信号发送方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种信号发送方法及装置，属于半导体制造技术领域。信号发送方法，应用于设备自动化控制EAP装置，包括：获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；接收所述加工设备的物料监测信号，所述物料监测信号包括附属设备的搬送信号和主设备的上下料信号；根据所述通讯状态和接收到的物料监测信号判断是否满足预设条件，在满足预设条件的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号。本发明专利技术的技术方案能够发出加工设备的搬送信号。技术方案能够发出加工设备的搬送信号。技术方案能够发出加工设备的搬送信号。

【技术实现步骤摘要】
信号发送方法及装置


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种信号发送方法及装置。

技术介绍

[0002]现有半导体制程中，一般是在服务器硬件上部署设备自动化控制(Equipment Automation Programming，EAP)应用，由EAP应用控制加工设备上所有晶圆盒的自动化加工。
[0003]相关技术中，一个加工设备对应一个EAP应用和制造执行系统的一个进程，加工设备将搬送信号发送给EAP应用，由EAP应用发送给制造执行系统的进程，从而实现物料的自动化搬送。但有些加工设备的主设备不能发送搬送信号，需要针对这些加工设备设计一种实现物料的自动化搬送的方案。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种信号发送方法及装置，能够发出加工设备的搬送信号。
[0005]为了达到上述目的，本专利技术实施例采用的技术方案是：
[0006]一种信号发送方法，应用于设备自动化控制EAP装置，包括：
[0007]获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种信号发送方法，其特征在于，应用于设备自动化控制EAP装置，包括：获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；接收所述加工设备的物料监测信号，所述物料监测信号包括附属设备的搬送信号和主设备的上下料信号；根据所述通讯状态和接收到的物料监测信号判断是否满足预设条件，在满足预设条件的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号。2.根据权利要求1所述的信号发送方法，其特征在于，所述预设条件包括以下任一项：接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线；接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线。3.根据权利要求2所述的信号发送方法，其特征在于，在接收到所述附属设备发送的搬送信号，且所述主设备的通讯状态为上线的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号包括：根据存储的附属设备与主设备之间的对应关系，确定与所述附属设备对应的主设备的标识；将所述搬送信号中的附属设备的标识替换为所述主设备的标识，生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述制造执行系统MES客户端。4.根据权利要求3所述的信号发送方法，其特征在于，所述搬送信号包括：晶圆盒的标识；所述附属设备的标识。5.根据权利要求2所述的信号发送方法，其特征在于，在接收到所述主设备发送的上下料信号，且所述附属设备的通讯状态为上线的情况下，向制造执行系统MES客户端发送针对所述主设备的物料搬送信号包括：生成包括所述主设备的标识的物料搬送信号，将所述物料搬送信号发送给所述制造执行系统MES客户端。6.根据权利要求5所述的信号发送方法，其特征在于，所述上下料信号包括：承载晶圆盒的上料口标识；晶圆盒的标识；...

【专利技术属性】
技术研发人员：李乐杰，郭晨日，胡斌，范东方，刘永亮，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：