【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种在基板上形成图案的方法及装置，特别涉及通过液滴喷出装置将液体材料以液滴的状态喷出在基板上而形成图案的技术，另外还涉及导电膜布线、器件的制造方法、电光学装置以及电子机器。
技术介绍
作为在基板上形成图案的技术，周知有采用旋转喷涂等涂敷技术在基板上形成由图案用液体材料构成的膜，然后采用光刻法将该膜形成为所希望的膜图案的方法。对此，也提出了将液材料配置在基板上的所希望的位置上，在基板上直接形成膜图案的技术。在这种技术中，可以省略或者简化上述有关光刻的工艺。作为在基板上的所希望位置上配置液体材料的技术，有通过设置喷吐装置的喷嘴将液体材料作为液滴喷吐的方法(参见特開平11-274671号公报、特開2000-216330号公报)。该喷吐法，与旋转涂敷法等涂敷技术相比，所具有的优点是液体材料的浪费少，容易对在基板上配置的液体材料的量和位置进行控制。又，容易应用于在旋转喷涂法中处理比较困难的大型基板中。但是，在将液体材料形成液滴配置在基板上的技术中，存在很难加宽膜图案的宽度的问题。即，以膜图案的加宽作为目的，如果增大1个液滴的体积，或者增多配置在基板上的液体...
【技术保护点】
一种图案的形成方法，其中由液滴喷出装置喷出液滴状态的液体材料，在基板上形成图案，其特征在于，包括：利用多个所述液滴，其配置为所述液滴的配置间距比配置在所述基板上之后的液滴的直径还大，以在所述基板上形成多个第１图案的工艺；和在 所述多个第１图案之间配置多个所述液滴，使所述多个第１图案之间形成为一体的工艺。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：长谷井宏宣，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。