电镀导电辊和电镀设备制造技术

技术编号:37399035 阅读:7 留言:0更新日期:2023-04-30 09:27
本实用新型专利技术公开了一种电镀导电辊和电镀设备,该电镀导电辊的周侧外表面设置有呈点状分布的弹性凸起,该弹性凸起能够伸入待镀膜的硅片线槽内与线槽内的种子导电层接触且与其电连接。相对表面光滑的导电辊来说,本实用新型专利技术能够提高导电辊与种子导电层之间的电性连接的有效接触面积,从而提高电流效率,加快金属离子在线槽内的沉积速度,提高电镀效率。提高电镀效率。提高电镀效率。

【技术实现步骤摘要】
电镀导电辊和电镀设备


[0001]本技术涉及电镀
,特别涉及一种电镀导电辊,以及一种设置有该电镀导电辊的电镀设备。

技术介绍

[0002]光伏电池硅片表面为绝缘层,绝缘层上通过光刻或者激光蚀刻等方式形成有一定深度的线槽,线槽内涂敷有导电层(一般为导电金属层)。水平电镀过程中,导电辊轮接触到线槽里的导电层使其导电,从而与阳极、镀液实现通路,在该导电金属层上实现金属离子沉积,即在导电层上实现镀膜。
[0003]现有技术中,由于光伏硅片上的线槽具有一定的深度,常规导电辊轮无法有效接触到线槽里的导电层,从而导致电流利用效率低、电镀沉积速度慢、产能低等长期难以有效解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术的目的在于提供一种电镀导电辊和电镀设备,用于为硅片线槽内的种子导电层进行镀膜。由于该导电辊的表面设置有弹性凸起,能够伸入待镀膜的硅片线槽内,与线槽内的种子导电层有效接触,从而有利于提高电镀沉积速度。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0006]一种电镀导电辊,所述电镀导电辊的周侧外表面设置有呈点状分布的弹性凸起,至少所述弹性凸起的顶端外表面为导电材质,所述弹性凸起能够伸入待镀膜的硅片线槽内与所述线槽内的种子导电层接触且与其电连接。
[0007]可选地,在上述电镀导电辊中,所述弹性凸起的凸出高度为15μm至25μm范围内的任意数值,截面最大宽度为5μm至10μm范围内的任意数值。
[0008]可选地,在上述电镀导电辊中,所述电镀导电辊包括传动部和导电部,所述导电部包括基层和所述弹性凸起,其中:
[0009]所述传动部用于与驱动装置传动连接,以驱动所述电镀导电辊绕轴转动;
[0010]所述基层包覆在所述传动部的周侧,且与所述传动部固定连接;
[0011]所述弹性凸起凸出设置在所述基层的外表面;
[0012]所述基层和所述弹性凸起均为弹性材质;或者,所述基层和所述弹性凸起中的任一者为弹性材质。
[0013]可选地,在上述电镀导电辊中,所述导电部和所述传动部之间可拆卸连接。
[0014]可选地,在上述电镀导电辊中,所述传动部为绝缘材料。
[0015]可选地,在上述电镀导电辊中,还包括导电连接部;
[0016]所述导电连接部嵌入设置在所述传动部内,且包括有能够与外部电路电连接的第一连接部,以及能够与所述导电部电连接的第二连接部。
[0017]可选地,在上述电镀导电辊中,所述传动部包括传动轴和绝缘筒;
[0018]所述绝缘筒套设在所述传动轴外;
[0019]所述导电部通过基层包覆在所述绝缘筒的周侧;
[0020]所述传动轴的至少一端伸出所述绝缘筒外。
[0021]可选地,在上述电镀导电辊中,所述第一连接部包括嵌设在所述传动轴内的导电芯;
[0022]所述第二连接部包括连接线,所述连接线的一端与所述导电芯电连接,另一端穿过所述绝缘筒后与所述导电部电连接。
[0023]可选地,在上述电镀导电辊中,还包括用于增强导电的第三连接部;
[0024]所述导电部内嵌设有所述第三连接部;
[0025]和/或,所述导电部的内表面设置有所述第三连接部。
[0026]可选地,在上述电镀导电辊中,所述电镀导电辊包括:
[0027]传动部,用于与驱动装置传动连接,以驱动所述电镀导电辊绕轴转动;
[0028]导电连接部,嵌入设置在所述传动部内,且能够与外部电路电连接;
[0029]导电部,所述传动部的周侧设置有多个所述导电部,每个所述导电部的一端分别伸入所述传动部内与所述导电连接部电连接,另一端伸出所述传动部外构成所述弹性凸起。
[0030]可选地,在上述电镀导电辊中,所述导电部为弹性导电纤维,所述传动部的周侧设置有用于栽植所述导电部的安装孔,所述安装孔的底端连通至所述导电连接部。
[0031]可选地,在上述电镀导电辊中,每个所述安装孔内栽植有至少一根或至少一束所述弹性导电纤维。
[0032]一种电镀设备,设置有上文中所述的电镀导电辊,用于对硅片线槽内的种子导电层进行镀膜。
[0033]从上述技术方案可以看出,本技术提供的电镀导电辊和电镀设备中,由于该导电辊的表面设置有弹性凸起,从而能够伸入到待镀膜的硅片线槽内,与线槽内的种子导电层接触,其相对表面光滑的导电辊来说,能够提高导电辊与种子导电层之间的电性连接的有效接触面积,从而提高电流效率,加快金属离子在线槽内的沉积速度,提高电镀效率。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0035]图1为本技术第一具体实施例提供的电镀导电辊的轴测图;
[0036]图2为本技术第一具体实施例提供的电镀导电辊的剖视图;
[0037]图3为本技术第一具体实施例提供的电镀导电辊的侧视图;
[0038]图4和图5为本技术第二具体实施例提供的两种不同电镀导电辊的结构示意图。
[0039]其中:
[0040]1‑
导电部,2

传动部,3

导电连接部,
[0041]101

弹性凸起,102

基层,
[0042]201

绝缘筒,202

传动轴,
[0043]301

第一连接部,302

第二连接部,303

第三连接部。
具体实施方式
[0044]本技术公开了一种电镀导电辊和电镀设备,用于为硅片线槽内的种子导电层进行镀膜。由于该导电辊的表面设置有弹性凸起,能够伸入待镀膜的硅片线槽内,与线槽内的种子导电层有效接触,从而有利于提高电镀沉积速度。
[0045]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0046]第一具体实施例
[0047]请参阅图1至图3,本技术第一具体实施例提供了一种电镀导电辊,可简称为导电辊,该导电辊的周侧外表面设置有呈点状分布的弹性凸起101。本文中,弹性凸起101的“弹性”是指弹性凸起101能够沿导电辊的径向伸缩,当弹性凸起101受到径向力时能够沿径向回缩,当该径向力消失后弹性凸起101能够自动伸长至原始自然状态。而且,为了能够与硅片本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电镀导电辊,其特征在于,所述电镀导电辊的周侧外表面设置有呈点状分布的弹性凸起(101),至少所述弹性凸起(101)的顶端外表面为导电材质,所述弹性凸起(101)能够伸入待镀膜的硅片线槽内与所述线槽内的种子导电层接触且与其电连接。2.根据权利要求1所述的电镀导电辊,其特征在于,所述弹性凸起(101)的凸出高度为15μm至25μm范围内的任意数值,截面最大宽度为5μm至10μm范围内的任意数值。3.根据权利要求1所述的电镀导电辊,其特征在于,所述电镀导电辊包括传动部(2)和导电部(1),所述导电部(1)包括基层(102)和所述弹性凸起(101),其中:所述传动部(2)用于与驱动装置传动连接,以驱动所述电镀导电辊绕轴转动;所述基层(102)包覆在所述传动部(2)的周侧,且与所述传动部(2)固定连接;所述弹性凸起(101)凸出设置在所述基层(102)的外表面;所述基层(102)和所述弹性凸起(101)均为弹性材质;或者,所述基层(102)和所述弹性凸起(101)中的任一者为弹性材质。4.根据权利要求3所述的电镀导电辊,其特征在于,所述导电部(1)和所述传动部(2)之间可拆卸连接。5.根据权利要求3所述的电镀导电辊,其特征在于,所述传动部(2)为绝缘材料。6.根据权利要求5所述的电镀导电辊,其特征在于,还包括导电连接部(3);所述导电连接部(3)嵌入设置在所述传动部(2)内,且包括有能够与外部电路电连接的第一连接部(301),以及能够与所述导电部(1)电连接的第二连接部(302)。7.根据权利要求6所述的电镀导电辊,其特征在于,所述传动部(2)包括传动轴(202)和绝缘筒(201);所述绝缘筒(201)套设在所述传动...

【专利技术属性】
技术研发人员:张小军付礼义请求不公布姓名
申请(专利权)人:三一硅能株洲有限公司
类型:新型
国别省市:

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