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本发明提供了一种信号发送方法及装置，属于半导体制造技术领域。信号发送方法，应用于设备自动化控制EAP装置，包括：获取加工设备的通讯状态，所述通讯状态包括上线和下线，所述加工设备包括主设备和与所述主设备对应的附属设备；接收所述加工设备的物料监...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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