本技术公开了一种微纳米气泡水的制作系统，包含：缓冲罐；混合模块，混合模块与缓冲罐、外部的气源、外部的水源相连，混合模块混合气源提供的气体和水源提供的水流形成微纳米气泡水，并将微纳米气泡水输送至缓冲罐；过滤模块，过滤模块与缓冲罐相连，过滤模块过滤微纳米气泡水并输出；控制模块，控制模块与混合模块电气连接，控制水流和气体的输送。本技术能够产生不同大小微纳米气泡水，气源种类可变，耗气量小，适用于多类晶圆的清洗工艺。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，特别涉及一种微纳米气泡水的制作系统。
技术介绍
1、在针对晶圆的加工工艺中，清洗是非常重要的工序之一。清洗对象是晶圆上的有机物、金属和颗粒，其中以水为介质的洗涤方式在可靠性和操作便利性上占有主要优势。采用微纳米气泡水是单晶圆自旋清洗工艺中一种不伤害晶圆衬底且很有前景的方法。
2、现有技术中，制造微纳米气泡水的方法主要有以下六种，电解法、溶液替换法、空化法、压力溶解气法、水力剪切法和多孔膜吸附透气法，半导体领域中多采用以下两种方法：
3、空化法，即液体内部局部压力降低时，液体内部和固、液交界面上气体形成空穴、发展变大并最终溃灭的过程。例如采用超声波/兆声波，其原理是由声波电源发出高频振荡电流，经换能器转变为机械振动波传入到清洗介质中，从而在液体中产生空化和声波流两种现象，在这两种现象的合力下将附着在晶圆表面的颗粒去除。当换能器振动频率较低时，气泡尺寸较大，溃破时产生的冲击力越大，去除颗粒的能力越强，对晶圆表面的损伤也越大。近年来，使用在纯水中溶解氢气的氢气水并加上兆声波的方法来用于晶圆表面的清洗，但是随着芯片图案的线宽变窄，宽高比变大，发生了由兆声波引起图案折断的现象，导致了生产良率的下降。
4、多孔膜吸附透气法，即使用液浴溶解气体的办法。以多孔透气膜作为液体和气体的分离介质，将多孔透气膜浸没于去离子水中，并向多孔透气膜中通入高纯气体，高纯气体自透气膜上的微孔析出，产生微泡。该种方法产生的气泡主要是微米气泡和大气泡，在线宽较小的芯片制程中无法适用，且消耗气量较大。
/>技术实现思路
1、根据本技术实施例，提供了一种微纳米气泡水的制作系统，包含：
2、缓冲罐；
3、混合模块，混合模块与缓冲罐、外部的气源、外部的水源相连，混合模块混合气源提供的气体和水源提供的水流形成微纳米气泡水，并将微纳米气泡水输送至缓冲罐；
4、过滤模块，过滤模块与缓冲罐相连，过滤模块过滤微纳米气泡水并输出；
5、控制模块，控制模块与混合模块电气连接，控制水流和气体的输送。
6、进一步，混合模块包含：
7、输气组件，输气组件与缓冲罐顶部、气源相连，输送气体至缓冲罐内；
8、混合件，混合件具有第一进气口、第一进水口和第一出水口，第一进气口和第一出水口与缓冲罐顶部相连；
9、输水组件，输水组件的与第一进水口、水源相连，输送水流至混合件；
10、控制模块与输水组件、输气组件电气连接，控制水流和气体的输送。
11、进一步，输气组件包含：压力阀和输气管道；
12、输气管道的两端分别与气源和缓冲罐顶部相连；
13、压力阀设置在输气管道上，并与控制模块电气连接。
14、进一步，混合件为射流器。
15、进一步，输水组件包含：输水管道和磁悬浮离心泵；
16、输水管道的两端分别与水源和混合件相连；
17、磁悬浮离心泵设置在输水管道上，并与控制模块电气连接。
18、进一步，过滤模块包含：过滤器和止回阀；
19、过滤器具有第二进水口、第二出水口和排气口，第二进水口与缓冲罐底部相连；
20、止回阀的两端分别与缓冲罐顶部和排气口相连；
21、过滤器过滤微纳米气泡水，并将不合格的气体输回至缓冲罐。
22、进一步，还包含：连续液位传感器，连续液位传感器的两端分别与缓冲罐顶部和底部相连，并与控制模块电气连接，连续液位传感器检测缓冲罐内的液位信息并反馈至控制模块。
23、根据本技术实施例的微纳米气泡水的制作系统，能够产生不同大小微纳米气泡水，气源种类可变，耗气量小，适用于多类晶圆的清洗工艺。
24、要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。
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【技术保护点】
1.一种微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，所述混合模块包含：
3.如权利要求2所述微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，所述输气组件包含：压力阀和输气管道；
4.如权利要求2所述微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，所述混合件为射流器。
5.如权利要求2所述微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，所述输水组件包含：输水管道和磁悬浮离心泵；
6.如权利要求1所述微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，所述过滤模块包含：过滤器和止回阀；
7.如权利要求1所述微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，还包含：连续液位传感器，所述连续液位传感器的两端分别与所述缓冲罐顶部和底部相连，并与所述控制模块电气连接，所述连续液位传感器检测所述缓冲罐内的液位信息并反馈至所述控制模块。
【技术特征摘要】
1.一种微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，所述混合模块包含：
3.如权利要求2所述微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，所述输气组件包含：压力阀和输气管道；
4.如权利要求2所述微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，所述混合件为射流器。
5.如权利要求2所述微纳米气泡水的制作系统，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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