【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种集成电路封装方法,尤其是一种。现今TAB-BGA型集成电路封装电路板的制法而论,基本如图4A~I所示,图中所示为3M公司典型的制程,首先是在图4A的聚亚酰胺膜90(POLYIMIDE)基材上方通过溅镀方式(PVD或CVD)形成薄厚度的溅镀铜91,以形成一含薄铜层的聚亚酰胺膜,然后为如图4B所示,表面以电镀方式覆盖一薄厚度的电镀铜92,之后,为如图4C所示,于顶底面处压合干膜以及通过曝光和显影的步骤,而形成位于顶底面呈多个具缺口的块状干膜93,其次,则为如图4D所示,于顶部位置进行电镀铜的步骤,以形成位于各于膜93之间的较厚电镀铜94,其次,则为如图4E所示,对聚亚酰胺膜90进行蚀刻的步骤,而形成供后续进行植入锡球的锥度孔97,而后,为如图4F所示,进行电解电镀镍及电解电镀铬的步骤,令位于上表面的较厚电镀铜94以及底部的锥度孔97处形成电解电镀镍和电镀铬层96,之后,为去除顶底层的干膜93而形成如图4G的型式,并经蚀刻铜层的步骤,对图4G内部夹层位置的电镀铜92以及溅镀铜91蚀刻,而转变为如图4H的型态,最后,则为对底部的各锥度孔97位置进行 ...
【技术保护点】
一种卷带自动焊接球阵式集成电路封装方法,其特征在于包括下列步骤:取用含有双面薄铜的聚亚酰胺膜作为基材;对基材双面进行第一干膜的压合、曝光和显影,而仅令上表面形成缺口;为在第一干膜未覆盖的上表面处依次进行电镀铜、电镀镍、电镀金以及 电镀镍等多层电镀;去除第一干膜;对基材双面进行第二干膜的压合、曝光和显影,而仅令下表面形成缺口;运用第二干膜为遮罩,以对下层薄铜进行蚀刻;运用下层薄铜作为遮罩,对基材的聚亚酰胺膜部位进行激光蚀刻,藉薄铜的阻挡以及激光能量的控 制,形成未贯通的孔洞图形;在基材上表面压合第三干膜,以保护上表面电镀层; ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡维人,
申请(专利权)人:华通电脑股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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