臭氧排气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种臭氧排气系统，包含：臭氧废气处理装置，用于对臭氧废气进行处理；排放控制模块，排放控制模块与臭氧废气处理装置的输出端相连，用于进行气体排放控制。本实用新型专利技术能够保证臭氧水罐体内的恒定压力，还能在需要泄放臭氧水罐体压力的情况下，将臭氧废气转换成无毒害的气体后再排放到大气环境中。境中。境中。

【技术实现步骤摘要】
臭氧排气系统


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种臭氧排气系统。

技术介绍

[0002]现有的半导体领域中维持臭氧水罐体内压力的方法主要有以下两种：
[0003]一是在臭氧水罐体的臭氧废气出口设置一个气体限流器来控制逸出气体的流量，从而维持臭氧水罐体内的恒定压力；同时，在臭氧水罐体内的出液口处安装臭氧水的安全泄放阀，并设置一定的安全泄放压力；当罐体内的压力超过安全值时，泄放阀打开、臭氧水被排出罐体，罐体内的压力降低、恢复安全值。
[0004]二是在臭氧水罐体的臭氧废气出口设置一个电气比例背压阀来维持臭氧水罐体内的恒定压力；当臭氧水罐体内的压力增大时，电气比例背压阀的开度增大，当臭氧水罐体内的压力减小时，电气比例背压阀的开度减小或直接关闭，从而动态调整臭氧水罐体内的压力。
[0005]以上两种方案存在的缺点：
[0006]由于臭氧水是一种具有强腐蚀性的物质，不能够直接排放到环境中；当采用在臭氧水罐体内的出液口处安装臭氧水的安全泄放阀的这种方法时，需要对泄放的臭氧水先进行无害化处理后再排放到环境中；增加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种臭氧排气系统，其特征在于，包含：臭氧废气处理装置，用于对臭氧废气进行处理；排放控制模块，所述排放控制模块与所述臭氧废气处理装置的输出端相连，用于进行气体排放控制。2.如权利要求1所述臭氧排气系统，其特征在于，所述排放控制模块包含：常闭阀，所述常闭阀的输入端与所述臭氧废气处理装置的输出端相连，所述常闭阀的输出端与外部的大气环境相连通。3.如权利要求2所述臭氧排气系统，其特征在于，所述排放控制模块还包含：气体限流器，所述气体限流器的输入端与所述臭氧废气处理装置的输出端相连，所述气体限流器的输出端与外部的大气环境相连通。4.如权利要求3所述臭氧排气系统，其特征在于，所述排放控制模块还包含：气体安全泄放阀，所述气体安全泄放阀的输入端与所述臭氧废气处理的输...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：