药液回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种药液回收装置，包括主槽、回收槽、预加热槽、加热器以及回流组件。主槽装载药液。回收槽连通主槽。预加热槽连通回收槽。加热器配置于预加热槽中。回流组件分别连通预加热槽与主槽。预加热槽位于回收槽及回流组件之间，且主槽的部分药液适于流入回收槽以进行降温，降温回收金属盐后的部分药液适于流入预加热槽，且加热器对于预加热槽中的部分药液加热，回流组件将加热后的部分药液送入主槽以完成药液的循环。槽以完成药液的循环。槽以完成药液的循环。

【技术实现步骤摘要】
药液回收装置


[0001]本技术涉及一种回收装置，尤指一种应用于工业制程并用以调整药液的离子浓度，使药液可回收使用的药液回收装置。

技术介绍

[0002]现有蚀薄铜的制程，是利用药液与铜材产生化学反应，让铜材形成铜离子并溶解在药液中，藉此减少铜材的厚度。此后将含有铜离子的药液抽出并降温，使药液析出部份的硫酸铜结晶，以降低药液中的铜离子浓度。接着再将药液抽回主槽以回收使用。
[0003]现有的药液是在低温状态下被抽回主槽再行加热，然而药液在流动过程中仍会因为低温而持续析出金属盐类结晶，当金属盐类结晶进入帮浦中时，会造成扇叶的摩擦与损坏，进而产生药液泄漏、帮浦空转等问题。此外，当金属盐类结晶进入主槽时，也可能附着在铜材上阻碍化学反应而形成铜面零星凸起，此会影响成品的良率。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种药液回收装置，用以减少药液流动过程中的结晶现象，可避免药液回收装置的损坏并能提升成品的良率。
[0005]本技术的药液回收装置，包括主槽、回收槽、预加热槽、加热器以及回流组件。主槽装载药液。回收槽连通主槽。预加热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种药液回收装置，其特征在于，包括：主槽，装载药液回收槽，连通所述主槽；预加热槽，连通所述回收槽；加热器，配置于所述预加热槽中；以及回流组件，分别连通所述预加热槽与所述主槽，其中，所述预加热槽位于所述回收槽及所述回流组件之间，且所述主槽的部分所述药液适于流入所述回收槽以进行降温，降温回收金属盐后的部分所述药液适于流入所述预加热槽，且所述加热器对于所述预加热槽中的部分所述药液加热，所述回流组件将加热后的部分所述药液送入所述主槽以完成所述药液的循环。2.根据权利要求1所述的药液回收装置，其特征在于，其中所述预加热槽具有溢流管，连通所述回收槽，当所述回收槽的药液累积至液面高度时，所述药液通过所述溢流管流入所述回收槽。3.根据权利要求1所述的药液回收装置，其特征在于，其中所述回流组件包括回流管、回流帮浦以及液体阀，所述回流管分别连通所述预加热槽与所述主槽，所述回流帮浦连通所述回流管，所述液体阀连接所述连通所述回流管且位在所述回流帮浦与所述预加热槽之间。4.根据权利要求1所述的药液回收装置，其特征在于，还包括抽取帮浦分别连通所述主槽与所述回收槽，用以将所述主槽内的部份所述药液抽取...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志通，吴笙隆，涂师齐，
申请(专利权)人：华通电脑股份有限公司，
类型：新型
国别省市：