【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，特别涉及一种气液混合装置。
技术介绍
1、现有技术中，半导体领域功能水设备中引入气体的主要方式是通过文丘里管来实现的，当流体流过截面缩小的管道时，依据伯努利定理，该截面位置流速会升高，并在高速流动的流体附近产生低压区，从而产生吸附作用，引入气体。同时，在文丘里管的后端添加一端螺旋形状的气液混合管段来提高目标气体在功能水设备中的传质效率。该方案存在以下缺点：气液混合物为了克服在螺旋形状管段中的流动阻力，气体的引入与流动需要消耗压力更高的流体作为动力源；螺旋形状气液混合管段加工难度大。
技术实现思路
1、根据本技术实施例，提供了一种气液混合装置，包含：
2、缩放段，缩放段内设有缩放流道，缩放流道的一端为流体入口；
3、引气段，引气段内设有引气流道，引气流道的一端与缩放段的另一端相连，引气流道的另一端为气体入口；
4、加速段，加速段内设有加速流道，加速流道的一端与引气流道的另一端相连，用于加速气体入口引入的气体和缩放流道流出的流体；
5、混合腔体，混合腔体与加速流道的另一端相连，用于混合气体和液体。
6、进一步，缩放流道包含：第一流道、收缩流道和放大流道；
7、第一流道的一端为流体入口，另一端与收缩流道的一端相连；
8、放大流道的一端与收缩流道的另一端相连，放大流道的另一端与加速流道、引气流道相连；
9、收缩流道的内径小于第一流道和放大流道的内径。
10、进一步，
11、进一步，加速流道的两端为扩口。
12、进一步，缩放段、加速段和混合腔体的材质均为ptfe材料。
13、进一步，流体入口和气体入口的材质均为pfa材料。
14、进一步，缩放段、加速段和混合腔体按顺序以锥形螺纹连接。
15、根据本技术实施例的气液混合装置，气液混合装置，既能采用文丘里管提高液体的流速，又能采用拉瓦尔喷管提高气体的流速；同时，气体在经过拉瓦尔喷管后温度降低，气体温度降低更有利于气体的溶解，增加气液传质效率，加工简单，实现了气液的高效混合，提高了目标气体在功能水设备中的传质效率。
16、要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种气液混合装置，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述气液混合装置，其特征在于，所述缩放流道包含：第一流道、收缩流道和放大流道；
3.如权利要求2所述气液混合装置，其特征在于，所述加速流道的最窄处的内径大于所述收缩流道的内径。
4.如权利要求1或3所述气液混合装置，其特征在于，所述加速流道的两端为扩口。
5.如权利要求1所述气液混合装置，其特征在于，所述缩放段、所述加速段和所述混合腔体的材质均为PTFE材料。
6.如权利要求1所述气液混合装置，其特征在于，所述流体入口和所述气体入口的材质均为PFA材料。
7.如权利要求1所述气液混合装置，其特征在于，所述缩放段、所述加速段和所述混合腔体按顺序以锥形螺纹连接。
【技术特征摘要】
1.一种气液混合装置，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述气液混合装置，其特征在于，所述缩放流道包含：第一流道、收缩流道和放大流道；
3.如权利要求2所述气液混合装置，其特征在于，所述加速流道的最窄处的内径大于所述收缩流道的内径。
4.如权利要求1或3所述气液混合装置，其特征在于，所述加速流道的两端为扩口。...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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