一种半导体芯片生产用浸蚀设备制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体芯片生产用浸蚀设备，包括容纳箱、浸蚀箱、支撑柱、顶部安装板、挤压防锈式高度调节组件和收缩展开式磁力驱动组件。本发明专利技术属于半导体芯片生产技术领域，收卷防腐绳可以将半导体芯片从浸蚀液中取出，同时收卷防腐绳在经过吸收棉时，收卷防腐绳上面粘附的浸蚀液可以被吸收棉吸收走，防止浸蚀液长时间粘附在收卷防腐绳上，同时吸收棉内的浸蚀液，可以利用液体的渗流效应通过渗流毛细孔流入到收集箱内，极大增加了吸收棉的吸水性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片生产用浸蚀设备


[0001]本专利技术属于半导体芯片生产
，具体是指一种半导体芯片生产用浸蚀设备。

技术介绍

[0002]半导体芯片生产的时候需要进行浸蚀处理，目前在浸蚀过程中，一般是直接将半导体芯片放入浸蚀装置中，然后由工作人员手动将半导体芯片取出，这样不仅效率低，而且浸蚀液一般具有酸性，工作人员的皮肤很容易受到浸蚀液的刺激和损害，即使采用夹持工具将半导体芯片取出，但是难以及时清除掉夹持工具上粘附的浸蚀液，在经过长时间使用后，夹持工具还是容易受到浸蚀液的影响而发生损坏，同时在排放浸蚀液时，浸蚀装置内经常会残留有浸蚀液，导致浸蚀装置清理起来极为不方便，因此急需一种半导体芯片生产用浸蚀设备来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提出了一种半导体芯片生产用浸蚀设备，来解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本专利技术采取的技术方案如下：本专利技术提出了一种半导体芯片生产用浸蚀设备，包括容纳箱，还包括浸蚀箱，浸蚀箱安装在容纳箱的顶壁上；支撑柱，支撑柱对称布置设于浸蚀箱的两侧；顶部安装板，顶部安装板的两侧侧壁与支撑柱的顶部保持固定连接；挤压防锈式高度调节组件，挤压防锈式高度调节组件安装在顶部安装板上；收缩展开式磁力驱动组件，收缩展开式磁力驱动组件安装在容纳箱内；挤压防锈式高度调节组件包括L型挂板、收集箱、吸收棉和渗流毛细孔，L型挂板的顶部与顶部安装板的底壁保持固定连接，收集箱安装在L型挂板上，吸收棉设于收集箱的一侧侧壁上，渗流毛细孔贯穿收集箱的一侧侧壁，吸收棉正对渗流毛细孔布置。
[0005]作为本专利技术的一种优选技术方案，浸蚀箱的一侧侧壁上安装有排液管，排液管上连接有排液阀，浸蚀箱的底部安装有弹性防腐层，弹性防腐层的底壁上设有波动永磁铁，波动永磁铁呈矩阵状布置。
[0006]作为本专利技术的一种优选技术方案，挤压防锈式高度调节组件还包括安装侧板、收卷辊、限位板、收卷电机、收卷防腐绳、放置漏板、收集管和收集泵，安装侧板对称布置设于顶部安装板上，收卷辊的两端与两侧的安装侧板保持转动连接，限位板设于收卷辊上，单个收卷辊上的限位板设有四组，限位板沿着收卷辊的中心呈对称布置，收卷电机安装在安装侧板上，收卷辊与收卷电机保持转动连接，收卷防腐绳缠绕在收卷辊上，收卷防腐绳的缠绕部分位于两侧的限位板之间，收卷防腐绳的一端穿过顶部安装板，收卷防腐绳的一端与放置漏板保持固定连接，收集泵安装在容纳箱的顶壁上，收集管的一端与收集泵连接，收集管另的一端与收集箱的侧壁连接。
[0007]作为本专利技术的一种优选技术方案，收缩展开式磁力驱动组件包括驱动齿轮、第一
从动齿轮、第二从动齿轮、第一长杆、第二长杆、第一短杆、第二短杆、限位轴、限位滚珠、限位滑槽和电磁铁，驱动齿轮转动连接设于容纳箱的底部内壁上，第一从动齿轮与驱动齿轮保持啮合连接，第二从动齿轮与第一从动齿轮保持啮合连接，第一长杆与第二长杆呈交叉布置，第一长杆的中间段与第二长杆的中间段保持转动连接，第一长杆和第二长杆各设有两组，第一长杆和第二长杆呈线性阵列布置，一侧的第一长杆的一端与第一从动齿轮保持转动连接，一侧的第一长杆的另一端与第二长杆保持转动连接，一侧的第二长杆的一端与第二从动齿轮保持转动连接，一侧的第二长杆的另一端与第一长杆保持转动连接，另一侧的第一长杆与第一短杆保持转动连接，另一侧的第二长杆与第二短杆保持转动连接，限位轴穿过第一短杆和第二短杆的连接处，限位轴与第一短杆和第二短杆保持转动连接，限位滚珠滚动连接设于限位轴的底壁上，限位滚珠设于限位滑槽内，限位滑槽设于容纳箱的底部内壁上，电磁铁安装在第一长杆、第二长杆、第一短杆和第二短杆的顶壁上。
[0008]作为本专利技术的一种优选技术方案，收卷辊设有两组。
[0009]作为本专利技术的一种优选技术方案，吸收棉和收集箱对称布置设于收卷防腐绳的两侧。
[0010]作为本专利技术的一种优选技术方案，容纳箱的顶壁上安装有驱动电机，驱动电机与驱动齿轮保持转动连接。
[0011]作为本专利技术的一种优选技术方案，收卷防腐绳设有四组。
[0012]作为本专利技术的一种优选技术方案，收卷防腐绳与两侧的吸收棉保持贴合。
[0013]作为本专利技术的一种优选技术方案，收集管设于收集箱的两侧。
[0014]优选地，容纳箱上设有中央控制器，辅助实现半导体芯片的浸蚀等功能，中央控制器型号为AT89C51。
[0015]本专利技术提出的一种半导体芯片生产用浸蚀设备的有益效果如下：（1）收卷防腐绳可以将半导体芯片从浸蚀液中取出，同时收卷防腐绳在经过吸收棉时，收卷防腐绳上面粘附的浸蚀液可以被吸收棉吸收走，防止浸蚀液长时间粘附在收卷防腐绳上，同时吸收棉内的浸蚀液，可以利用液体的渗流效应通过渗流毛细孔流入到收集箱内，极大增加了吸收棉的吸水性。
[0016]（2）当吸收棉内的浸蚀液过多无法及时转移时，可以利用收集泵使收集箱内形成负压，增强吸收棉内的浸蚀液的流动速度，同时收集泵还可以将浸蚀液输送到外部容器中，防止收集箱内积攒大量的浸蚀液。
[0017]（3）电磁铁通电产生感应磁场后，波动永磁铁受到排斥力的作用后会向上移动，从而使弹性防腐层发生凸起，将弹性防腐层上残留的浸蚀液由静止状态转变为流动状态，从而通过排液管将残留的浸蚀液快速排出。
[0018]（4）第一从动齿轮和第一从动齿轮转动时，可以带动第一长杆和第二长杆反复折叠和展开，从而不断改变电磁铁的位置，使得弹性防腐层的不同位置不间断的产生凸起。
[0019]（5）限位轴下方的限位滚珠可以降低限位轴与容纳箱内壁之间的摩擦力。
附图说明
[0020]图1为本专利技术提出的一种半导体芯片生产用浸蚀设备的整体结构示意图；图2为本专利技术提出的一种半导体芯片生产用浸蚀设备的立体图；
图3为本专利技术提出的挤压防锈式高度调节组件的整体结构示意图；图4为本专利技术提出的收集箱的剖面图；图5为本专利技术提出的浸蚀箱和容纳箱的立体图；图6为本专利技术提出的浸蚀箱和容纳箱的剖面图；图7为图6的A部分的局部放大图；图8为本专利技术提出的收缩展开式磁力驱动组件的整体结构示意图；图9为本专利技术提出的一种半导体芯片生产用浸蚀设备的原理框图；图10为本专利技术提出的一种半导体芯片生产用浸蚀设备的模块电路图；图11为本专利技术提出的电磁铁的控制电路图。
[0021]其中，1、容纳箱，2、浸蚀箱，201、排液管，202、排液阀，203、弹性防腐层，204、波动永磁铁，3、支撑柱，4、顶部安装板，5、挤压防锈式高度调节组件，501、安装侧板，502、收卷辊，503、限位板，504、收卷电机，505、收卷防腐绳，506、放置漏板，507、L型挂板，508、收集箱，509、吸收棉，510、渗流毛细孔，511、收集管，512、收集泵，6、收缩展开式磁力驱动组件，601、驱动齿轮，602、第一从动齿轮，603、第二从动齿轮，604、第一长杆，605、第二长杆，606、第一短杆，607、第二短杆，608、限位轴，609、限位滚珠，610、限位滑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片生产用浸蚀设备，包括容纳箱（1），其特征在于：还包括，浸蚀箱（2），所述浸蚀箱（2）安装在容纳箱（1）的顶壁上；支撑柱（3），所述支撑柱（3）对称布置设于浸蚀箱（2）的两侧；顶部安装板（4），所述顶部安装板（4）的两侧侧壁与支撑柱（3）的顶部保持固定连接；挤压防锈式高度调节组件（5），所述挤压防锈式高度调节组件（5）安装在顶部安装板（4）上；收缩展开式磁力驱动组件（6），所述收缩展开式磁力驱动组件（6）安装在容纳箱（1）内；所述挤压防锈式高度调节组件（5）包括L型挂板（507）、收集箱（508）、吸收棉（509）和渗流毛细孔（510），所述L型挂板（507）的顶部与顶部安装板（4）的底壁保持固定连接，所述收集箱（508）安装在L型挂板（507）上，所述吸收棉（509）设于收集箱（508）的一侧侧壁上，所述渗流毛细孔（510）贯穿收集箱（508）的一侧侧壁，所述吸收棉（509）正对渗流毛细孔（510）布置。2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸蚀设备，其特征在于：所述浸蚀箱（2）的一侧侧壁上安装有排液管（201），所述排液管（201）上连接有排液阀（202），所述浸蚀箱（2）的底部安装有弹性防腐层（203），所述弹性防腐层（203）的底壁上设有波动永磁铁（204），所述波动永磁铁（204）呈矩阵状布置。3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片生产用浸蚀设备，其特征在于：所述挤压防锈式高度调节组件（5）还包括安装侧板（501）、收卷辊（502）、限位板（503）、收卷电机（504）、收卷防腐绳（505）、放置漏板（506）、收集管（511）和收集泵（512），所述安装侧板（501）对称布置设于顶部安装板（4）上，所述收卷辊（502）的两端与两侧的安装侧板（501）保持转动连接，所述限位板（503）设于收卷辊（502）上，单个所述收卷辊（502）上的限位板（503）设有四组，所述限位板（503）沿着收卷辊（502）的中心呈对称布置，所述收卷电机（504）安装在安装侧板（501）上，所述收卷辊（502）与收卷电机（504）保持转动连接，所述收卷防腐绳（505）缠绕在收卷辊（502）上，所述收卷防腐绳（505）的缠绕部分位于两侧的限位板（503）之间，所述收卷防腐绳（505）的一端穿过顶部安装板（4），所述收卷防腐绳（505）的一端与放置漏板（506）保持固定连接，所述收集泵（512）安装在容纳箱（1）的顶壁上，所述收集管（511）的一端与收集泵（512）连接，所述收集管（511）另的一端与收集箱（508）的侧壁连接。4.根据权利要求3所述的一种半导体芯片生产用浸蚀设备，其特征在于：所述收缩展开式磁力驱动组...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹洋铭，
申请(专利权)人：芯洲科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：