加工区域确定方法、控制方法和系统、电子设备及介质技术方案

本发明专利技术提供一种加工区域确定方法、控制方法和系统、电子设备及介质。方法包括：实时接收待加工件的位置信息和与位置信息相对应的距离信息；根据距离信息的变化幅度，判断当前接收的距离信息对应的待加工件上的位置是否是待加工件的边缘；在是的情况下，根据当前接收的距离信息所对应的位置信息，确定待加工件到达有效加工区域的加工起始点时所对应的位置信息X1和/或到达加工结束点时所对应的位置信息X2，X1＝X3+i1，X3表示当前接收的距离信息对应于待加工件的起始边缘时当前接收的距离信息所对应的位置信息；和/或X2＝X4‑

【技术实现步骤摘要】
加工区域确定方法、控制方法和系统、电子设备及介质


[0001]本专利技术涉及半导体加工
，更具体地涉及一种用于加工装置的加工区域确定方法、一种用于加工装置的控制方法、一种用于加工装置的控制系统、一种电子设备和一种存储介质。

技术介绍

[0002]在很多领域，加工装置会带有自动跟随系统。下面以激光加工为例进行说明。激光加工装置包括载台组件、激光测距仪、加工头、压电陶瓷电机以及自动跟随系统。在激光加工装置中，自动跟随系统是一套非接触式测量，实时对焦系统。在激光切割过程中，通过自动跟随系统可以实现自动对焦，焦点实时跟随产品厚度的变化而自动调整，确保隐形切割的激光聚焦改质层深度一致，保证切割品质。
[0003]在传统激光加工设备中，激光测距仪测量到的距离信息在加工产品边缘会发生信号突变，而压电陶瓷电机对突变信号的响应时间较长，就会导致压电陶瓷电机的抖动，从而在加工起始阶段和结束阶段，自动跟随性能不足。

技术实现思路

[0004]考虑到上述问题而提出了本专利技术。本专利技术提供了一种用于加工装置的加工区域确定方法、一种用于加工装置的控制方法、一种用于加工装置的控制系统、一种电子设备和一种存储介质。
[0005]根据本专利技术一方面，提供了一种用于加工装置的加工区域确定方法，包括：实时接收待加工件的位置信息和与位置信息相对应的距离信息，位置信息用于表示待加工件沿第一方向与加工装置的加工头发生相对移动时在第一方向上的位置，距离信息用于表示待加工件沿第一方向与加工头发生相对移动时加工头与待加工件在第二方向上的距离；根据距离信息的变化幅度，判断当前接收的距离信息对应的待加工件上的位置是否是待加工件的边缘；在判断结果为是的情况下，根据当前接收的距离信息所对应的位置信息，确定待加工件到达有效加工区域的加工起始点时所对应的位置信息X1和/或确定待加工件到达有效加工区域的加工结束点时所对应的位置信息X2，其中，X1＝X3+i1，X3表示当前接收的距离信息对应于待加工件的起始边缘时当前接收的距离信息所对应的位置信息，i1表示第一修正距离；和/或其中，X2＝X4‑
i2，X4表示当前接收的距离信息对应于待加工件的结束边缘时当前接收的距离信息所对应的位置信息，i2表示第二修正距离。
[0006]示例性地，方法还包括：当距离信息的变化幅度第一次超过预设变化阈值时，确定当前接收的距离信息对应于待加工件的起始边缘；和/或，当距离信息的变化幅度第二次超过预设变化阈值时，确定当前接收的距离信息对应于待加工件的结束边缘。
[0007]示例性地，i1为从第一时刻至第二时刻待加工件与加工头发生相对移动的移动距离，第一时刻是距离信息的变化幅度第一次超过预设变化阈值的时刻，第二时刻是第一时刻之后距离信息的变化幅度未超过预设变化阈值的时刻；和/或，i2为从第三时刻至第四时
刻待加工件与加工头发生相对移动的移动距离，第四时刻是距离信息的变化幅度第二次超过预设变化阈值的时刻，第三时刻是第四时刻之前距离信息的变化幅度未超过预设变化阈值的时刻。
[0008]根据本专利技术另一方面，提供一种用于加工装置的控制方法，包括：实时接收待加工件的位置信息和与位置信息相对应的距离信息，位置信息用于表示待加工件沿第一方向与加工装置的加工头发生相对移动时在第一方向上的位置，距离信息用于表示待加工件沿第一方向与加工头发生相对移动时加工头与待加工件在第二方向上的距离；根据距离信息的变化幅度，判断当前接收的距离信息对应的待加工件上的位置是否是待加工件的边缘；在判断结果为是的情况下，根据当前接收的距离信息所对应的位置信息，确定待加工件到达有效加工区域的加工起始点时所对应的位置信息X1和/或确定待加工件到达有效加工区域的加工结束点时所对应的位置信息X2；在确定待加工件处于有效加工区域内的情况下，从所述有效加工区域的加工起始点开始，读取对应的距离信息，以基于所读取的距离信息控制加工头在第二方向上移动到与距离信息匹配的焦点位置；其中，X1＝X3+i1，X3表示当前接收的距离信息对应于待加工件的起始边缘时当前接收的距离信息所对应的位置信息，i1表示第一修正距离；和/或其中，X2＝X4‑
i2，X4表示当前接收的距离信息对应于待加工件的结束边缘时当前接收的距离信息所对应的位置信息，i2表示第二修正距离。
[0009]示例性地，方法还包括：当距离信息的变化幅度第一次超过预设变化阈值时，确定当前接收的距离信息对应于待加工件的起始边缘；和/或，当距离信息的变化幅度第二次超过预设变化阈值时，确定当前接收的距离信息对应于待加工件的结束边缘。
[0010]示例性地，i1为从第一时刻至第二时刻待加工件与加工头发生相对移动的移动距离，第一时刻是距离信息的变化幅度第一次超过预设变化阈值的时刻，第二时刻是第一时刻之后距离信息的变化幅度未超过预设变化阈值的时刻；和/或，i2为从第三时刻至第四时刻待加工件与加工头发生相对移动的移动距离，第四时刻是距离信息的变化幅度第二次超过预设变化阈值的时刻，第三时刻是第四时刻之前距离信息的变化幅度未超过预设变化阈值的时刻。
[0011]示例性地，加工装置包括测距机构，测距机构用于测量距离信息，位置信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的位置信息，距离信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的距离信息，其中，读取对应的距离信息，包括：根据与有效加工区域内的至少一个位置点相对应的第一位置信息X5，确定第二位置信息X6；当当前接收到的位置信息为第二位置信息X6时，从数据存储模块中读取与第一位置信息X5相对应的距离信息；其中，第二位置信息X6满足以下公式：X6＝X5+δx1，δx1表示测距机构与加工头在第一方向上的距离。
[0012]示例性地，加工装置包括测距机构和调焦机构，测距机构用于测量距离信息，调焦机构用于带动加工头在第二方向上移动，位置信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的位置信息，距离信息包括与待加工件所处的各不同位置点一一对应的距离信息，其中，读取对应的距离信息，包括根据与有效加工区域内的至少一个位置点相对应的第一位置信息X5，确定第二位置信息X6；当当前接收到的位置信息为第二位置信息X6时，从数据存储模块中读取与第一位置信息X5相对应的距离信息；其中，第二位置信息X6满足以下公式：X6＝X5+δx1‑
δx2，δx1表示测距机构与加工头在第一方向上的距离，δx2表示在调焦机构的
响应时间内待加工件在第一方向上与加工头发生相对移动的移动距离。
[0013]根据本专利技术另一方面，提供一种用于加工装置的控制系统，包括：数据接收模块，用于实时接收待加工件的位置信息和与位置信息相对应的距离信息，位置信息用于表示待加工件沿第一方向与加工装置的加工头发生相对移动时在第一方向上的位置，距离信息用于表示待加工件沿第一方向与加工头发生相对移动时加工头与待加工件在第二方向上的距离；数据存储模块，用于存储距离信息；读取控制模块，与数据存储模块和数据接收模块连接，用于：根据距离信息的变化幅度，判断当前接收的距离信息本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于加工装置的加工区域确定方法，包括：实时接收待加工件的位置信息和与所述位置信息相对应的距离信息，所述位置信息用于表示所述待加工件沿第一方向与所述加工装置的加工头发生相对移动时在所述第一方向上的位置，所述距离信息用于表示所述待加工件沿所述第一方向与所述加工头发生相对移动时所述加工头与所述待加工件在第二方向上的距离；根据所述距离信息的变化幅度，判断当前接收的距离信息对应的所述待加工件上的位置是否是所述待加工件的边缘；在判断结果为是的情况下，根据所述当前接收的距离信息所对应的位置信息，确定所述待加工件到达有效加工区域的加工起始点时所对应的位置信息X1和/或确定所述待加工件到达所述有效加工区域的加工结束点时所对应的位置信息X2，其中，X1＝X3+i1，X3表示所述当前接收的距离信息对应于所述待加工件的起始边缘时所述当前接收的距离信息所对应的位置信息，i1表示第一修正距离；和/或其中，X2＝X4‑
i2，X4表示所述当前接收的距离信息对应于所述待加工件的结束边缘时所述当前接收的距离信息所对应的位置信息，i2表示第二修正距离。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：当所述距离信息的变化幅度第一次超过预设变化阈值时，确定所述当前接收的距离信息对应于所述待加工件的起始边缘；和/或，当所述距离信息的变化幅度第二次超过所述预设变化阈值时，确定所述当前接收的距离信息对应于所述待加工件的结束边缘。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，i1为从第一时刻至第二时刻所述待加工件与所述加工头发生相对移动的移动距离，所述第一时刻是所述距离信息的变化幅度第一次超过所述预设变化阈值的时刻，所述第二时刻是所述第一时刻之后所述距离信息的变化幅度未超过所述预设变化阈值的时刻；和/或，i2为从第三时刻至第四时刻所述待加工件与所述加工头发生相对移动的移动距离，所述第四时刻是所述距离信息的变化幅度第二次超过所述预设变化阈值的时刻，所述第三时刻是所述第四时刻之前所述距离信息的变化幅度未超过所述预设变化阈值的时刻。4.一种用于加工装置的控制方法，包括：实时接收待加工件的位置信息和与所述位置信息相对应的距离信息，所述位置信息用于表示所述待加工件沿第一方向与所述加工装置的加工头发生相对移动时在所述第一方向上的位置，所述距离信息用于表示所述待加工件沿所述第一方向与所述加工头发生相对移动时所述加工头与所述待加工件在第二方向上的距离；根据所述距离信息的变化幅度，判断当前接收的距离信息对应的所述待加工件上的位置是否是所述待加工件的边缘；在判断结果为是的情况下，根据所述当前接收的距离信息所对应的位置信息，确定所述待加工件到达有效加工区域的加工起始点时所对应的位置信息X1和/或确定所述待加工件到达所述有效加工区域的加工结束点时所对应的位置信息X2；在确定所述待加工件处于所述有效加工区域内的情况下，从所述有效加工区域的加工起始点开始，读取对应的所述距离信息，以基于所读取的距离信息控制所述加工头在所述第二方向上移动到与所述距离信息匹配的焦点位置；其中，X1＝X3+i1，X3表示所述当前接收的距离信息对应于所述待加工件的起始边缘时所
述当前接收的距离信息所对应的位置信息，i1表示第一修正距离；和/或其中，X2＝X4‑
i2，X4表示所述当前接收的距离信息对应于所述待加工件的结束边缘时所述当前接收的距离信息所对应的位置信息，i2表示第二修正距离。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：当所述距离信息的变化幅度第一次超过预设变化阈值时，确定所述当前接收的距离信息对应于所述待加工件的起始边缘；和/或，当所述距离信息的变化幅度第二次超过所述预设变化阈值时，确定所述当前接收的距离信息对应于所述待加工件的结束边缘。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，i1为从第一时刻至第二时刻所述待加工件与所述加工头发生相对移动的移动距离，所述第一时刻是所述距离信息的变化幅度第一次超过所述预设变化阈值的时刻，所述第二时刻是所述第一时刻之后所述距离信息的变化幅度未超过所述预设变化阈值的时刻；和/或，i2为从第三时刻至第四时刻所述待加工件与所述加工头发生相对移动的移动距离，所述第四时刻是所述距离信息的变化幅度第二次超过所述预设变化阈值的时刻，所述第三时刻是所述第四时刻之前所述距离信息的变化幅度未超过所述预设变化阈值的时刻。7.根据权利要求4
‑
6任一项所述的方法，其特征在于，所述加工装置包括测距机构，所述测距机构用于测量所述距离信息，所述位置信息包括与所述待加工件所处的各不同位置点一一对应的位置信息，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱时成，杨深明，
申请(专利权)人：深圳镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：