【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备生产领域，特别涉及一种集约型设备测试平台。
技术介绍
1、现有技术中，纯水增压设备在组装完成后，都需要做出厂前的功能测试。不同设备之间的功能往往不同，其测试需要的条件也不尽相同。现有的纯水增压测试设备只能根据单独的测试功能进行测试，不同的测试功能分布在不同的工位，在转运待测设备过程中浪费时间，导致测试环境不统一，测试效果不理想，测试效率降低。
技术实现思路
1、根据本技术实施例，提供了一种集约型设备测试平台，包含：
2、承载模块，承载模块上设有若干承载工位，承载工位用于放置外部的待测试设备；
3、供水模块，供水模块设置在承载模块上，并与待测试设备相连，供水模块循环供水至待测试设备；
4、接口模块，接口模块设置在承载模块上，接口模块连接外部的计算机。
5、进一步，承载模块包含：承托台，若干承载工位设置在承托台上，承托台承托待测试设备。
6、进一步，承载模块还包含：若干集水盘，若干集水盘设置在承托台上，并与若干承载工位一一对应，集水盘收集待测试设备泄漏的水。
7、进一步，集水盘内分布若干分隔条，分隔条上放置待测试设备。
8、进一步，供水模块包含：水箱和若干水管；
9、水箱设置在承载模块上，水箱表面设有水位观察窗；
10、若干水管与若干承载工位一一对应，水管连接水箱和待测试设备。
11、进一步，水箱设置在承载模块中心，若干承载工位环绕水箱分布在承载模
12、进一步，接口模块包含：若干电源及信号接口，若干电源及信号接口设置在承载模块上，若干电源及信号接口与若干承载工位一一对应。
13、根据本技术实施例的集约型设备测试平台，能够兼容各种规格的待测试设备，又能统一测试环境；同时，该测试平台占地面积小，既减小了设备的转运次数与距离，又大大提高了测试效率。
14、要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种集约型设备测试平台，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述集约型设备测试平台，其特征在于，所述承载模块包含：承托台，所述若干承载工位设置在所述承托台上，所述承托台承托所述待测试设备。
3.如权利要求2所述集约型设备测试平台，其特征在于，所述承载模块还包含：若干集水盘，所述若干集水盘设置在所述承托台上，并与所述若干承载工位一一对应，所述集水盘收集所述待测试设备泄漏的水。
4.如权利要求3所述集约型设备测试平台，其特征在于，所述集水盘内分布若干分隔条，所述分隔条上放置所述待测试设备。
5.如权利要求1所述集约型设备测试平台，其特征在于，所述供水模块包含：水箱和若干水管；
6.如权利要求5所述集约型设备测试平台，其特征在于，所述水箱设置在所述承载模块中心，所述若干承载工位环绕所述水箱分布在所述承载模块上。
7.如权利要求1所述集约型设备测试平台，其特征在于，所述接口模块包含：若干电源及信号接口，所述若干电源及信号接口设置在所述承载模块上，所述若干电源及信号接口与所述若干承载工位一一对应。
【技术特征摘要】
1.一种集约型设备测试平台，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述集约型设备测试平台，其特征在于，所述承载模块包含：承托台，所述若干承载工位设置在所述承托台上，所述承托台承托所述待测试设备。
3.如权利要求2所述集约型设备测试平台，其特征在于，所述承载模块还包含：若干集水盘，所述若干集水盘设置在所述承托台上，并与所述若干承载工位一一对应，所述集水盘收集所述待测试设备泄漏的水。
4.如权利要求3所述集约型设备测试平台，其特征在于，所述集水盘内分布若...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。