臭氧废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种臭氧废气处理装置，包含：第一壳体，第一壳体的内部设有第一腔体，第一壳体的底部一侧设有废气入口，第一壳体的顶部设有废气出口，废气入口与第一腔体相连通；第二壳体，第二壳体设置在第一壳体的内部，第二壳体的进气端与第一腔体的顶部连通，第二壳体的出气端与废气出口相连通，第二壳体的内部填充臭氧催化剂；加热模块，加热模块与第一壳体相连，用于给第一壳体加热。本实用新型专利技术将臭氧废气冷凝水去除、废气加热、臭氧分解集成在一个装置中，降低了臭氧分解处理装置的复杂程度，在有效分解臭氧废气的同时，还能长期保持臭氧催化剂的干燥，延长了催化剂的使用寿命，降低了设备运行维护的成本。降低了设备运行维护的成本。降低了设备运行维护的成本。

【技术实现步骤摘要】
臭氧废气处理装置


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种臭氧废气处理装置。

技术介绍

[0002]目前在半导体领域中分解带水汽的臭氧废气的方法主要有以下两种：
[0003]一是将含有水汽的臭氧废气通入到含有臭氧催化剂的板塔中进行催化分解（如图1所示），废气从板塔的底部进入，最终经催化剂催化分解后从板塔的顶部排出。这种废气不做预处理，直接与催化剂接触的方法容易使得冷凝水在板塔内聚集，最终导致催化剂失效。因此，需要频繁更换板塔内的催化剂，增加了设备运行维护的成本。
[0004]二是将含有水汽的臭氧废气先进行冷凝水去除，然后对废气进行加热，最后被加热的废气再与催化剂反应后排放到环境中，这种水汽分离、废气加热和废气催化分解相互独立的分步气体处理方法，使得臭氧分解装置的结构更加复杂，不利于生产制造。

技术实现思路

[0005]根据本技术实施例，提供了一种臭氧废气处理装置，包含：
[0006]第一壳体，第一壳体的内部设有第一腔体，第一壳体的底部一侧设有废气入口，第一壳体的顶部设有废气出口，废气入口与第一腔体相连通；
[0007]第二壳体，第二壳体设置在第一壳体的内部，第二壳体的进气端与第一腔体的顶部连通，第二壳体的出气端与废气出口相连通，第二壳体的内部填充臭氧催化剂；
[0008]加热模块，加热模块与第一壳体相连，用于给第一壳体加热。
[0009]进一步，加热模块包含：
[0010]伴热带，伴热带与第一壳体的外壁相连；
[0011]热敏开关，热敏开关设置在第一壳体的顶部一侧外壁上。
[0012]进一步，伴热带呈螺旋状缠绕于第一壳体的外壁上。
[0013]进一步，加热模块还包含：第三壳体，第三壳体套设在第一壳体上。
[0014]进一步，还包含：多个气管，多个气管浸没于臭氧催化剂中，多个气管的顶端均与第二壳体的进气端相连通，多个气管的底端与臭氧催化剂相连通。
[0015]进一步，气管的材质为不锈钢金属。
[0016]进一步，还包含：过滤网，过滤网设置在第二壳体的出气端上。
[0017]根据本技术实施例的臭氧废气处理装置，将臭氧废气冷凝水去除、废气加热、臭氧分解集成在一个装置中，降低了臭氧分解处理装置的复杂程度，在有效分解臭氧废气的同时，还能长期保持臭氧催化剂的干燥，延长了催化剂的使用寿命，降低了设备运行维护的成本。
[0018]要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。
附图说明
[0019]图1为现有技术的处理装置。
[0020]图2为根据本技术实施例臭氧废气处理装置的内部结构示意图。
[0021]图3为根据本技术实施例臭氧废气处理装置的立体结构示意图。
[0022]图4为根据本技术实施例臭氧废气处理装置的仰视剖视结构示意图。
具体实施方式
[0023]以下将结合附图，详细描述本技术的优选实施例，对本技术做进一步阐述。
[0024]首先，将结合图2~4描述根据本技术实施例的臭氧废气处理装置，用于在半导体领域中，对臭氧水设备中分解未完全溶解到去离子水中的臭氧废气进行处理，其应用场景很广。
[0025]如图2~4所示，本技术实施例的臭氧废气处理装置，具有第一壳体1、第二壳体2以及加热模块。
[0026]具体地，如图2~4所示，第一壳体1的内部设有第一腔体11，第一壳体1的底部一侧设有废气入口12，第一壳体1的顶部设有废气出口13，废气入口12与第一腔体11相连通，通过废气入口12将外部的臭氧废气输入至第一腔体11内，臭氧废气在第一腔体11自下而上运动。
[0027]具体地，如图2~4所示，第二壳体2设置在第一壳体1的内部，第二壳体2的进气端与第一腔体11的顶部连通，第二壳体2的出气端与废气出口13相连通，第二壳体2的内部填充臭氧催化剂21，流通至第一腔体11顶部的臭氧废气通过第二壳体2的进气端进入到第二壳体2的内部，与第二壳体2内部的臭氧催化剂21接触，进行臭氧废气的分解，完全分解后的臭氧废气通过第二壳体2的出气端输送，由废气出口13排出。
[0028]具体地，如图2~4所示，加热模块与第一壳体1相连，用于给第一壳体1加热。加热模块包含：伴热带31以及热敏开关32。伴热带31与第一壳体1的外壁相连，用于对第一壳体1的壳壁进行加热；热敏开关32设置在第一壳体1的顶部一侧外壁上，用于检测第一壳体1的壳壁温度，当第一壳体1的壳壁温度过高时，自动切断电源并停止伴热带31运行。
[0029]进一步，如图2所示，伴热带31呈螺旋状缠绕于第一壳体1的外壁上，提高加热的效果。
[0030]进一步，如图2~4所示，加热模块还包含：第三壳体33，第三壳体33套设在第一壳体1上，用于隔绝伴热带31产生的热量，在避免伴热带31产生的热量向环境中扩散的同时，也能避免人体直接接触伴热带31后导致烫伤。第三壳体33的外侧设有接线盒331，用于给臭氧废气处理装置提供外部电源输入。
[0031]进一步，如图2、4所示，本技术实施例的臭氧废气处理装置还包含：多个气管4，多个气管4，多个气管4浸没于臭氧催化剂21中，多个气管4的顶端均与第二壳体2的进气端相连通，多个气管4的底端与臭氧催化剂21相连通，气管4的材质为不锈钢金属，提高臭氧废气的处理路径，保证臭氧废气可以完全分解。
[0032]进一步，如图2所示，本技术实施例的臭氧废气处理装置还包含：过滤网5，过滤网5设置在第二壳体2的出气端上，用于防止臭氧催化剂21随废气排出本臭氧废气处理装
置。
[0033]工作时：
[0034]1、含有水汽的臭氧废气从装置中的废气入口12进入持续受到伴热带31加热的第一壳体1的第一腔体11中。臭氧废气在第一腔体11中自下而上运动的过程中，不断地被加热。由于加热有利于臭氧的分解，在这个过程中，臭氧受到加热会逐渐地被分解，同时水汽遇到高温不会发生冷凝。
[0035]2、被初次加热催化分解的臭氧废气从第一腔体11的顶部由第二壳体2的进气端进入到侵没于臭氧催化剂21填料中的多个气管4中，被初次催化分解的臭氧废气在多个气管4内自上而下运动。由于臭氧在被催化分解时会放出热量，侵没于臭氧催化剂21填料中的多个气管4会被臭氧催化分解这一过程加热，被初次催化分解的臭氧废气在经过多个气管4时再次被加热，进一步被分解，同时，水汽在多个气管4内遇到高温不会发生冷凝。
[0036]3、被再次加热催化分解的臭氧从多个气管4的底部进入到第二壳体2内的臭氧催化剂21填料中，臭氧在臭氧催化剂21填料里自下而上运动的过程中被催化剂完全分解后由第二壳体2的出气端输送，从废气出口13排放到环境中。
[0037]以上，参照图2~4描述了根据本技术实施例的臭氧废气处理装置，整个处理过程中，废气不会遇冷而产生冷凝水；臭氧废气在装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种臭氧废气处理装置，其特征在于，包含：第一壳体，所述第一壳体的内部设有第一腔体，所述第一壳体的底部一侧设有废气入口，所述第一壳体的顶部设有废气出口，所述废气入口与所述第一腔体相连通；第二壳体，所述第二壳体设置在所述第一壳体的内部，所述第二壳体的进气端与所述第一腔体的顶部连通，所述第二壳体的出气端与所述废气出口相连通，所述第二壳体的内部填充臭氧催化剂；加热模块，所述加热模块与所述第一壳体相连，用于给所述第一壳体加热。2.如权利要求1所述臭氧废气处理装置，其特征在于，所述加热模块包含：伴热带，所述伴热带与所述第一壳体的外壁相连；热敏开关，所述热敏开关设置在所述第一壳体的顶部一侧外壁上。3.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：