废气检测系统技术方案

本技术公开了一种废气检测系统，包含：废气处理模块，废气处理模块处理废气；调压模块，调压模块与废气处理模块相连，调压模块调节经废气处理模块处理后排出的废气的压力；泄压模块，泄压模块与废气处理模块相连，泄压模块用于废气处理模块的紧急泄压；第一检测模块，检测模块与调压模块相连，检测模块检测经调压模块调压后的废气中的有害气体的浓度；排放模块，排放模块与检测模块相连，排放模块排放检测模块检测后的废气。本技术既能对废气的排放压力维持平衡，又能兼顾废气压力高于临界值时的排放需求。同时，既能对半导体领域功能水设备内的废气处理装置进行功能完好性检测，又能对设备内的微环境是否存在有害气体泄漏进行监测。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及废气检测，特别涉及一种废气检测系统。

技术介绍

1、现有的半导体领域功能水设备中的废气检测，控制废气排放压力的主要办法是通过在废气处理装置前设置限流阀，限流阀的气体通过孔径大小恒定；同时，定期更换废气处理装置内的填料函，不对经过废气处理装置处理后的有害气体进行浓度检测。

2、此种方案存在以下缺点：

3、由于限流阀的通孔孔径恒定，当系统选定限流阀的规格后，其维持废气排放压力大小的能力则被固定；因此，通过采用限流阀的方法来维持废气排放的恒定压力，不能满足系统需要实时改变系统压力的要求；

4、当系统压力过高且需要及时泄放压力时，采用孔径恒定限流阀的方法不能及时泄放系统压力，更严重的则会引发系统内容器破裂的安全事故；

5、为了使得经过系统内废气处理装置后的有害气体浓度小于环保要求的排放下限值，往往需要提前更换废气处理装置内的填料函，造成了填料函的使用浪费，不利于降本增效。

技术实现思路

1、根据本技术实施例，提供了一种废气检测系统，包含：</p>

2、废气本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种废气检测系统，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的废气检测系统，其特征在于，所述废气处理模块包含：废气处理装置，所述废气处理装置内含有用于所述废气催化分解的填料函。

3.如权利要求2所述的废气检测系统，其特征在于，所述调压模块包含：平衡阀，所述平衡阀用于控制所述废气处理装置出口的所述废气压力大小。

4.如权利要求2所述的废气检测系统，其特征在于，所述泄压模块包含：泄压阀，所述泄压阀在紧急情况下排空所述废气处理装置内的压力。

5.如权利要求2所述的废气检测系统，其特征在于，所述第一检测模块包含：第一有害气体浓度传感器，所述第一有...

【技术特征摘要】

1.一种废气检测系统，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的废气检测系统，其特征在于，所述废气处理模块包含：废气处理装置，所述废气处理装置内含有用于所述废气催化分解的填料函。

3.如权利要求2所述的废气检测系统，其特征在于，所述调压模块包含：平衡阀，所述平衡阀用于控制所述废气处理装置出口的所述废气压力大小。

4.如权利要求2所述的废气检测系统，其特征在于，所述泄压模块包含：泄压阀，所述泄压阀在紧急情况下排空所述废气处理装置内的压力。

5.如权利要求2所述的废气检测系统，其特征在于，所述第一检测模块...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：