晶圆负压强吸式控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种晶圆负压强吸式控制装置，它包括负压管，所述负压管的两个单管中间装配有竖直的负压腔，所述负压腔内装配有水平的可以上下移动的负压板，所述负压腔上部装配有控制气缸，所述控制气缸的伸缩端与负压板固定连接，所述控制气缸可以将所述负压板向上拉动，所述负压管与所述负压腔的下部连通；每个所述负压管单管的下部排列装配有两个以上的吸附垫，所述吸附垫下部弹性贴附在晶圆表面，所述吸附垫中间加工有上下贯通的通孔。该装置使用时所述吸附垫与晶圆的吸附力更大，这样晶圆在加工或者转运过程中即使受到较大外力也不会脱落；同时吸附垫对晶圆可以保持吸附，不需要持续消耗能量，更加的节能。更加的节能。更加的节能。

【技术实现步骤摘要】
晶圆负压强吸式控制装置


[0001]本技术涉及晶圆产线设备
，具体涉及一种晶圆负压强吸式控制装置。

技术介绍

[0002]晶圆在切片过程后，还需要进行磨片、抛光、增层等等后续加工流程，在每个晶圆薄片的加工过程中都需要对晶圆进行固定，而当晶圆在不同加工流程的设备中进行转送时，通常需要对晶圆薄片进行抓取，传统的晶圆固定以及抓取常常采用负压的吸附盘将晶圆薄片吸附住，抓取过程是通过机械手控制负压吸盘将晶圆薄片移动到下一个加工流程的设备中。但是传统的晶圆吸附盘采用的是负压泵提供负压，这种负压较小，对晶圆的吸附力较小，一旦晶圆在被吸附过程中受到较大外力时容易脱落；而且晶圆在固定或者抓取时，需要负压泵不停的工作提供负压，较为耗能。

技术实现思路

[0003]针对以上问题，本技术提供一种对晶圆吸附更强，具有吸附保持功能的晶圆负压强吸式控制装置。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：该晶圆负压强吸式控制装置包括1组以上的负压管，所述负压管包括两个左右对称的单管，负压管的两个单管中间装配有竖直的负压腔，所述负压腔内装配有水平的可以上下移动的负压板，所述负压板与所述负压腔内壁之间滑动密封，所述负压腔上部装配有控制气缸，所述控制气缸的伸缩端与负压板固定连接，所述控制气缸可以将所述负压板向上拉动，所述负压管与所述负压腔的下部连通；每个所述负压管单管的下部排列装配有两个以上的吸附垫，所述吸附垫为伞状，吸附垫采用弹性材料制作，所述吸附垫下部弹性贴附在晶圆表面，所述吸附垫中间加工有上下贯通的通孔。
[0005]作为优选，所述负压腔的截面面积是所述负压管单管截面面积的五倍以上。
[0006]作为优选，该装置包括有内外两组所述负压管，内组所述负压管左右对称，外组所述负压管的两个单管左右对称设计在内组所述负压管的两侧，每组所述负压管连接有独立的负压腔。
[0007]作为优选，所述负压管使用不锈钢材料制作，负压管的上部通过横杆连接。
[0008]作为优选，所述横杆的上部通过通过筋杆连接有法兰。
[0009]作为优选，所述负压管上每个单管的下部装配有3
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6个吸附垫。
[0010]作为优选，所述负压腔下部通过控制阀与外部连通。
[0011]本技术的有益效果在于：本晶圆负压强吸式控制装置可以用在晶圆加工设备中作为固定晶圆的设备使用，可以用在晶圆的抓取模块中。该装置使用时，所述吸附垫与晶圆表面贴附，然后通过控制气缸带动负压板向上运动，对负压腔下部抽气，使得负压腔以及负压管内部气压降低，由于吸附垫下部贴附在晶圆表面，吸附垫下部为伞形且中间连通负
压管，这样吸附垫下部的负压就会将晶圆吸附。在该装置中，通过负压板对负压腔的抽气产生的负压其压强比气泵产生的负压更低，从而使得所述吸附垫与晶圆的吸附力更大，这样晶圆在加工或者转运过程中即使受到较大外力也不会脱落；同时由于吸附垫使用弹性材料制造，使得吸附垫下部以及负压腔之间形成封闭腔体，从而使得吸附垫对晶圆保持吸附，这样和负压泵吸附结构相比不需要持续消耗能量，更加的节能。
附图说明
[0012]图1是晶圆负压强吸式控制装置正面方向的结构示意图。
[0013]图2是晶圆负压强吸式控制装置俯视方向的结构示意图。
[0014]图3是图2中A
‑
A向的剖面放大的结构示意图。
具体实施方式
[0015]下面结合实施例对本技术进一步说明：
[0016]在本专利中，所使用的方向性词语，其关系均为基于附图1和图3所示图形的方位或位置关系，仅是为了简化描述本申请，而不是指示装置或元件必须具有的特定方位，因此不能理解为对本申请的限制。
[0017]在本实施例中，如图1、图2和图3所示，该晶圆负压强吸式控制装置包括1组以上的负压管1，所述负压管1包括两个左右对称的单管，负压管1的两个单管中间装配有竖直的负压腔2。所述负压腔2内部为圆柱腔体，所述负压腔2内装配有水平的可以上下移动的负压板21，所述负压板21与所述负压腔2内壁之间滑动密封。所述负压腔上部装配有控制气缸3，所述控制气缸3的伸缩端与负压板21固定连接，所述控制气缸3可以将所述负压板21上下拉动。所述负压管1与所述负压腔2的下部连通，所述负压腔2下部封闭，所述负压腔2下部侧边设计有连接口。每个所述负压管2单管的下部排列装配有两个以上的吸附垫11，所述吸附垫11为伞状，伞口方向朝下。所述吸附垫11采用弹性材料制作，所述吸附垫11下部弹性贴附在晶圆4表面，所述吸附垫11中间加工有上下贯通的通孔。
[0018]本晶圆负压强吸式控制装置可以用在晶圆加工设备中作为固定晶圆的设备使用，也可以装配在机械臂上，用来对晶圆薄片进行抓取。该装置使用时，所述吸附垫11与晶圆4表面贴附，然后通过控制气缸3带动负压板21向上运动，对负压腔2下部抽气，使得负压腔2以及负压管1内部气压降低，在本实施例中，所述吸附垫11成阵列的方式下部贴附在晶圆4表面，由于吸附垫11下部为伞形且中间连通负压管11，这样吸附垫11下部的负压就会将晶圆4吸附。在该装置中，通过负压板21对负压腔2的抽气产生的负压其压强比气泵产生的负压更低，从而使得所述吸附垫11与晶圆4表面的吸附力更大，这样晶圆4在加工或者转运过程中即使受到较大外力也不会脱落；同时由于吸附垫11使用弹性材料(如硅胶橡胶等)制造，使得吸附垫11下部以及负压腔2之间形成封闭腔体，从而使得吸附垫11对晶圆保持吸附，这样和负压泵吸附结构相比不需要持续消耗能量，更加的节能。当需要所述吸附垫11与晶圆4脱离时，所述控制气缸3的伸缩端控制负压板21向下运动，使得吸附垫11内侧为正压时即可与所述晶圆4脱离。
[0019]在具体设计时，所述负压腔2的截面面积是所述负压管1单管截面面积的五倍以上。所述负压腔2的截面积越大，则所述控制气缸3伸缩端运动的距离越小，这样由于装置的
小型化设计。
[0020]在具体设计时，如图1和图2所示，该装置包括有内外两组所述负压管1，内组所述负压管1左右对称，外组所述负压管1的两个单管左右对称设计在内组所述负压管1的两侧，每组所述负压管1连接有独立的负压腔2。两组负压管1的设计，使得该装置对晶圆4的吸附点更多，吸附更加的均匀，另外由于两组负压管1独立连接负压腔2，使得每组负压管1都可以独立工作，这样即使一组负压管1出现问题该装置仍然可以使用。
[0021]在具体设计时，如图1和图2所示，该实施例主要用来装配在机械臂上对晶圆进行抓取工作。所述负压管1使用不锈钢材料制作，这样使得负压管具有很好的防腐蚀能力。所述负压管1的上部通过横杆12连接。所述横杆12也可以使用不锈钢材料制作。所述横杆12的上部通过通过筋杆13连接有法兰14。所述法兰就可以直接与机械臂的法兰进行固定连接，所述横杆12用来将负压管1连接为一体，使得负压管1下部的吸附垫11在同一平面。所述筋杆13不仅用来连接法兰14，同时和下部横杆12一起将控制气缸3和负压腔2包裹，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆负压强吸式控制装置，它包括1组以上的负压管(1)，其特征在于：所述负压管(1)包括两个左右对称的单管，负压管(1)的两个单管中间装配有竖直的负压腔(2)，所述负压腔(2)内装配有水平的可以上下移动的负压板(21)，所述负压板(21)与所述负压腔(2)内壁之间滑动密封，所述负压腔上部装配有控制气缸(3)，所述控制气缸(3)的伸缩端与负压板(21)固定连接，所述控制气缸(3)可以将所述负压板(21)向上拉动，所述负压管(1)与所述负压腔(2)的下部连通；每个所述负压管(1)单管的下部排列装配有两个以上的吸附垫(11)，所述吸附垫(11)为伞状，吸附垫(11)采用弹性材料制作，所述吸附垫(11)下部弹性贴附在晶圆(4)表面，所述吸附垫(11)中间加工有上下贯通的通孔。2.根据权利要求1所述的晶圆负压强吸式控制装置，其特征在于：所述负压腔(2)的截面面积是所述负压管(1)单管...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾麒文，洪成都，
申请(专利权)人：苏州桔云科技有限公司，
类型：新型
国别省市：