药液回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种药液回收装置，包括主槽、回收槽、预加热槽、加热器以及回流组件。主槽装载药液。回收槽连通主槽。预加热槽连通回收槽。加热器配置于预加热槽中。回流组件分别连通预加热槽与主槽。预加热槽位于回收槽及回流组件之间，且主槽的部分药液适于流入回收槽以进行降温，降温回收金属盐后的部分药液适于流入预加热槽，且加热器对于预加热槽中的部分药液加热，回流组件将加热后的部分药液送入主槽以完成药液的循环。槽以完成药液的循环。槽以完成药液的循环。

【技术实现步骤摘要】
药液回收装置


[0001]本技术涉及一种回收装置，尤指一种应用于工业制程并用以调整药液的离子浓度，使药液可回收使用的药液回收装置。

技术介绍

[0002]现有蚀薄铜的制程，是利用药液与铜材产生化学反应，让铜材形成铜离子并溶解在药液中，藉此减少铜材的厚度。此后将含有铜离子的药液抽出并降温，使药液析出部份的硫酸铜结晶，以降低药液中的铜离子浓度。接着再将药液抽回主槽以回收使用。
[0003]现有的药液是在低温状态下被抽回主槽再行加热，然而药液在流动过程中仍会因为低温而持续析出金属盐类结晶，当金属盐类结晶进入帮浦中时，会造成扇叶的摩擦与损坏，进而产生药液泄漏、帮浦空转等问题。此外，当金属盐类结晶进入主槽时，也可能附着在铜材上阻碍化学反应而形成铜面零星凸起，此会影响成品的良率。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种药液回收装置，用以减少药液流动过程中的结晶现象，可避免药液回收装置的损坏并能提升成品的良率。
[0005]本技术的药液回收装置，包括主槽、回收槽、预加热槽、加热器以及回流组件。主槽装载药液。回收槽连通主槽。预加热槽连通回收槽。加热器配置于预加热槽中。回流组件分别连通预加热槽与主槽。预加热槽位于回收槽及回流组件之间，且主槽的部分药液适于流入回收槽以进行降温，降温回收金属盐后的部分药液适于流入预加热槽，且加热器对于预加热槽中的部分药液加热，回流组件将加热后的部分药液送入主槽以完成药液的循环。
[0006]在根据本技术的实施例的药液回收装置中，上述的预加热槽具有溢流管，连通回收槽，当回收槽的药液累积至液面高度时，药液通过溢流管流入回收槽。
[0007]在根据本技术的实施例的药液回收装置中，上述的回流组件包括回流管、回流帮浦以及液体阀，回流管分别连通预加热槽与主槽，回流帮浦连通回流管，液体阀连接回流管且位在回流帮浦与预加热槽之间。
[0008]在根据本技术的实施例的药液回收装置中，还包括抽取帮浦分别连通主槽与回收槽，用以将主槽内的部份药液抽取至回收槽。
[0009]在根据本技术的实施例的药液回收装置中，还包括浓度传感器，配置在该主槽内且耦接该抽取帮浦，用以检测该主槽内的药液浓度，当药液浓度大于定值时，该抽取帮浦抽取该主槽内的该药液。
[0010]在根据本技术的实施例的药液回收装置中，上述的回收槽具有致冷器，配置在回收槽的内部空间或是外壁面上，致冷器用以降温部份药液。
[0011]在根据本技术的实施例的药液回收装置中，还包括温度传感器，配置在回收槽内且耦接抽取帮浦，用以检测回收槽内的药液温度，当药液温度大于定值时，抽取帮浦停
止抽取主槽内的药液。
[0012]在根据本技术的实施例的药液回收装置中，上述的加热器垂直穿设于预加热槽，加热器用以加热部份药液。
[0013]在根据本技术的实施例的药液回收装置中，上述的加热器斜向穿设于预加热槽，加热器用以加热部份药液。
[0014]在根据本技术的实施例的药液回收装置中，上述的加热器包括耦接部与热管部，耦接部突伸在预加热槽外并用以耦接电源，热管部穿设于预加热槽中并用以接触部份药液。
[0015]基于上述，本技术的药液回收装置，适用于金属的蚀薄制程，将待加工的板材置入主槽并浸泡于药液中，以进行金属蚀薄，当药液的金属离子浓度大于定值时，部分药液将被抽取至回收槽以进行降温并析出金属盐类结晶。接着降温回收金属盐后的部分药液将流入预加热槽并受到加热器的加热而升温，升温后的部分药液可避免金属盐类结晶现象。
[0016]因此，当回流组件抽取升温后的药液时，可避免金属盐类结晶造成回流组件的摩擦损坏，也可避免细小的附着在铜材上阻碍化学反应而形成铜面零星凸起。
附图说明
[0017]包含附图以便进一步理解本技术，且附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图说明本技术的实施例，并与描述一起用于解释本技术的原理。
[0018]图1A为本技术一实施例的一种药液回收装置的方块示意图；
[0019]图1B为图1A的药液回收装置的平面示意图；
[0020]图1C为图1A的药液回收装置采用另一加热器的平面示意图。
[0021]附图标号说明
[0022]100、100A:药液回收装置；
[0023]110:主槽；
[0024]120:回收槽；
[0025]130:预加热槽；
[0026]131:溢流管；
[0027]140、140a:加热器；
[0028]141、141a:耦接部；
[0029]142、142a:热管部；
[0030]150:回流组件；
[0031]151:回流管；
[0032]152:回流帮浦；
[0033]153:液体阀；
[0034]160:抽取帮浦；
[0035]170:浓度传感器；
[0036]180:致冷器；
[0037]190:温度传感器；
[0038]200:药液；
[0039]300:板材；
[0040]IS:内部空间；
[0041]VH:垂直高度；
[0042]LH:液面高度。
具体实施方式
[0043]现将详细地参考本技术的示范性实施例，示范性实施例的实例说明于附图中。只要有可能，相同组件符号在图式和描述中用来表示相同或相似部分。
[0044]图1A为本技术一实施例的一种药液回收装置的方块示意图。图1B为图1A的药液回收装置的平面示意图。图1C为图1A的药液回收装置采用另一加热器的平面示意图。
[0045]参考图1A及图1B，本技术的药液回收装置100适用于金属蚀薄制程，本实施例的工件例如是金属板材、印刷电路板或是其它具有金属层的材质。
[0046]本技术的药液回收装置100，包括主槽110、回收槽120、预加热槽130、加热器140以及回流组件150。
[0047]主槽110具有内部空间IS并用以装载药液200(例如是酸性溶液，如硫酸、氢氟酸或盐酸等)及板材300，于本实施例中板材300例如是铜材，当铜材浸泡于药液200时，铜材会形成铜离子并溶解在药液200中。回收槽120连通主槽110。预加热槽130连通回收槽120。加热器140配置于预加热槽130中。回流组件150分别连通预加热槽130与主槽110。
[0048]其中预加热槽130位于回收槽120及回流组件150之间，且主槽110的部分药液200适于流入回收槽120以进行降温，使得药液200析出金属盐类结晶并下沉至回收槽120的底部。降温回收金属盐后后的部分药液200适于流入预加热槽130，且透过加热器140对于预加热槽130中的部分药液200加热以提升其温度，藉此避免部分药液200在预加热槽130中持续析出金属盐类结晶。回流组件150将加热后的部分药液200送入主槽110以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种药液回收装置，其特征在于，包括：主槽，装载药液回收槽，连通所述主槽；预加热槽，连通所述回收槽；加热器，配置于所述预加热槽中；以及回流组件，分别连通所述预加热槽与所述主槽，其中，所述预加热槽位于所述回收槽及所述回流组件之间，且所述主槽的部分所述药液适于流入所述回收槽以进行降温，降温回收金属盐后的部分所述药液适于流入所述预加热槽，且所述加热器对于所述预加热槽中的部分所述药液加热，所述回流组件将加热后的部分所述药液送入所述主槽以完成所述药液的循环。2.根据权利要求1所述的药液回收装置，其特征在于，其中所述预加热槽具有溢流管，连通所述回收槽，当所述回收槽的药液累积至液面高度时，所述药液通过所述溢流管流入所述回收槽。3.根据权利要求1所述的药液回收装置，其特征在于，其中所述回流组件包括回流管、回流帮浦以及液体阀，所述回流管分别连通所述预加热槽与所述主槽，所述回流帮浦连通所述回流管，所述液体阀连接所述连通所述回流管且位在所述回流帮浦与所述预加热槽之间。4.根据权利要求1所述的药液回收装置，其特征在于，还包括抽取帮浦分别连通所述主槽与所述回收槽，用以将所述主槽内的部份所述药液抽取...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志通，吴笙隆，涂师齐，
申请(专利权)人：华通电脑股份有限公司，
类型：新型
国别省市：