降机构安装在所述下支撑板上，所述上支撑板上开设有供锁紧机构穿过的通道，所述通道与所述锁紧槽的下端相对应，
所述上支撑板上还设置有用于供所述FOUP盒进行定位的定位组件。
[0012]根据本专利技术提供的一种FOUP盒用锁紧机构，所述定位组件包括若干定位柱，所述定位柱与所述定位孔一一对应。
[0013]根据本专利技术提供的一种FOUP盒用锁紧机构，所述升降机构为升降气缸，所述升降气缸的输出端朝上设置且与所述锁紧机构的底部连接。
[0014]根据本专利技术提供的一种FOUP盒用锁紧机构，所述锁紧机构包括夹爪气缸，所述夹爪气缸的底部与所述升降机构的输出端连接，所述夹爪气缸的顶部端面设置有导轨，所述导轨上滑动设置有滑块，所述滑块由所述夹爪气缸驱动滑动，所述滑块上设置有夹爪。
[0015]根据本专利技术提供的一种FOUP盒用锁紧机构，所述夹爪气缸包括气缸外壳和设置于所述气缸外壳内的第一夹爪气缸和第二夹爪气缸，所述气缸外壳的顶部端面设置有所述导轨，所述导轨包括平行设置的第一导轨和第二导轨，所述滑块包括第一滑块和第二滑块，所述第一滑块滑动设置在所述第一导轨上，所述第二滑块滑动设置在所述第二导轨上，所述夹爪包括第一夹爪和第二夹爪，所述第一夹爪与所述第一滑块连接，所述第二夹爪与所述第二滑块连接；所述第一滑块由所述第一夹爪气缸驱动滑动，所述第二滑块由所述第二夹爪气缸驱动滑动。
[0016]根据本专利技术提供的一种FOUP盒用锁紧机构，所述第一夹爪和第二夹爪均包括安装部和卡紧部，所述安装部与所述第一滑块或第二滑块的顶部连接，所述卡紧部与所述安装部的顶部端面连接。
[0017]根据本专利技术提供的一种FOUP盒用锁紧机构，所述卡紧部呈L型结构，所述卡紧部的一端与所述安装部连接，所述第一夹爪和第二夹爪上的卡紧部呈对称分布。
[0018]如上所述的一种FOUP盒用锁紧机构的锁紧方法，包括如下步骤：
[0019]将所述FOUP盒按照定位放置到所述上支撑板上，所述升降气缸启动，带动所述锁紧机构上升，所述锁紧机构穿过所述上支撑板的所述通道后进入到所述锁紧槽内；待所述锁紧机构靠近所述锁紧槽的顶部端面时，所述升降气缸暂停工作；
[0020]所述第一夹爪气缸和第二夹爪气缸同时启动，所述第一滑块和第二滑块分别往两侧运动，使两个所述卡紧部相对所述气缸外壳分别向两外侧凸伸；
[0021]所述升降气缸启动，带动所述锁紧机构下降，使两侧的卡紧部与所述锁紧槽的上端两侧抵接，所述升降气缸停止工作，完成对所述FOUP盒的锁紧。
[0022]本专利技术提供的一种FOUP盒用锁紧机构，通过升降机构带动锁紧机构上升进入到FOUP盒的锁紧槽内，锁紧机构的两个夹爪气缸分别带动两个滑块和夹爪朝两侧凸伸，再通过升降机构带动锁紧机构下降使两个夹爪与锁紧槽抵接完成锁紧工作。锁紧机构通过双气缸互相动作，采用双导轨和滑块的组合，夹爪固定在滑块上，能够实现机构运行的稳定性；同时，两个夹爪左右对称锁紧固定FOUP盒，使FOUP盒受力平衡，避免FOUP盒发生倾斜，提高FOUP盒运动时的稳定性；在锁紧过程中，锁紧机构对FOUP盒的侧向冲击小，进而对FOUP盒中晶圆水平度影响小。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一
些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1是本专利技术提供的FOUP盒用锁紧机构使用状态正视剖视图；
[0025]图2是本专利技术提供的FOUP盒用锁紧机构使用状态侧视图；
[0026]图3是锁紧过程示意图之一；
[0027]图4是锁紧过程示意图之二；
[0028]图5是锁紧过程示意图之三；
[0029]图6是锁紧机构的立体图；
[0030]图7是锁紧机构去掉夹爪后的示意图；
[0031]图8是第一夹爪和第二夹爪打开状态俯视图；
[0032]图9是第一夹爪和第二夹爪闭合状态俯视图。
[0033]附图标记：
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种FOUP盒用锁紧机构，其特征在于，包括：支撑组件，用于定位支撑FOUP盒；锁紧机构，设置于所述支撑组件下方，用于将所述FOUP盒锁紧在所述支撑组件上；升降机构，设置于所述锁紧机构下方，所述升降机构的输出端与所述锁紧机构连接，所述升降机构用于带动所述锁紧机构上下运动。2.根据权利要求1所述的FOUP盒用锁紧机构，其特征在于，所述FOUP盒包括盒体，所述盒体的底部开设有锁紧槽，所述锁紧槽的正截面呈T型结构，所述锁紧槽的下端与外部相通，所述盒体的底部开设有若干定位孔。3.根据权利要求2所述的FOUP盒用锁紧机构，其特征在于，所述支撑组件包括上支撑板和下支撑板，所述上支撑板与所述下支撑板之间连接有支撑柱，所述升降机构安装在所述下支撑板上，所述上支撑板上开设有供锁紧机构穿过的通道，所述通道与所述锁紧槽的下端相对应，所述上支撑板上还设置有用于供所述FOUP盒进行定位的定位组件。4.根据权利要求3所述的FOUP盒用锁紧机构，其特征在于，所述定位组件包括若干定位柱，所述定位柱与所述定位孔一一对应。5.根据权利要求3所述的FOUP盒用锁紧机构，其特征在于，所述升降机构为升降气缸，所述升降气缸的输出端朝上设置且与所述锁紧机构的底部连接。6.根据权利要求5所述的FOUP盒用锁紧机构，其特征在于，所述锁紧机构包括夹爪气缸，所述夹爪气缸的底部与所述升降机构的输出端连接，所述夹爪气缸的顶部端面设置有导轨，所述导轨上滑动设置有滑块，所述滑块由所述夹爪气缸驱动滑动，所述滑块上设置有夹爪。7.根据权利要求6所述的FOUP盒用锁紧机构，其特征在于，所述夹爪气缸包括气缸外壳和设置于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宁宁，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：