在铜表面上制造图案的方法技术

技术编号:3743998 阅读:218 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种在铜表面上制造图案的方法,描述了具有增加的分辨率的用液滴喷射印刷装置在铜或铜合金表面上印刷墨水或有机抗蚀剂的方法。增加的分辨率通过在铜表面上印刷之前,优选首先微蚀刻表面,而后用能降低铜表面的表面能或能使铜表面更疏水的有机物质处理铜表面来达到。此方法可用于制造电子电路。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种在铜或铜合金的表面上形成图像或图案的方 法。尤其是本专利技术涉及在已经被处理以改善液滴喷射技术的分辨 率的铜或铜合金表面上用液滴喷射技术形成此图案。本方法特别 适于形成印刷电^各。
技术介绍
由压电法、热喷射法或连续液滴喷射技术代表的液滴喷射技 术已经公知用于普通印刷和图像生成很长时间了。然而,这些技 术在印刷电路或半导体的成像上的应用是很近的事。在这点上,近来的尝试在U.S. 6,861,377和U.S. 2005/0095356 Al中进行了说 明,每一个教示在此全部并入作为参考。应用液滴喷射技术形成电路部件需要一些分辨率目标达到微 米或亚微米范围的非常精细的分辨率。这些分辨率目标已经难于 匹配当前的液滴喷射技术和设备。因此,已经付出实质的努力以 改善这些技术的分辨率,特别在形成电子电路必须的铜表面上。多种变量已知能影响液滴喷射技术的分辨率,其包括印刷 头设计、液滴尺寸、驱动印刷头的软件、印刷头对要印刷的表面 的紧密度和被印刷的液体的特性。已经研究过每个前述因素用以 尝试获得最大分辨率。然而,用这些技术形成电子电路中的分辨 率目标不能令人满意。本专利技术的一个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在含铜的表面上印刷的方法,所述方法包含: a.将该表面与包含从由脂肪酸、树脂酸和前述酸的混合物构成的组中选出的有机物质的水溶液接触,和然后 b.在该表面上用液滴喷射装置印刷墨水或有机抗蚀剂。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:戴维萨沃西卡安德鲁M克罗尔史蒂文A卡斯塔尔迪
申请(专利权)人:麦克德米德有限公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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