臭氧排气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种臭氧排气系统，包含：臭氧废气处理装置，用于对臭氧废气进行处理；排放控制模块，排放控制模块与臭氧废气处理装置的输出端相连，用于进行气体排放控制。本实用新型专利技术能够保证臭氧水罐体内的恒定压力，还能在需要泄放臭氧水罐体压力的情况下，将臭氧废气转换成无毒害的气体后再排放到大气环境中。境中。境中。

【技术实现步骤摘要】
臭氧排气系统


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种臭氧排气系统。

技术介绍

[0002]现有的半导体领域中维持臭氧水罐体内压力的方法主要有以下两种：
[0003]一是在臭氧水罐体的臭氧废气出口设置一个气体限流器来控制逸出气体的流量，从而维持臭氧水罐体内的恒定压力；同时，在臭氧水罐体内的出液口处安装臭氧水的安全泄放阀，并设置一定的安全泄放压力；当罐体内的压力超过安全值时，泄放阀打开、臭氧水被排出罐体，罐体内的压力降低、恢复安全值。
[0004]二是在臭氧水罐体的臭氧废气出口设置一个电气比例背压阀来维持臭氧水罐体内的恒定压力；当臭氧水罐体内的压力增大时，电气比例背压阀的开度增大，当臭氧水罐体内的压力减小时，电气比例背压阀的开度减小或直接关闭，从而动态调整臭氧水罐体内的压力。
[0005]以上两种方案存在的缺点：
[0006]由于臭氧水是一种具有强腐蚀性的物质，不能够直接排放到环境中；当采用在臭氧水罐体内的出液口处安装臭氧水的安全泄放阀的这种方法时，需要对泄放的臭氧水先进行无害化处理后再排放到环境中；增加专门针对臭氧水处理的设备即增加运行成本，不利于降本增效。
[0007]当遇到电气故障时，采用电气比例背压阀来控制臭氧水罐体内压力的这种方法将完全失效；罐体内的压力将不受监控，在极端情况下，特别是以PFA或PTFE制成的臭氧水罐体会发生破裂，引发臭氧、臭氧水泄漏，不利于安全生产。

技术实现思路

[0008]根据本技术实施例，提供了一种臭氧排气系统，包含：/>[0009]臭氧废气处理装置，用于对臭氧废气进行处理；
[0010]排放控制模块，排放控制模块与臭氧废气处理装置的输出端相连，用于进行气体排放控制。
[0011]进一步，排放控制模块包含：
[0012]常闭阀，常闭阀的输入端与臭氧废气处理装置的输出端相连，常闭阀的输出端与外部的大气环境相连通。
[0013]进一步，排放控制模块还包含：
[0014]气体限流器，气体限流器的输入端与臭氧废气处理装置的输出端相连，气体限流器的输出端与外部的大气环境相连通。
[0015]进一步，排放控制模块还包含：
[0016]气体安全泄放阀，气体安全泄放阀的输入端与臭氧废气处理的输出端相连，气体安全泄放阀的输出端与外部的大气环境相连通。
[0017]进一步，排放控制模块还包含：
[0018]集成阀组，集成阀组与臭氧废气处理装置、常闭阀、气体限流器以及气体安全泄放阀相连，集成阀组的两侧分别设有进气口和出气口，进气口的一端与臭氧废气处理装置的输出端相连，进气口的另一端与常闭阀、气体限流器以及气体安全泄放阀的输入端相连通，出气口的一端与外部的大气环境相连通，出气口的另一端与常闭阀、气体限流器以及气体安全泄放阀的输出端相连通。
[0019]进一步，常闭阀、气体限流器以及气体安全泄放阀均位于集成阀组的顶部。
[0020]根据本技术实施例的臭氧排气系统，能够保证臭氧水罐体内的恒定压力，还能在需要泄放臭氧水罐体压力的情况下，将臭氧废气转换成无毒害的气体后再排放到大气环境中。
[0021]要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。
附图说明
[0022]图1为根据本技术实施例臭氧排气系统的原理图。
[0023]图2为根据本技术实施例臭氧排气系统的结构图。
[0024]图3为根据本技术实施例臭氧排气系统的排放控制模块的结构图。
具体实施方式
[0025]以下将结合附图，详细描述本技术的优选实施例，对本技术做进一步阐述。
[0026]首先，将结合图1~3描述根据本技术实施例的臭氧排气系统，用于臭氧废气的排放使用，其应用场景很广。
[0027]如图1~3所示，本技术实施例的臭氧排气系统，具有臭氧废气处理装置1以及排放控制模块。
[0028]具体地，如图1~3所示，臭氧废气处理装置1用于对臭氧废气进行处理，臭氧废气通过臭氧废气处理装置1底部的输入端进行废气的输入，进入到臭氧废气处理装置1内的臭氧废气会被进行催化分解，使得臭氧废气经过处理后仅含有氧气和少量的水汽。
[0029]具体地，如图1~3所示，排放控制模块与臭氧废气处理装置1的输出端相连，用于进行气体排放控制。排放控制模块包含：常闭阀21，常闭阀21的输入端与臭氧废气处理装置1的输出端相连，常闭阀21的输出端与外部的大气环境相连通，常闭阀21为气动控制阀，当需要正常排空臭氧水罐体内的压力时，可以通过控制该常闭阀21的开启与关闭，从而实现对臭氧水罐体保压和泄压的功能。
[0030]进一步，如图1~3所示，排放控制模块还包含：气体限流器22，气体限流器22的输入端与臭氧废气处理装置1的输出端相连，气体限流器22的输出端与外部的大气环境相连通，气体限流器22主要用于限制气体排出至大气环境中的最大流量，从而维持排放控制模块的管路中上游气体压力，气体限流器22有多个规格可供选择。
[0031]进一步，如图1~3所示，排放控制模块还包含：气体安全泄放阀23，气体安全泄放阀23的输入端与臭氧废气处理的输出端相连，气体安全泄放阀23的输出端与外部的大气环境
相连通，主要用于紧急情况下排出废气，从而保证臭氧水罐体内的最大压力始终低于安全设定值。
[0032]进一步，如图1~3所示，排放控制模块还包含：集成阀组24，集成阀组24与臭氧废气处理装置1、常闭阀21、气体限流器22以及气体安全泄放阀23相连，集成阀组24的两侧分别设有进气口241和出气口242，进气口241的一端与臭氧废气处理装置1的输出端相连，进气口241的另一端与常闭阀21、气体限流器22以及气体安全泄放阀23的输入端相连通，出气口242的一端与外部的大气环境相连通，出气口242的另一端与常闭阀21、气体限流器22以及气体安全泄放阀23的输出端相连通，通过集成的方式与臭氧废气处理装置1连接，可以使得整个管路系统得到简化，减少制造成本，有利于生产制造。
[0033]进一步，如图1~3所示，常闭阀21、气体限流器22以及气体安全泄放阀23均位于集成阀组24的顶部，提供整体的紧凑性，节省空间。
[0034]使用时，臭氧废气处理装置1与外部的臭氧水罐的废气出口通过管道连接，再通过臭氧废气处理装置1对臭氧废气进行催化分解，催化分解后的气体在根据出口的压力和流量相应的控制常闭阀21、气体限流器22以及气体安全泄放阀23，避免了通过泄放臭氧水来降低罐体内压力时，需要额外增加专门针对臭氧水处理的设备，从而降低了设备的运行成本。
[0035]以上，参照图1~3描述了根据本技术实施例的臭氧排气系统，运行时，该系统能利用气体限流装置稳定地控制逸出臭氧水罐体内的废气流量，从而维持臭氧水罐体内的恒定压力；同时，该系统还具备对臭氧水罐体内压力安全泄放的功能，并且能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种臭氧排气系统，其特征在于，包含：臭氧废气处理装置，用于对臭氧废气进行处理；排放控制模块，所述排放控制模块与所述臭氧废气处理装置的输出端相连，用于进行气体排放控制。2.如权利要求1所述臭氧排气系统，其特征在于，所述排放控制模块包含：常闭阀，所述常闭阀的输入端与所述臭氧废气处理装置的输出端相连，所述常闭阀的输出端与外部的大气环境相连通。3.如权利要求2所述臭氧排气系统，其特征在于，所述排放控制模块还包含：气体限流器，所述气体限流器的输入端与所述臭氧废气处理装置的输出端相连，所述气体限流器的输出端与外部的大气环境相连通。4.如权利要求3所述臭氧排气系统，其特征在于，所述排放控制模块还包含：气体安全泄放阀，所述气体安全泄放阀的输入端与所述臭氧废气处理的输...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：