【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备生产领域，特别涉及一种可拆卸式滴漏盘。
技术介绍
1、现有技术中，为避免在拆卸管路时发生泄漏风险，其方法主要有两种：一是在拆卸管路时将盛液容器置于拆卸管路接头处的下方，从而避免液体泄漏；二是将待测试设备置于固定工位处的滴漏盘上。而以上两种方案存在的缺点有：1.由于每次拆卸管路接头时都需要准备好盛液容器，则需要专门设置放置容器的位置，占用了生产厂房的使用空间；同时，盛液容器在使用时没有做安装固定，容易被打翻，发生二次泄漏。2.为了防止液体泄漏，固定工位处滴漏盘的挡水条会高于地面；然而在进行设备移动时，高于地面的挡水条会阻碍设备移动，给设备搬运工作带来困扰。
技术实现思路
1、根据本技术实施例，提供了一种可拆卸式滴漏盘，包含：滴漏盘本体、至少一个通道和至少一个挡水板；
2、至少一个通道开设在滴漏盘本体的一侧，通道用于令外部的设备进出滴漏盘本体；
3、至少一个挡水板与滴漏盘本体活动连接，挡水板用于防止滴漏盘本体内液体泄漏；
4、通道和挡水板的数量一致，且位置一一对应。
5、进一步，滴漏盘本体采用u-pvc材料制成。
6、进一步，通道为两个，分别开设在滴漏盘本体的一侧，且位置分别对应设备上一对移动件的安装位。
7、进一步，任一挡水板为斜坡结构。
8、进一步，挡水板上设置有一对安装件；
9、一对安装件分别置于挡水板的两侧，用于将挡水板安装至滴漏盘本体上。
10、进一
11、进一步，挡水板还设置有密封组件；
12、密封组件密封住挡水板与滴漏盘本体的连接处，防止滴漏盘本体内液体泄漏。
13、进一步，密封组件包含：密封槽和密封条；
14、密封槽开设在挡水板的边缘处；
15、密封条置于密封槽之中。
16、进一步，密封槽为u型槽。
17、根据本技术实施例的可拆卸式滴漏盘，既能满足在拆卸管路时防止液体泄漏的需求，又能实现在需要对设备进行转移时不用跨越台阶或搬运，就能轻松达到转运的目的。
18、要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种可拆卸式滴漏盘，其特征在于，包含：滴漏盘本体、至少一个通道和至少一个挡水板；
2.如权利要求1所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，所述滴漏盘本体采用U-PVC材料制成。
3.如权利要求1所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，所述通道为两个，分别开设在所述滴漏盘本体的一侧，且位置分别对应所述设备上一对移动件的安装位。
4.如权利要求1所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，任一所述挡水板为斜坡结构。
5.如权利要求4所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，所述挡水板上设置有一对安装件；
6.如权利要求5所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，所述一对安装件为一对葫芦孔。
7.如权利要求4所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，所述挡水板还设置有密封组件；
8.如权利要求7所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，所述密封组件包含：密封槽和密封条；
9.如权利要求8所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，所述密封槽为U型槽。
【技术特征摘要】
1.一种可拆卸式滴漏盘，其特征在于，包含：滴漏盘本体、至少一个通道和至少一个挡水板；
2.如权利要求1所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，所述滴漏盘本体采用u-pvc材料制成。
3.如权利要求1所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，所述通道为两个，分别开设在所述滴漏盘本体的一侧，且位置分别对应所述设备上一对移动件的安装位。
4.如权利要求1所述可拆卸式滴漏盘，其特征在于，任一所述挡水板为斜坡结构。
【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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